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強誘電体一次元ナノ構造の作製と機能創製

研究課題

研究課題/領域番号 22360130
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

清水 勝  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30154305)

連携研究者 藤澤 浩訓  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (30285340)
中嶋 誠二   (80552702)
本田 耕一郎  株式会社富士通研究所/東北大学, 電気通信研究所, 主管研究員/客員教授 (60399730)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
13,390千円 (直接経費: 10,300千円、間接経費: 3,090千円)
2012年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2011年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
キーワード電気 / 電子材料 / 強誘電体 / ナノロッド / ナノワイヤ / ZnO / PbTiO3 / PZT / 選択成長 / 圧電振動発電デバイス / 一次元ナノ構造 / MOCVD法 / ZnOナノロッド / PbTiO_3 / Pb(Zr,Ti)O_3 / 一次元構造 / Pb(Zr, Ti)O_3 / ナノチューブ
研究概要

強誘電体PbTiO_3/ZnO及びPZT/ZnOコアシェルナノロッドやナノワイヤをMOCVD法により作製した。二段階成長法によりコアZnOの直径や面密度を制御し、シェル厚みの異なるPZT/ZnO構造の作製に成功した。パターンPt上にのみPZT/ZnOナノロッドを選択成長させることに成功した。ナノワイヤ圧電振動発電素子を作製した。PbTiO_3ナノ島の分極反転電荷量を測定する技術を開発した。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (55件)

すべて 2013 2012 2011 2010

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (47件)

  • [雑誌論文] Two-step Growth of ZnO Nanorods by Using MOCVD and Control of Their Diameters and Surface Densities2013

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, C.Kobayashi, S.Nakashima and M. Shimizu
    • 雑誌名

      J. Korean Phys. Soc.

      巻: Vol.62 ページ: 1164-1168

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Size Dependence of Ferroelectric Polarization in Nanoislands2012

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, K.Yamada, M.Igawa, S.Naka- shima and M.Shimizu
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective growth of ZnO nanorods and their appli- cations to ferroelectric nanorods2012

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, Y.Imi, S.Nakashima, M.Shi- mizu, Y.Kotaka and K.Honda
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys

      巻: 112 号: 3

    • DOI

      10.1063/1.4745042

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Switching Current Measurements of Self-Assembled Ferrolelectric PbTiO_3 Nanoislands Using Scanning Probe Micros- copy2012

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, K.Yamada, S.Nakashima and M.Shimizu
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 51

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Switching Current Measurements of Self-Assembled Ferroelectric PbTiO_3 Nanoislands Using Scanning Probe Microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Hironori Fujisawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.51

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystal- line orientation of PbTiO_3 Nanorods Grown by MOCVD Using ZnO Nanorods as a Tem- plate2011

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, M.Shimizu, R.Kuri, S.Na- kashima, Y.Kotaka and K.Honda
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

      巻: 1297

    • DOI

      10.1557/opl.2011.456

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystalline Orientation of PbTiO_3 Nanorods Grown by MOCVD Using ZnO Nanorods as a Template2011

    • 著者名/発表者名
      Hironori Fujisawa
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings

      巻: 1292

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] PbTiO_3 Thin Films Grown on Vicinal SrTiO_3(001) Substarte2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Yane
    • 雑誌名

      Journal Korean Physical Society

      巻: (未定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Fabrication of PZT/ZnO Core -Shell Nanowires and Their Applications to Ferrlelectric Nanogenerators2012

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      2012 Mater- ials Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, USA
    • 年月日
      2012-11-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 二段階MOCVD法によるZnOナノロッドの作製と強誘電体ナノロッドへの応用(II)2012

    • 著者名/発表者名
      小林千晃
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2012-09-13
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of PZT/ZnO core-shell nanorods with different PZT thicknesses by MOCVD2012

    • 著者名/発表者名
      C.Kobayashi
    • 学会等名
      The 9th Korea-Japan Conference on Ferrolelectrics
    • 発表場所
      Univ. of Ulsan, Korea
    • 年月日
      2012-08-09
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and Ferroelectr- ic properties of nanostructured Pb(Zr,Ti) O_3, Int. Symp2012

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      Int. Symp. On Integrated Functional- ities 2102
    • 発表場所
      Hong Kong Poly- tech. Univ., China
    • 年月日
      2012-06-19
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 原子間力顕微鏡による単一PbTiO_3ナノ島の分極測定2012

    • 著者名/発表者名
      藤澤浩訓
    • 学会等名
      第29回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
    • 年月日
      2012-05-24
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and Ferroelectr- ic Properties of Low-dimensional PbZr_xTi_1-xO_32012

