ポリジメチルシロキサンの軟Ｘ線直接加工

• 研究課題/領域番号: 22360016
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 筑波大学
• 研究代表者: 牧村 哲也 筑波大学, 数理物質系, 准教授 (80261783)
• 研究分担者: 岡田 龍雄 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (90127994)
• 研究期間 (年度): 2010-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 19,500千円 (直接経費: 15,000千円、間接経費: 4,500千円); 2013年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円); 2012年度: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円); 2011年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2010年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
• キーワード: レーザープラズマ軟X線 / ポリジメチルシロキサン / シリコーンエラストマー / マイクロ加工 / 極端紫外光 / 光直接加工 / シリコー,エラストマー / シリコーンゴム / PDMS / 微細加工

研究概要

レーザープラズマ軟Ｘ線によるポリジメチルシロキサン(PDMS)のアブレーション加工法について研究した。この方法で、1μmのスケールで精密にPDMSのアブレーション加工を可能にした。測定を行った範囲では、レーザープラズマ軟Ｘ線の波長に強く依存ことはなく、PDMS表面での軟Ｘ線のパワー密度により加工特性が決まっていることを明らかにした。軟Ｘ線照射面の化学的改質は観測できなかった。このように、マイクロメートルスケールでのPDMSの微細加工に有用な加工特性を実現した。

