| 研究課題/領域番号 |
22246128
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
原子力学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
古澤 孝弘 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (20251374)
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| 研究分担者 |
楊 金峰 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (90362631)
小林 一雄 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (30116032)
山本 洋揮 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (00516958)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
34,320千円 (直接経費: 26,400千円、間接経費: 7,920千円)
2012年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2011年度: 13,260千円 (直接経費: 10,200千円、間接経費: 3,060千円)
2010年度: 14,690千円 (直接経費: 11,300千円、間接経費: 3,390千円)
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| キーワード | 放射線 / X 線 / 粒子線 / 半導体超微細化 / シミュレーション工学 / 計算物理 / 放射線、X線、粒子線 |
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| 研究概要 |
半導体量産ラインでは、集束性の高い高品質のエネルギーである量子ビームと低質・安価な熱エネルギーを組み合わせることにより、高解像度かつ高感度な加工が実現されてきた。本研究では電子線、レーザー、極端紫外光(EUV)、X 線等の量子ビームを加工手段かつ分析手段として最大限活用することにより、量子ビームをトリガーとして開始され、16nm 以下の領域において完結させる必要がある化学反応および反応場の詳細を解析し、得られた知見をもとにモンテカルロシミュレーションコードを開発した。
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