研究課題
基盤研究(B)
本研究で提案する薄膜磁界センサは液体ヘリウム等による冷却を必要とせず、取り扱いが容易であり、SQUIDに匹敵する高い磁界検出分解能を有する。ここでは従来SQUIDと磁気シールドルームが不可欠であった生体磁気計測を室温動作の薄膜磁界センサにより磁気シールド無しで実現した。SrTiO等の強誘電体薄膜、磁性薄膜、導体薄膜を微細加工技術により作製し、波長短縮効果によりセンサの高感度化をはかり、100 degree/Oe以上の感度とgain>-40 dB以上を両立することを示した。また健常者の心臓近傍にセンサ素子を配置し、磁気シールドルーム外において多点計測を実施し、正しい分布が得られることを示した。
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