研究成果

• [雑誌論文] 軟X線による物質アブレーション (2014)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 錦野将元, 河内哲哉
  • 雑誌名: レーザー研究 巻: vol.42 ページ: 45-49
  • NAID: 130007897464
  • 査読あり
• [雑誌論文] Absorption mechanism of the second pulse in double-pulse femtosecond laser glass microwelding (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, 他6名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.21 号: 20 ページ: 24049-24059
  • DOI: 10.1364/oe.21.024049
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of extreme ultraviolet emission from mid-infrared laser-produced rare-earth Gd plasmas (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, 他14名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.21 号: 26 ページ: 31837-31845
  • DOI: 10.1364/oe.21.031837
  • 査読あり
• [雑誌論文] Responses of organic and inorganic materials to intense EUV radiation from laser-produced plasmas (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Shuichi Torii, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 巻: 8777 ページ: 877706-877706
  • DOI: 10.1117/12.2019048
• [雑誌論文] Characterization and mechanism of glass microwelding by double-pulse ultrafast laser irradiation (2012)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, 他8名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.20 号: 27 ページ: 28893-28905
  • DOI: 10.1364/oe.20.028893
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Polymethylmethacrylate and Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma Soft X-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他5名
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro / Nanoengineering 巻: vol.6 ページ: 235-238
  • 査読あり
• [雑誌論文] Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of CO_2 laser with Fresnel diffraction (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okda, 他6名
  • 雑誌名: Applied Physics 巻: vol.104 号: 2 ページ: 593-599
  • DOI: 10.1007/s00339-011-6364-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Polymethylmethacrylate and Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma Soft X-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Torii, 他7名
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: 6 ページ: 235-238
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Torii, 他7名
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 巻: 41 ページ: 8077-8077
• [雑誌論文] Direct etching of poly (methyl methacrylate) using laser plasma soft X-rays Applied (2010)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 雑誌名: Physics Express 巻: vol.3 号: 6 ページ: 66502-66502
  • DOI: 10.1143/apex.3.066502
  • 査読あり
• [雑誌論文] XUV～X線による材料加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 他3名
  • 雑誌名: レーザー研究 巻: vol.38 ページ: 957-962
  • NAID: 10027617764
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, T.Okada, 他6名
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: vol.5 ページ: 269-272
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct etching of poly (methyl methacrylate) using laser plasma soft X-rays (2010)
  • 著者名/発表者名: Shuichi Torii, 他7名
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 3 ページ: 66502-66502
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation (2010)
  • 著者名/発表者名: Okazwki, 他7名
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: 5 ページ: 269-272
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of silica glass using EUV radiation of laser-produced plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Takahashi, 他7名
  • 雑誌名: The Institute of Electrical Engineering of Japan(IEEJ) Transactions EIS 巻: 130 ページ: 1779-1783
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nano-and micromachining using laser plasma soft X-rays (2010)
  • 著者名/発表者名: Makimura, 他3名
  • 雑誌名: Journal of Nanophotonics 巻: 4 ページ: 40305-40305
  • 査読あり
• [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション (2014)
  • 著者名/発表者名: 鳥居 周一, 牧村 哲也, 新納 弘之, 村上 浩一
  • 学会等名: 2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 相模原キャンパス, 東京
  • 年月日: 2014-03-19
• [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション (2014)
  • 著者名/発表者名: 鳥居 周一, 牧村 哲也, 新納 弘之, 村上 浩一
  • 学会等名: 2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 相模原キャンパス, 東京
• [学会発表] Micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他7名
  • 学会等名: The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata
  • 年月日: 2013-07-24
• [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane using EUV light (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他7名
  • 学会等名: The 10th Conference on Lasers and Electo-Optics Pacific Rim 2013
  • 発表場所: Kyoto International Confernce Center, Kyoto
  • 年月日: 2013-07-03
• [学会発表] Responses of organic and inorganic materials to intense EUV radiation from laser-produced plasmas, SPIE Europe 2013 (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他5名
  • 学会等名: Optics+Optoelectronics
  • 発表場所: プラハ, チェコ
  • 年月日: 2013-04-15
  • 招待講演
• [学会発表] Direct micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 学会等名: 5th International Symposium on Nanomedicine
  • 発表場所: Nagoya University, Aichi
  • 年月日: 2013-03-26
• [学会発表] 光照射した無機材料の緩和過程 (2013)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也
  • 学会等名: 光産業技術振興協会第 2 回研究交流会
  • 発表場所: 産業技術総合研究所 臨海副都心センター別館, 東京
• [学会発表] Ablation Process of PMMA Induced by Irradiation with Laser Plasma EUV Light (2013)
  • 著者名/発表者名: Nobuhiko Sugiura, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Yoshiyuki Ichinosawa, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
  • 学会等名: The 10th Conference on Lasers and Electo-Optics Pacific Rim 2013
  • 発表場所: Kyoto International Confernce Center, Kyoto
