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動的共有結合化学システムによる環状化合物の合成とそれらのレジスト材料への応用

研究課題

研究課題/領域番号 22350088
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 有機工業材料
研究機関関西大学 (2012)
神奈川大学 (2010-2011)

研究代表者

工藤 宏人  関西大学, 化学生命工学部, 准教授 (30343635)

研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
19,760千円 (直接経費: 15,200千円、間接経費: 4,560千円)
2012年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2011年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2010年度: 15,340千円 (直接経費: 11,800千円、間接経費: 3,540千円)
キーワードレジスト / 極端紫外線 / 環状オリゴマー / ノーリア / 化学増幅型レジスト / 分子レジスト / 動的共有結合化学 / 電子線 / 光機能性材料
研究概要

レゾルシノールと1,5-ペンタンジアールの縮合反応において新規動的共有結合化学(DCC)システムを見出すことに成功し、ラダー型環状オリゴマー(noria = 水車)を合成することに成功した。合成したnoriaに、光重合性基、光脱保護基を導入し、それらの物理的特性(溶解性、成膜性、耐熱性)や光反応性を検討した結果、UV硬化性樹脂材料や高解像性レジスト材料として応用可能であることを明らかにした。特に、光反応性に優れ、極端紫外線レジスト材料として高感度を示すことが期待され、次世代レジスト材料の分子設計指針を確立した。さらに、DCCシステムを応用し、新しいラダー型環状オリゴマー類の合成にも成功した。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (60件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (20件) (うち査読あり 20件) 学会発表 (38件) (うち招待講演 4件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Synthesis and Property of Noria (Water-Wheel Like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups, and Their Application for Extreme Ultraviolet (EUV) Resist2013

    • 著者名/発表者名
      Nobumitsu Niina, Hiroto Kudo, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, and Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 534 ページ: 459-464

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 動的共有結合化学システムによるラダー型環状オリゴマーの合成とそれらを基盤とした光機能性材料2012

    • 著者名/発表者名
      工藤 宏人、西久保忠臣
    • 雑誌名

      有機合成化学協会誌5月号(総合論文)

      巻: 70 ページ: 492-507

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impregnation of waterwheel supramolecules as proton carriers in Nafion-perfluorinated ionomer membranes2012

    • 著者名/発表者名
      Nadzrinahamin. A. Nazir, Hiroto Kudo, Tadatomi Nishikubo, Thein Kyu
    • 雑誌名

      J Mater Sci

      巻: 47 ページ: 7269-7279

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of Triple-ringed[14]Arene via Dynamic Covalent Chemistry Mechanism in Condensation Reaction of Phenols with m-Benzenedicarboaldehyde2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Seki, Shingo Kuwabara, Hiroto Kudo, and Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Chemistry Letters

      巻: 41 ページ: 699-701

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Nobumitsu Niina, Tomoharu Sato, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Takuro Miura, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
    • 雑誌名

      J. Photopolym. Sci. Technol.

      巻: 25 ページ: 587-592

    • NAID

      130004833483

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 動的共有結合化学システムによるラダー型環状オリゴマーの合成と、それらを基盤とした光機能性材料(UV硬化樹脂・分子レジスト)への応用2012

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人、西久保忠臣
    • 雑誌名

      有機合成化学協会誌5月号(総合論文)

      巻: 70 ページ: 492-507

    • NAID

      10030765505

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle ) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Nobumitsu Niina, Tomoharu Sato, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Takuro Miura, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
    • 雑誌名

      J. Photopolym. Sci. Technol.

      巻: 25 ページ: 587-592

    • NAID

      130004833483

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis and Property of Tellurium-containing Polymers Obtained by SimpleCondensation Reaction of Tetrachlorotellurium and 1,3-Dimethoxybenzene2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Hideatsu Ishihara, and Masashi Tomita
    • 雑誌名

      Chemistry Letters

      巻: 40 ページ: 762-764

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Condensation Reaction of Phenols with 1,5-Pentanedial for Synthesis of Noria-like Ladder-cyclic Oligomer by Dynamic Covalent Chemistry Mechanism2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Seki, Shingo Kuwabara, Hiroto Kudo and Tadatomi Nishikubob
    • 雑誌名

