| 研究課題/領域番号 |
22246016
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
高増 潔 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70154896)
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| 研究分担者 |
高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 (30283724)
松本 弘一 東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 (00358045)
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| 連携研究者 |
古谷 涼秋 東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
三隅 伊知子 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 主任研究員 (40358099)
佐藤 理 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 研究員 (60392619)
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| 研究期間 (年度) |
2010-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
28,730千円 (直接経費: 22,100千円、間接経費: 6,630千円)
2013年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2012年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円)
2011年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円)
2010年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
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| キーワード | ナノメートル計測 / 三次元計測 / 不確かさ推定 / 形状測定 |
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| 研究成果の概要 |
ナノスケールものづくりにおけるナノ三次元計測の不確かさ体系化のために，以下に示す4つの研究を行い，ナノメートル三次元計測における不確かさ推定手法の体系化を行った．
（1）ナノ三次元計測の不確かさの理論では，測定機の運動誤差から伝播により不確かさを推定するソフトウェアを開発し，その有効性を確認した．（2）光学的ナノ三次元形状計測では，角度センサを利用した非球面計測手法を開発し，その不確かさ推定を行った．（3）ナノ標準の開発では，Si格子をスケールとして利用する半導体構造の三次元形状測定を実施した．（4）光コムによるパルス干渉計では，パルス干渉計を構築し，三次元座標測定機の精度評価を行った．
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