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量子情報を記憶する「明るい」長寿命励起子の創製

研究課題

研究課題/領域番号 21K18731
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
研究機関九州大学

研究代表者

板垣 奈穂  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (60579100)

研究期間 (年度) 2021-07-09 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2022年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2021年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
キーワード酸化物半導体 / スパッタリング / 結晶成長 / 量子構造 / エキシトン / 励起子 / ZnO / ZnMgO / 再結合寿命 / ZAION
研究開始時の研究の概要

本研究は,代表者オリジナル技術を背景に,励起子が量子情報を記憶する革新的デバイスを創製するものである.励起子を「電子と正孔が再結合する過程 (=中間状態)としての準粒子」として扱い,受発光を伴うその生成と消滅に着目した工学的応用を行ってきたこれまでの励起子研究を転換させる点で,挑戦的研究としての意義を有する.この記憶する励起子を用い,大規模集積化において有利な光によるデータ伝送を前提とした量子コンピュータの実現を目指す点で,実用的観点からも意義を有する.本研究は,明るい励起子そのもののを長寿命化させる,というアイデアにより,従来の励起子において存在した寿命と制御性のトレードオフ問題を解決する.

研究成果の概要

本研究の目的は,ZnO系材料を用いた歪量子井戸構造による「明るい」長寿命励起子の実現である.従来報告の明るい励起子は光による制御性に優れるが,寿命が短い.一方,暗い励起子は長寿命だが光制御が難しい.本研究では,ZnO系材料からなる歪量子井戸で明るい励起子の寿命を延ばすことを目指した.その結果,長寿命な明るい励起子実現の鍵となる, サファイア基板上へのZnMgO/ZnO超高品質ヘテロ界面の形成を実現するとともに,ZnMgOの室温での励起子吸収ならびに発光を確認した.現在上記結果を基にZnO/ZnMgO歪量子井戸を形成し,量子ビットとしての機能発現の確認を行っている.

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は,ZnO系半導体材料からなる歪量子井戸が,従来の明暗励起子において存在した寿命と制御性のトレードオフ問題を解決し,励起子研究に新たな変革点・転換点をもたらすと考え構想に至ったものである.励起子を「電子と正孔が再結合する過程 (=中間状態)としての準粒子」として扱い,受発光を伴うその生成と消滅に着目した工学的応用を行ってきたこれまでの励起子研究を転換させる点で,学術的意義を有する.また,明るい長寿命励起子の開発は,大規模集積化において有利な「光」によるデータ伝送を前提とした量子コンピュータの実現の一助となるものであり,実用的観点からも意義を有する.

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (82件)

すべて 2024 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (15件) (うち国際共著 5件、 査読あり 15件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (64件) (うち国際学会 38件、 招待講演 10件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] Fraunhofer Institute/Group Leader/Dr. Alexander Hinz(ドイツ)

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [国際共同研究] National Research Centre (NRC)(エジプト)

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Prediction by a hybrid machine learning model for high-mobility amorphous In2O3: Sn films fabricated by RF plasma sputtering deposition using a nitrogen-mediated amorphization method2023

    • 著者名/発表者名
      Kamataki Kunihiro、Ohtomo Hirohi、Itagaki Naho、Lesly Chawarambawa Fadzai、Yamashita Daisuke、Okumura Takamasa、Yamashita Naoto、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 134 号: 16 ページ: 163301-163301

    • DOI

      10.1063/5.0160228

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of inhomogeneity and magnetic properties of ZnO:Co films grown by magnetron sputtering using nitrogen2023

    • 著者名/発表者名
      Agusutrisno M.N.、Narishige Ryota、Kamataki Kunihiro、Okumura Takamasa、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Yamashita Naoto
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 162 ページ: 107503-107503

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2023.107503

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of substrate surface polarity on heteroepitaxial growth of pseudobinary ZnO-InN alloy films on ZnO substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Narishige Ryota、Yamashita Naoto、Kamataki Kunihiro、Okumura Takamasa、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Yabuta Hisato、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research

      巻: 38 号: 7 ページ: 1803-1812

    • DOI

      10.1557/s43578-022-00827-4

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Performance comparison of nitrile-based liquid electrolytes on bifacial dye-sensitized solar cells under low-concentrated light2022

    • 著者名/発表者名
      Putri Tika E.、Chawarambwa Fadzai L.、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: - 号: 21 ページ: 427-432

