| 研究概要 |
熱酸化SiO2基板中に低速イオンビームの注入により生成したAgナノ粒子において,極めて規則的な配列を見出すことができた。光電子分光の結果,イオン注入により生成されたAgナノ粒子は,酸化や硫化に対して安定であることが分かった。一方,基板上に生成したAuおよびAgナノ粒子は,実験室大気中での1ヶ月間の放置の結果,主に炭素,塩素,イオウの吸着によって,その光吸収スペクトルが著しく変化することを見出し,これらの不純物は,低速イオンビーム照射およびアルゴンプラズマ処理により,脱着することが分かった。
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