      Chemistry Letters

      巻: 40 ページ: 464-466

    • NAID

      10028242461

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme Ultraviolet Resist Fabricated Using Water Wheel-Like Cyclic Oligomer with Pendant Adamantyl Ester Groups, Jpn2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Seki, Hiroto Kudo, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, and Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys

      巻: 50

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Multicomponent negative-type photoresist based on Noria analog with 12 ethoxy groups2011

    • 著者名/発表者名
      Nobumitsu Niina, Hiroto Kudo, Ken Maruyama, Toshiyuki Kai,Tsutomu Shimokawa, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Polymer Journal

      巻: 43 ページ: 407-413

    • NAID

      10028159565

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis and Property of Tellurium-containing Polymers Obtained by Simple Condensation Reaction of Tetrachlorotellurium and 1,3-Dimethoxyben zene2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Hideatsu Ishihara, Masashi Tomita
    • 雑誌名

      Chemistry Letters

      巻: 40 ページ: 762-764

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme Ultraviolet Resist Fabricated Using Water Wheel-Like Cyclic Oligomer with Pendant Adamantyl Ester Groups2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Seki, Hiroto Kudo, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys

      巻: 50

    • NAID

      40019140824

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis and Photo-Cross-Linking Reaction of Noria Derivatives Containing Photoreactive Groups2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Nobumitsu Niina, Rieko Hayashi, Ken Kojima, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Macromolecules

      巻: 43(10) ページ: 4822-4826

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Negative-type extreme ultraviolet resist materials based on water-wheel-like cyclic oligomer (noria)2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Seki, Yuki kato, Hiroto Kudo, Hiroaki oizumi, Toshiro Itani, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl.

      巻: 49

    • NAID

      210000068648

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Novel extreme ultraviolet (EUV)-resist material based on noria(water wheel-like cyclic oligomer)2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Yuji Suyama, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Journal of Materials Chemistry

      巻: 20(21) ページ: 4445-4450

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] xtreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials of Noria (Water Wheel-Like Cyclic Oligomer) Derivatives containing Acetal Moieties2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Mayumi Jinguji, Tadatomi Nishikubo, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani
    • 雑誌名

      J. Photopolym. Sci. Technol

      巻: 23(5) ページ: 657-664

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Negative-type extreme ultraviolet resist materials based on water-wheel-like cyclic oligomer (noria)2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Seki, Yuki kato, Hiroto Kudo, Hiroaki oizumi, Toshiro Itani, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49,06GF06 ページ: 1-6

    • NAID

      210000068648

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Novel extreme ultraviolet(EUV)-resist material based on noria (water wheel-like cyclic oligomer)2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Yuji Suyama, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itaru, Tadatomi Nishikubo
    • 雑誌名

      Journal of Materials Chemistry

      巻: 20(21) ページ: 4445-4450

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials of Noria (Water Wheel-Like Cyclic Oligomer) Derivatives containing Acetal Moieties2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Mayumi Jinguji, Tadatomi Nishikubo, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol

      巻: 23(5) ページ: 657-664

    • NAID

      40017186910

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Novel Molecular Resist Materials based on Cyclic Oligomers2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo
    • 学会等名
      2nd International EUV Resist Synmpojium
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター(大阪)
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Novel Molecular Resist Materials based on Cyclic Oligomers2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo
    • 学会等名
      2nd International EUV Resist Synmpojium
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター(大阪)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 極端紫外線(EUVL)用分子レジスト材料の開発 (1Xnm以下の解像性をめざして)2012

    • 著者名/発表者名
      工藤 宏人
    • 学会等名
      日本化学会 第92春季年会 (招待講演)
    • 発表場所
      慶応大学日吉キャンパス
    • 年月日
      2012-03-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 極端紫外線(EUVL)用分子レジスト材料の開発(1Xnm以下の解像性をめざして)2012