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00270-x

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] The Effects of Spin-Coating Rate on Surface Roughness, Thickness, and Electrochemical Properties of a Pt Polymer Counter Electrode2022

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Advanced Engineering Forum

      巻: 45 ページ: 1-13

    • DOI

      10.4028/p-6l16rl

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of Zn1-xMgxO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode using magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Takahashi Daichi、Yamashita Naoto、Yamashita Daisuke、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: - 号: 20 ページ: 415-419

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00234-1

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanostructured Ge and GeSn films by high-pressure He plasma sputtering for high-capacity Li ion battery anodes2022

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kenta Nagai, Yuma Habu, Junki Hayashi, Yumiko Ikebe, Mineo Hiramatsu, Ryota Narishige, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Scientifc Reports

      巻: 12 号: 1 ページ: 17421-12

    • DOI

      10.1038/s41598-022-05579-z

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Performances of Carbon Black-Titanium nitrate and Carbon Black-Titanium/Triton X-100 Composite Polymer Counter Electrodes for Dye-Sensitized Solar Cells2022

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Pankaj Attri、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 1168 ページ: 35-47

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.1168.35

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved luminescence performance of Yb3+-Er3+-Zn2+: Y2O3 phosphor and its application to solar cells2022

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Hwang Sung-Hwa、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakamura Daisuke、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Optical Materials

      巻: 123 ページ: 111928-111928

    • DOI

      10.1016/j.optmat.2021.111928

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Morphological control of nanostructured Ge films in high Ar-gas-pressure plasma sputtering process for Li ion batteries2021

    • 著者名/発表者名
      Junki Hayashi, Kenta Nagai, Yuma Habu, Yumiko Ikebe, Mineo Hiramatsu, Ryota Narishige, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SA ページ: SA1002-SA1002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac2b7b

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Performance Characteristics of Bifacial Dye-Sensitized Solar Cells with a V-Shaped Low-Concentrating Light System2021

    • 著者名/発表者名
      Putri Tika E.、Chawarambwa Fadzai L.、Son Min-Kyu、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      ACS Applied Energy Materials

      巻: 4 号: 12 ページ: 13410-13414

    • DOI

      10.1021/acsaem.1c02774

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effects of concentrated light on the performance and stability of a quasi-solid electrolyte in dye-sensitized solar cells2021

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters

      巻: 781 ページ: 138986-138986

    • DOI

      10.1016/j.cplett.2021.138986

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Passivating antireflection coating of crystalline silicon using i/n a-Si:H/SiN trilayer2021

    • 著者名/発表者名
      Nunomura Shota、Sakata Isao、Sato Aiko、Lozac'h Mickael、Misawa Tatsuya、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Journal of Physics and Chemistry of Solids

      巻: 156 ページ: 110127-110127

    • DOI

      10.1016/j.jpcs.2021.110127

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Comparison between Ar+CH4 cathode and anode coupling chemical vapor depositions of hydrogenated amorphous carbon films2021

    • 著者名/発表者名
      Hwang Sung-Hwa、Iwamoto Ryosuke、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakatani Tatsuyuki、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 729 ページ: 138701-138701

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2021.138701

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices2021

    • 著者名/発表者名
      Narishige Ryota、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Proc. 5th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM)

      巻: - ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/edtm50988.2021.9420921

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films2024

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ISPlasma
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Stability of insulative perovskite YBiO3 film grown on BaBiO3 buffer layer2024

    • 著者名/発表者名
      Naoto Yamashita, Philippa Shepley , Nathan Fox , Joel Burton , Joshua Freeman , Satoshi Sasaki
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御2023

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      化学工学会第54回秋季大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of ZnO based transparent conducting oxides by sputtering combined with solid phase crystallization : a way to meet the future demand for transparent electrodes2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Wada, H. Yabuta, M. Shiratani
    • 学会等名
      AAPPS-DPP2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      MRM2023/IUMRS-ICA2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響2023

    • 著者名/発表者名
      畑昌太朗,中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer2023

    • 著者名/発表者名
      H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成:3次元島バッファー層の形成温度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長:MgOバッファー層の効果2023

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果:ZnON膜の結晶化度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films Using Impurities2023

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International C+Nano Convergence Technology Symposium (ICTS)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films2023