• [学会発表] Micromachining of PMMA using laser plasma soft X-rays for fabrication of 3D molds in a micrometer scale (2013)
  • 著者名/発表者名: Nobuhiko Sugiura, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Yoshiyuki Ichinosawa, Kouta Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
  • 学会等名: The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata
• [学会発表] Micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2013)
  • 著者名/発表者名: Shintaro Fukami, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Koichi Murakami
  • 学会等名: The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Toki Messe Niigata Convention Center, Toki
• [学会発表] レーザープラズマ放射極端紫外光による微細加工 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鳥居 周一, 小森 隆幸, 高橋 翔大, 小川 端生, 藤枝 隆一郎, 深見 慎太郎, 杉浦 信彦, 牧村 哲也, 中村 大輔, 高橋 昭彦, 岡田 龍雄, 新納 弘之, 村上 浩一
  • 学会等名: レーザー学会第450回研究会
  • 発表場所: 早稲田大学西早稲田キャンパス, 東京
• [学会発表] inorganic and organic (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura
  • 学会等名: SPIE Europe 2013, Optics+Optoelectronics
  • 発表場所: プラハ, チェコ
  • 招待講演
• [学会発表] 3次元マイクロ金型作製のためのレーザープラズマ軟X線によるPMMAの微細加工 (2013)
  • 著者名/発表者名: 杉浦伸彦
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
• [学会発表] Direct micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2012)
  • 著者名/発表者名: S.Torii
  • 学会等名: 5th International Symposium on Nanomedicine
  • 発表場所: Nagoya University
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] Process of Silica Ablation Induced by Soft X-Ray Irradiation (2012)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tasuo Okada, 他6名
  • 学会等名: International Conference on Electronic Materials 2012
  • 発表場所: Pacifico Yokohama, Kanagawa
• [学会発表] Process of Silica Ablation Induced by Soft X-Ray Irradiation (2012)
  • 著者名/発表者名: Shuichi Torii
  • 学会等名: International Conference on Electronic Materials 2012
  • 発表場所: Pacifico Yokohama
• [学会発表] Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, 他3名
  • 学会等名: 2011 Pcific-Rim Laser Damage
  • 発表場所: Shanghi, China
  • 年月日: 2011-11-07
  • 招待講演
• [学会発表] Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Makimura
  • 学会等名: 2011 Pcific-Rim Laser Damage
  • 発表場所: Shanghi, China(招待講演)
  • 年月日: 2011-11-07
• [学会発表] Micromachining of polymethylmethacrylate and polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 学会等名: The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Kagawa Interntional Conference Hall, Kagawa
  • 年月日: 2011-06-07
• [学会発表] Micromachining of polymethylmethacrylate and polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Torii
  • 学会等名: The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Kagawa Intemtional Conference Hall
  • 年月日: 2011-06-07
• [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, T. Okada, 他6名
  • 学会等名: SPIE Optics + Optoelectronics 2011
  • 発表場所: Prague Congress Centre. Prague, Czech
  • 年月日: 2011-04-20
• [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Torii
  • 学会等名: SPIE Optics +Optoelectronics 2011
  • 発表場所: Prague Congress Centre. Prague, Czech
  • 年月日: 2011-04-20
• [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 学会等名: SPIE Optics + Optoelectronics 2011
  • 発表場所: Prague Congress Centre. Prague, Czech
  • 年月日: 2011-04-19
  • 招待講演
• [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Makimura
  • 学会等名: SPIE Optics+Optoelectronics 2011
  • 発表場所: Prague Congress Centre. Prague, Czech(招待講演)
  • 年月日: 2011-04-19
• [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EWV light beyond ablation threshold and micromachuung (2011)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 他7名
  • 学会等名: SPIE Europe Optics+Optoelectronics
  • 発表場所: Prague(Czech Republic) Invited
  • 年月日: 2011-04-19
• [学会発表] レーザー励起EUV光によるアブレーションと微細加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 他3名
  • 学会等名: 平成22年度レーザープラズマ粒子加速研究会
  • 発表場所: 光産業創成大学院大学
  • 年月日: 2010-12-07
• [学会発表] Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of infrared laser with fresnel diffraction (2010)
  • 著者名/発表者名: Okazaki, 他7名
  • 学会等名: IEEE Region 10 Conference 2010
  • 発表場所: Fukuoka (Japan)
  • 年月日: 2010-11-21
• [学会発表] レーザープラズマX線による透明材料の微細加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 鳥居周一, 他7名
  • 学会等名: 第1回先端ナノバイオフォーラム
  • 発表場所: 姫路キャスパホール(兵庫県)
  • 年月日: 2010-11-15
• [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリコーンゴムのアブレーション加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 岡田龍雄, 他6名
  • 学会等名: 2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学 文京キャンパス, 長崎
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリコーンゴムのアブレーション加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 鳥居周一, 他7名
  • 学会等名: 2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学文京キャンパス
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] Micromachining of transparent materialswith Fresnel diffraction of infrared radiation (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, T. Okada, 他6名
  • 学会等名: 11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Stuttgart, Germany
  • 年月日: 2010-06-07
• [学会発表] Micromachining of transparent materialswith Fresnel diffraction of infrared radiation" (2010)
  • 著者名/発表者名: Okazakif, 他7名
  • 学会等名: 11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Stuttgart(Germany)
  • 年月日: 2010-06-07
• [学会発表] レーザープラズマ軟x線によるsio2, PMMA, PDMsのマイクロ・ナノ加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 他10名
  • 学会等名: ナノ学会第8回大会
  • 発表場所: 分子科学研究所(岡崎市)
  • 年月日: 2010-05-14
• [備考]
  • URL: http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~makimura/
• [備考] Makimura Laboratory
  • URL: http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~makimura/