| 配分額 *注記 |
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2012年度: 7,930千円 (直接経費: 6,100千円、間接経費: 1,830千円)
2011年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
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| 研究概要 |
本研究では,進行波を利用した新しい軸受原理によって高性能軸受を開発し,さらに超精密送り装置としての性能を評価した.まず,有限要素法解析により適切な駆動条件と装置寸法を決定し, 理論性能を求めた. 次に, 直接軸受荷重を支える方向に多数の圧電板を配置する高剛性・高精度軸受を提案し,進行波発生部をモジュール化することで安定した性能の実現を目指した.その結果,浮上量4 μm時において68.8 Nの軸受荷重と27.4N/μmの剛性が得られることを実証した.その他,軸受媒体として液体を用いる進行波軸受も新たに提案し,剛性・耐荷重性能が大幅に向上すること等を解析的に明らかした.
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