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode2023

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate2023

    • 著者名/発表者名
      K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] サファイア基板上への Zn1-xMgxO 膜のスパッタエピタキシー:ZnON/MgO バッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 三石遼, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲,白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 固相結晶成長した ZnO シード層上への ZnO:Al 膜のスパッタリング成膜2022

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲,白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 不純物でスパッタ膜のモフォロジーを制御する~アモルファスからエピ膜まで~2022

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第78回CVD研究会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering Growth of Single-Crystalline ZnO Based Semiconducting Films on Large Lattice-Mismatched Substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International Workshop on Magnetron Sputter Epitaxy (IWMSE)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Sputter epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnON buffer layers2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 7th Asian Applied Physics Conference
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering deposition of ZnO:Al Transparent Conducting Films on Seed Layers Crystallized via Thermal Annealing of Amorphous ZnON Films2022

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, H. Yabuta, Y. Wada, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 7th Asian Applied Physics Conference
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films beyond the Thornton Diagram Using Impurities2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      AAPPS-DPP 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜:固相結晶化温度の影響2022

    • 著者名/発表者名
      沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜2022

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      三石遼, 矢高功太郎, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 異なるMg組成を有する単結晶ZnO1-xMgxO膜成長におけるZnONバッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 高橋大智, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] サファイア基板上の単結晶ZnO薄膜作製におけるバッファー層評価指標2022

    • 著者名/発表者名
      山下尚人, 中村優太, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of Low-Resistive Amorphous In2O3 :Sn Films at 600°C by Magnetron Sputtering Using Nitrogen2022

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Mido, Z. Shen, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Control of Crystal Structure and Magnetic Properties of ZnO: Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen2022

    • 著者名/発表者名
      A. M. Nurut, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated at room temperature2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響2022

    • 著者名/発表者名
      三石遼, 山下尚人, 矢高功太郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      2022年度日本表面真空学会 九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N.Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Key parameters for single crystalline ZnO film growth by magnetron sputtering via inverted Stranski-Krastanov mode2022

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, Y. Nakamura, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Single-Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode by Low-Power Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, N. Yamashita, D.Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films2022

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode2022

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of RF powers on the crystal quality and surface morphology of single crystalline ZnO films deposited by magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate2022

    • 著者名/発表者名
      K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering Deposition with Impurities: Another Key Parameter to Control Film Structures(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Development of New Oxynitride Semiconductors with Tunable Band Gaps Using Magnetron Sputtering(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Inverted Stranski-Krastanov Growth of ZnO Based Semiconductors for Excitonic Devices(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Sputter epitaxy of ZnO based oxide/oxynitride semiconductors for excitonic transistors(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 非晶質ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果(招待講演)2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 沈志遠, 御堂雄大, 薮田久人
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した単結晶 ZnMgO 薄膜のスパッタリング成膜2021

    • 著者名/発表者名
      矢髙功太郎, 山下尚人, 髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Solid-phase Crystallization of Sputter-deposited ZnON Films and Their Impacts as Seed Layers for ZnO:Al Transparent Conducting Oxides2021

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, N. Yamashita, Y. Mido, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Inverted Stranski-Krastanov Growth of Single-Crystalline Zn Mg O Films on Sapphire Substrates using Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-temperature Growth of Amorphous In O :Sn Films by Magnetron Sputtering using Nitrogen2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Mido, K. Takeda, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, M. Hori, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of RF power2021

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 6th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Epitaxial growth of (ZnO)X(InN)1-X films by magnetron sputtering: effects of surface polarity of ZnO substrates2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      Plathinium 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファスIn2O3:Sn薄膜の高温成膜2021

    • 著者名/発表者名
      御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ZnONバッファー層を用いたサファイア基板上への単結晶Zn1-xMgxO薄膜の成長2021

    • 著者名/発表者名
      高橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] マグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜の表面モフォロジーに及ぼす基板極性の影響2021

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣 奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] (ZnO)x (InN)1-x 膜のスパッタエピタキシーに及ぼす基板表面極性の影響2021

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] スパッタ法によるサファイア基板上への原子平坦なZnMgO薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファス In2 O3 :Sn 薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [備考] 九州大学 板垣研究室Website

    • URL

      https://plasma.ed.kyushu-u.ac.jp/~inorganic/index.html

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書

URL: 

公開日: 2021-07-13   更新日: 2025-01-30  

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