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人
    • 学会等名
      日本化学会第92春季年会
    • 発表場所
      慶応大学日吉キャンパス(招待講演)
    • 年月日
      2012-03-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle) Derivatives2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo
    • 学会等名
      International Advanced Nanopatterning Materials and Processes Workshop
    • 発表場所
      早稲田国際会議場(東京)
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Nobumitsu Niina, Tomoharu Sato, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Takuro Miura, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
    • 学会等名
      The 29th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 発表場所
      千葉大学コンベンションホール(千葉県)
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 動的共有結合による籠状分子の合成と光機能材料への応用2012

    • 著者名/発表者名
      工藤 宏人
    • 学会等名
      高分子学会
    • 発表場所
      横浜国際会議場(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 動的共有結合による籠状分子の合成と光機能材料への応用2012

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人
    • 学会等名
      高分子学会
    • 発表場所
      横浜国際会議場(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle ) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo, Nobumitsu Niina, Tomoharu Sato, Hiroaki Oizumi, Toshiro Itani, Takuro Miura, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
    • 学会等名
      The 29th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 発表場所
      千葉大学コンベンションホール(千葉県)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle ) Derivatives2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Kudo
    • 学会等名
      International Advanced Nanopatterning Materials and Processes Workshop
    • 発表場所
      早稲田国際会議場(東京)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] アセタール残基を有するNoria誘導体を基盤としたレジスト材料の開発2011

    • 著者名/発表者名
      神宮司真由美・工藤 宏人・西久保忠臣・老泉博昭・伊谷俊郎・丸山研・木村徹・下川努
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-30
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] コアに空孔を有する構造が制御されたスターポリスチレンの合成2011

    • 著者名/発表者名
      木原宏介・工藤 宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-30
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] ビシクロオルソエステル残基を有するカリックスアレーン類の合成とそれらの屈折率変換特性2011

    • 著者名/発表者名
      清水達記、工藤 宏人、西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-30
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] オキセタニル基とカルボキシル基を有するアミノ酸誘導体類の合成と自己重付加反応、および得られたポリマー類の物理特性と生分解性2011

    • 著者名/発表者名
      大城利樹.・工藤 宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] 環状チオウレタン類を開始剤として用いた環拡大重合法による構造の制御された環状ポリマーの合成2011

    • 著者名/発表者名
      武士由希・島 茂記・工藤 宏人・西久保 忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] アダマンチルエステル残基を有するトリプルカリックスレゾルシンアレーン誘導体類の合成とそれらのレジスト材料への応用2011

    • 著者名/発表者名
      関浩之・工藤宏人・丸山研・木村徹・下川努・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 環状チオウレタン類を開始剤として用いた環拡大重合法による環状ポリスルフィドの合成2011

    • 著者名/発表者名
      武士由希・島茂記・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ビシクロオルトエステル基を有するカゴ型シルセスキオキサンの合成と性質、および屈折率特性変化2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木穰次・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] アダマンチルエステル残基を有するダブルカリックスアレーン誘導体の合成とそれらを基盤としたレジスト材料の開発2011

    • 著者名/発表者名
      森山和樹・西久保忠臣・工藤宏人・老泉博昭・井谷俊郎・丸山研・木村徹・下川努
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] アダマンチル残基を有するカリックスアレーン二量体の合成と性質、およびそれらのEB・EUVレジスト材料への応用2011

    • 著者名/発表者名
      佐藤友治・荒井義明・工藤宏人・西久保忠臣・井谷俊郎・老泉博昭
    • 学会等名
      第60回高分子討論会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2011-09-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Recent Development in Molecular Resists for Extreme Ultraviolet Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      工藤 宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      The 28th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-28)
    • 発表場所
      千葉大学
    • 年月日
      2011-06-22
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Recent Development in Molecular Resists for Extreme Ultraviolet Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      The 28^<th> International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-28)
    • 発表場所
      千葉大学(招待講演)
    • 年月日
      2011-06-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Extreme Ultraviolet (EUV) . Resist Materials based on Water Wheel-like Cyclic Oligomer (Noria)2011

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      RadTech Asia 2011
    • 発表場所
      横浜国際会議場
    • 年月日
      2011-06-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials based on Water Wheel-like Cyclic Oligomer (Noria)2011

