| 研究課題/領域番号 |
22360057
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
生産工学・加工学
|
|---|
| 研究機関 | 宇都宮大学 |
|---|
研究代表者 |
大谷 幸利 宇都宮大学, オプティクス教育研究センター, 教授 (10233165)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
|
| 配分額 *注記 |
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2012年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2011年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2010年度: 10,530千円 (直接経費: 8,100千円、間接経費: 2,430千円)
|
|---|
| キーワード | 超精密計測 / ナノ形状 / ミュラー行例 / 散乱光解析 / 偏光解消 / ミュラー行列 / ストークス・パラメータ / ナノ計測 / 偏光計 / 近接場顕微鏡 / デポラリゼイション / ナノトポグラメトリー / 2重回転偏光計 / ナノ形状計測 |
|---|
| 研究概要 |
光学的にナノ形状の検出を可能とするために,光ファイバー・プローブ型によるデポラリゼイション(偏光解消)顕微鏡を提案した.また,ストークス・パラメータの検出には2重回転法を用い,一般解から1対3の回転比が最適であることを見いだした.開発したデポラリゼイション顕微鏡によって,形状によって生じる反射光や散乱光の偏光情報から高精度なナノ形状計測を可能した.
|
