| 研究課題/領域番号 |
22246026
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
高松 洋 九州大学, 大学院・工学研究院, 教授 (20179550)
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| 研究分担者 |
高橋 厚史 九州大学, 大学院・工学研究院, 教授 (10243924)
藏田 耕作 九州大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (00368870)
内田 悟 九州大学, 大学院・工学研究院, 助教 (80038041)
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| 連携研究者 |
康 東天 九州大学, 大学院・医学研究院, 教授 (80214716)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
50,310千円 (直接経費: 38,700千円、間接経費: 11,610千円)
2012年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2010年度: 39,000千円 (直接経費: 30,000千円、間接経費: 9,000千円)
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| キーワード | 熱物性 / 測定法 / MEMS / センサ / 計測技術 / ＭＥＭＳセンサ / 熱物性値測定 / 熱伝導率 / 新測定法 / 微量測定 / ガスセンサ / 熱伝導率検出器 / MEMSセンサ / 定常測定 / 水素センサ / アレルギーセンサ / TCD / バイオセンサ / ケミカルセンサ |
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| 研究概要 |
本研究は,シリコン基板表面に設けた溝に懸架した構造の梁型金属薄膜MEMSセンサ(マイクロビームセンサ)を流体中で加熱し,その温度上昇から気体や液体の熱伝導率を測定する新しい方法の開発を目的としたものである.そのため,長さ10μm程度の白金または金センサの作製法を確立した上で,空気とFC-72を試料とした実験を行い,熱伝導率の違いが検知できることを実証した.また,これをガスセンサ等に応用することを想定して,流れがセンサ温度に影響を及ぼさないことも実験的に確認した.
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