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      RadTech Asia 2011
    • 発表場所
      横浜国際会議場
    • 年月日
      2011-06-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 1分子内にオキセタニル基、カルボキシル基、およびチオール基を有するモノマー(ABCタイプモノマー)の自己重付加反応と得られたポリマーの性質2011

    • 著者名/発表者名
      大城利樹・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] アダマンチルエステル残基を有するカリックス[4]レゾルシンアレーントリマー(C7-trimer)誘導体の合成とそれらのEUVレジスト材料への応用2011

    • 著者名/発表者名
      石原 秀篤・森山 和樹・ 工藤 宏人・西久保 忠臣・老泉博昭・井谷 俊郎
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] レゾルシノールと1,6-ヘキサンジア.ルの縮合反応によるラダ.型環状オリゴマーの合成とそれらの極端紫外線(EUV)レジスト材料への応用2011

    • 著者名/発表者名
      佐藤 友治・井谷 俊郎・老泉博昭・工藤 宏人・西久保 忠臣
    • 学会等名
      60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] ダマンチルアセタール残基を有するNoria誘導体の合成と、それらのEB、EUVレジスト特性2011

    • 著者名/発表者名
      神宮司 真由美・工藤 宏人・西久保 忠臣・老泉 南昭・井谷 俊郎・ 丸山 研・木村 徹・下川 努
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] アダマンチルアセタール残基を有するNoria誘導体の合成と、それらのEB、EUVレジスト特性2011

    • 著者名/発表者名
      神宮司真由美・工藤宏人・西久保忠臣・老泉南昭・井谷俊郎・丸山研・木村徹・下川努
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] レゾルシノールと1,6-ヘキサンジア〓ルの縮合反応によるラダ〓型環状オリゴマ〓の合成とそれらの極端紫外線(EUV)レジスト材料への応用2011

    • 著者名/発表者名
      佐藤友治・井谷俊郎・老泉博昭・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ビシクロオルソエステル残基を有するカリックスアレ-ン誘導.の合成と光反応およびそれらの屈折率上昇材2011

    • 著者名/発表者名
      清水 達記・工藤 宏人・西久保 忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-25
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] ビシクロオルソエステル残基を有するカリックスアレーン誘導〓の合成と光反応およびそれらの屈折率上昇材2011

    • 著者名/発表者名
      清水達記・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 環状チオウレタン類を開始剤として用いた環拡大重合法による構造の制御された環状ポリマーの合成2011

    • 著者名/発表者名
      武士由希・島茂記・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Noria骨〓をテンプレートとしたコア架橋型スターポリマーの合成とその特性2011

    • 著者名/発表者名
      木原宏介・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 動的共有結合化学を利用したレゾルシノール類とm-ベンゼンジカルボアルデヒドとの縮合反応によるラダー型オリゴマーの合成2011

    • 著者名/発表者名
      関浩之・工藤宏人・西久保忠臣
    • 学会等名
      第60回高分子学会年次大会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2011-05-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 動的共有結合化学システムの構築による特殊構造分子の合成と応用(16 nm以下の高解像度レジスト材料の開発を目指して)2010

    • 著者名/発表者名
      工藤 宏人
    • 学会等名
      関東高分子若手研究会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      2010-11-20
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] Positive and Negative Type Extreme Ultraviolet (EUV) . Resist Materials based on Noria (Water Wheel-like Cyclic Oligomer)2010

    • 著者名/発表者名
      工藤 宏人
    • 学会等名
      The 27th International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials and Propcess for Advanced Microlithography and Nanotechnology
    • 発表場所
      千葉大学
    • 年月日
      2010-06-23
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Positive and Negative Type Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials based on Noria (Water Wheel-like Cyclic Oligomer)2010

    • 著者名/発表者名
      工藤宏人
    • 学会等名
      For The 27^<th> International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials and Propcess for Advanced Microlithography and Nanotechnology
    • 発表場所
      千葉大学
    • 年月日
      2010-06-23
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www2.kansai-u.ac.jp/kudo-lab/

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考] 関西大学 化学生命工学部 化学・物質工学科 高分子合成化学研究室

    • URL

      http://www2.kansai-u.ac.jp/kudo-lab/

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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