| 研究課題/領域番号 |
21K18870
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| 研究種目 |
挑戦的研究(萌芽)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
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| 研究機関 | 新潟大学 |
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研究代表者 |
安部 隆 新潟大学, 自然科学系, 教授 (00333857)
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| 研究期間 (年度) |
2021-07-09 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2023年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2022年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2021年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | MEMS / 特殊金属 / マイクロマシン / チタン / 微細加工技術 / 電解エッチング / 耐久性向上 / タフMEMS / マイクロファブリケーション / チタンマイクロマシニング / フレキシブルセンサ / 絶縁プロセス / 接合 / 特殊金属加工 / マイクロメス / チタンMEMS / 合金 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
申請研究では、特殊金属の個性である、フレキシブル性、鋼球落下や爆風等の衝撃および高温に耐える機械的耐久性、腐食環境における長期間の化学的耐久性など、格段の機能性を備えた「特殊金属/合金マイクロマシンの創成」の実現に向けて挑戦します。現在のセンサ・デバイス技術の基盤となっているSi-MEMSの利用環境の制限の克服や用途拡大を目指すと同時に、特殊金属/合金だから可能な未踏センサ・デバイスの提案・実証にも挑戦します。
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| 研究成果の概要 |
本研究では、特殊金属製マイクロマシンの創成に向けた、総合的な微細加工プロセスの開発を進めた。例えば、チタンに対応した箔のような薄板でも反らない絶縁膜プロセス、用途に合わせた電解エッチングプロセス、微小構造体を作製する二重層プロセスなどの基本技術を開発した。また、フッ素樹脂との接合技術など、耐食性を活かした特種用途を想定した技術開発にも成功した。さらに、開発した技術を用いて、対象に貼って使用するチタン製フレキシブルフォースセンサ、カンチレバーやダイヤフラムの作製、マイクロサージェリー用メスやニードル、マイクロ電解電極などの新しいセンサ・デバイスの創成にも挑戦した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
マイクロマシン技術はセンサ・デバイス小型化の基盤技術として広く使用されている。今後、さらに、新しい需要や用途に対してもその可能性を拡大していく鍵となるのは多様な材料を取り入れることである。チタンやモリブデンなどの特殊金属には、耐久性などの観点で、特色があり、これらの材料に対応したマイクロマシン技術の実現により、新たな特色を取り込んだマイクロマシンの登場が期待される。
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