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      2012 Mater. Res. Soc. Spring Meeting
    • 発表場所
      Moscone Convention Center, USA
    • 年月日
      2012-04-12
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 二段階MOCVD法によるZnOナノロッドの作製と強誘電体ナノロッドへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      小林千晃
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 二段階MOCVDによるZnOナノロッドの作製と強誘電体ナノロッドへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      小林千晃
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] AFMを用いたPbTiO_3ナノ島の分極量の評価2012

    • 著者名/発表者名
      井川将志
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 原子間力顕微鏡による単一PbTiO3ナノ島の分極測定2012

    • 著者名/発表者名
      藤澤 浩訓
    • 学会等名
      第29回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都 (京都市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of PZT/ZnO core-shell nanorods with different PZT thicknesses by MOCVD2012

    • 著者名/発表者名
      Chiaki Kobayashi
    • 学会等名
      The 9th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      University of Ulsan (Ulsan, Korea)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of switching charge densitry of PbTiO3 nanoislands by atomic force microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Masashi Igawa
    • 学会等名
      The 9th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      University of Ulsan (Ulsan, Korea)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 二段階MOCVDによるZnOナノロッドの作製と強誘電体ナノロッドへの応用(II)2012

    • 著者名/発表者名
      小林 千晃
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学(松山市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] AFMを用いたPbTiO3ナノ島の分極量の評価(II)2012

    • 著者名/発表者名
      井川 将志
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学(松山市)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of PZT/ZnO Core-Shell Nanowires by Metalorganic Chemical Vapor Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Yuta Iwamoto
    • 学会等名
      Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology & Second International Symposium on Himeji Initiative in Computational Medical & Health Technology
    • 発表場所
      Egret Himeji (Himeji)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of PZT/ZnO Core-Shell Nanowires and Their Applications to Piezoelectric Nanogenerators2012

    • 著者名/発表者名
      Masaru Shimizu
    • 学会等名
      2012 Materials Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center (Boston, USA)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Switching Charge Density of Ferroelectric PbTiO_3 Nanoislands2011

    • 著者名/発表者名
      Hironori Fujisawa
    • 学会等名
      Materials Research Society 2011 Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston (U.S.A.)
    • 年月日
      2011-11-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Selective Growth of ZnO Nanorods for PZT Nanorods Device Appli- cations2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      Materials Research Society 2011 Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Conven- tion Center, USA
    • 年月日
      2011-11-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Selective Growth of ZnO Nanorods for PZT Nanorods Device Applications2011

    • 著者名/発表者名
      Masaru Shimizu
    • 学会等名
      Materials Research Society 2011 Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston (U.S.A.)
    • 年月日
      2011-11-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ZnOナノロッドの選択成長と強誘電体ナノロッドへの応用2011

    • 著者名/発表者名
      伊美泰徳
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] エピタキシャルPbTiO_3薄膜のリーク電流2011

    • 著者名/発表者名
      高田祐介
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] AFMによるPbTiO_3ナノ島の分極反転電流の測定(III)2011

    • 著者名/発表者名
      山田耕生
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ZnOナノロッドの選択成長と強誘電体ナノロッドへの応用2011

    • 著者名/発表者名
      伊美泰徳
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and Piezo- and Ferroelectric Properties of Pb(Zr,Ti)O_3 Nanorods and Nanotubes by MOCVD2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      The 20th Int. Symp. on Applications of Ferroelectr- ics
    • 発表場所
      The Westin Bayshore, Canada
    • 年月日
      2011-07-25
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and Piezo- and Ferroelectric Properties of Pb(Zr,Ti)O_3 Nanorods and Nanotubes by MOCVD2011

    • 著者名/発表者名
      Masaru Shimizu
    • 学会等名
      The 20th International Symposium on Applications of Ferroelectrics
    • 発表場所
      Vancouver (Canada)
    • 年月日
      2011-07-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Preparation and Ferroelectric Properties of One-dimensional Pb(Zr,Ti)O_3 Nanorods and Nanotubes by MOCVD2011

    • 著者名/発表者名
      Masaru Shimizu
    • 学会等名
      9th International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology
    • 発表場所
      兵庫県立大学(兵庫県)
    • 年月日
      2011-06-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 圧縮歪みを有するエピタキシャルPbTiO_3ナノ島の作製2011

    • 著者名/発表者名
      畠江康文、清水勝, 他
    • 学会等名
      平成23年(2011)春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      講演予稿集DVD
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] AFMによるPbTiO_3ナノ島の分極反転電流の測定(II)2011

    • 著者名/発表者名
      山田耕生、清水勝, 他
    • 学会等名
      平成23年(2011)春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      講演弄稿集DVD
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるPbTiO_3ナノチューブの作製2011

