| 研究課題/領域番号 |
22241033
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
下山 勲 東京大学, 情報理工学(系)研究科, 教授 (60154332)
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| 連携研究者 |
松本 潔 東京大学, IRT 研究機構, 特任教授 (10282675)
菅 哲朗 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 助教 (30504815)
竹井 裕介 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 特任助教 (00513011)
野田 堅太郎 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 特任助教 (00547482)
高橋 英俊 東京大学, IRT 研究機構, 特任研究員 (90625485)
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| 研究期間 (年度) |
2010-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
41,600千円 (直接経費: 32,000千円、間接経費: 9,600千円)
2013年度: 7,800千円 (直接経費: 6,000千円、間接経費: 1,800千円)
2012年度: 14,170千円 (直接経費: 10,900千円、間接経費: 3,270千円)
2011年度: 7,800千円 (直接経費: 6,000千円、間接経費: 1,800千円)
2010年度: 11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円)
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| キーワード | マイクロセンサー / MEMS / 3軸力センサ / ピエゾ抵抗型カンチレバー |
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| 研究概要 |
細胞に対して力学的刺激を定量的に再現性よく加えることが可能な3軸ピエゾ抵抗型MEMSカンチレバーの研究開発を行った。カンチレバーはSOI基板上で製作され、カンチレバーの表面及び梁の側面にピエゾ抵抗層を形成することで、3方向の歪みを同時に検出可能となるよう設計した。3軸方向それぞれに対して、1 μN以下の分解能で力を独立して計測可能なデバイスを実現した。
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