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半導体-金属相転移を利用したゼロ温度係数高抵抗薄膜の創成

研究課題

研究課題/領域番号 21K18805
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分26:材料工学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

須藤 祐司  東北大学, 工学研究科, 教授 (80375196)

研究期間 (年度) 2021-07-09 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2022年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2021年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
キーワード抵抗の温度係数 / 相制御 / 比抵抗 / カルコゲナイド薄膜 / 高比抵抗合金 / 温度係数 / 高抵抗材料 / 相変化材料 / 相転移 / カルコゲナイド
研究開始時の研究の概要

様々な電子デバイスの高性能化、安全性の向上、省エネルギー化の達成には、それらを駆動し制御する根幹を支える「抵抗器」の高精度化が必須であり、将来の情報化社会や省エネルギー社会の発展に向けては、広い温度範囲にて抵抗値が変化しない“ゼロ温度係数(TCR)”を持つ抵抗材が不可欠である。本研究では、ゼロTCRの実現に向け、相変化型カルコゲナイドが示す半導体相-金属相転移に着目し、相制御及び半導体/金属相界面制御を通して、材料が元来持っている「温度変化に伴って生じる電気抵抗の変化」という性質を示さない常識を打ち破る材料創成に挑む。

研究成果の概要

様々な電子デバイスの高性能化、安全性の向上、省エネルギー化の達成には、それらを駆動し制御する根幹を支える抵抗器の高精度化が不可欠である。本研究では、材料の相制御及び相界面制御を通して、材料が元来持っている温度変化に伴って生じる電気抵抗の変化(温度係数:TCR)という性質を示さない常識を打ち破る材料創成を試みた。その結果、相変化型カルコゲナイド薄膜の半導体結晶と金属結晶の分率を制御することで極めて低いTCRを実現できることが分かった。更に、Fe-Cr-Al-Co合金において、不規則A2+規則B2二相分離組織により高比抵抗かつ低TCRを達成可能であることが分かった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

半導体相変化型薄膜や高比抵抗合金といった様々な材料の相および相界面の制御により、材料自身の抵抗の温度依存性を極限まで低減するための組織設計指針を示した本成果の学術的及び工業的な意義は高い。本研究において得られた、高比抵抗かつ極めて小さなTCRを示す実現する相変化型カルコゲナイド薄膜やFe―Cr-Al-Co系合金は、様々な抵抗器の更なる信頼性向上の実現を期待させるものであり、本研究で得られた成果は社会的にも意義深いと考えられる。

報告書

(3件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2022

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Electrical Conduction Mechanism of β-MnTe Thin Film with Wurtzite-Type Structure Using Radiofrequency Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Physica status solidi rapid research letters

      巻: 16 号: 9 ページ: 2100641-2100641

    • DOI

      10.1002/pssr.202100641

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] リフトオフプロセスによるβ-MnTeフレーク試料の作製と熱量測定2022

    • 著者名/発表者名
      森竣祐、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2023年春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Cu2GeTe3の半導体/金属相変化を利用した比抵抗の低温度係数化2022

    • 著者名/発表者名
      皆瀬陽平, 双逸, 安藤大輔, 須藤祐司
    • 学会等名
      令和3年度日本材料科学会北海道・東北支部 第4回 材料科学コロキウム
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 高抵抗Fe-Cr-Al-Co合金の抵抗温度係数に及ぼす組成および熱処理条件の影響2022

    • 著者名/発表者名
      監物幸翼、安藤大輔、石田清仁、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2021年秋期第169回講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [産業財産権] 高比抵抗合金2022

    • 発明者名
      須藤祐司、監物幸翼、安藤大輔、石田清仁
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2021-07-13   更新日: 2024-01-30  

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