    • 著者名/発表者名
      本田耕一郎、清水勝, 他
    • 学会等名
      第25回JFCAテクノフェスタ
    • 発表場所
      メルパルク東京(東京都)
    • 年月日
      2011-01-23
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 走査型プローブ顕微鏡によるPbTiO_3ナノアイランドの分極反転電流測定2010

    • 著者名/発表者名
      藤沢浩訓、清水勝, 他
    • 学会等名
      第20回日本MRS学術シンポジウム
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2010-12-20
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Switching Current Measurements of Ferroelectric PbTiO_3 Nanoislands by Scanning Probe Microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      Mater.Res.Soc.2010 Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center(米国)
    • 年月日
      2010-12-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Preparation and Piezo- and Ferroelectric Properties of Pb(Zr,Ti)O_3 One-dimensional Nanorods and Nanotubes by MOCVD2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      Mater. Res. Soc. 2010 Fall Meet
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, USA
    • 年月日
      2010-12-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Preparation and Piezo-and Ferroelectric Properties Pb(Zr, Ti)O_3 One-dimensional Nanorods and Nanotubes by MOCVD2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      Mater.Res.Soc.2010 Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center(米国)
    • 年月日
      2010-12-01
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Thin Film Ferroelectrics for FRAMs2010

    • 著者名/発表者名
      K.Honda, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      Mater.Res.Soc.2010 Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center(米国)
    • 年月日
      2010-12-01
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] FRAMキャパシタ用強誘電体薄膜の評価2010

    • 著者名/発表者名
      本田耕一郎、清水勝, 他
    • 学会等名
      第30回LSIテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪府)
    • 年月日
      2010-11-12
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Switching current measurements of ferroelectric PbTiO_3 nanoislands using scanning probe microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      The 17th Workshop on Oxide Electronics
    • 発表場所
      淡路夢舞台(兵庫県)
    • 年月日
      2010-09-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 走査型非線形誘電率顕微鏡法によるPbTiO_3極薄膜の観察2010

    • 著者名/発表者名
      山野宏次郎、清水勝, 他
    • 学会等名
      平成22年(2010)秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2010-09-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] AFMによるPbTiO_3ナノ島の分極反転電流の測定2010

    • 著者名/発表者名
      山田耕生、清水勝, 他
    • 学会等名
      平成22年(2010)秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2010-09-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] PbTiO_3 thin films grown on vicinal SrTiO_3(001)substrate2010

    • 著者名/発表者名
      H.Yane, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      The 8th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      イーグレ姫路(兵庫県)
    • 年月日
      2010-08-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of PZT/ZnO nanorods by MOCVD2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Imi, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      The 8th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      イーグレ姫路(兵庫県)
    • 年月日
      2010-08-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Switching current measurements of PbTiO_3 thin films and nanoislands by atomic force microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      K.Yamada, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      The 8th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      イーグレ姫路(兵庫県)
    • 年月日
      2010-08-05
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Ferroelectric Gate Transistors Using ZnO Nanorod as a Channel2010

    • 著者名/発表者名
      H.Fujisawa, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      the 7th Asian Meeting on Ferroelectricity and the 7th Asian Meeting on ElectroCeramics
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel(韓国)
    • 年月日
      2010-06-30
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Fundamental Properties of Low-dimensional Nanoferroelectrics, Rus- sia/CIS/Baltic/Japan Symp2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shimizu
    • 学会等名
      on Ferro- electricity
    • 発表場所
      Tokyo Inst. Tech
    • 年月日
      2010-06-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Fundamental Properties of Low Dimensional Nanoferoelectrics2010

    • 著者名/発表者名
      Masaru Shimizu
    • 学会等名
      Russia/CIS/Baltic/Japan Symposium on Ferroelectrcity
    • 発表場所
      すずかけホール、東工大(横浜)(招待講演)
    • 年月日
      2010-06-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Thin Film Ferroelectrics for FRAMs2010

    • 著者名/発表者名
      K.Honda, M.Shimizu, et al.
    • 学会等名
      International Symposium on Integrated Functiona lities
    • 発表場所
      San Juan(プエルトリコ)
    • 年月日
      2010-06-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ZnOナノロッドをチャネルに用いた強誘電体ゲートトランジスタの作製2010

    • 著者名/発表者名
      藤沢浩訓、清水勝, 他
    • 学会等名
      第27回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都(京都府)
    • 年月日
      2010-05-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Thin Film Ferrolelectrics for FRAMs2010

    • 著者名/発表者名
      K.Honda
    • 学会等名
      Int. Symp. on Integrated Functionalities 2010
    • 発表場所
      San Jan, Perto Rico
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書

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公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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