気圧高密度磁気中性線環状放電プロセスプラズマのモデリングと動的制御特性解析

• 研究課題/領域番号: 22540500
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 北海道大学
• 研究代表者: 菅原 広剛 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (90241356)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円); 2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2010年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
• キーワード: 磁化プラズマ / 計算機解析 / 分界線 / 電子輸送 / 化学活性種 / 磁界制御 / 大面積均一処理 / ＮＬＤプラズマ / 誘導結合型プラズマ / プラズマプロセス / ドライエッチング / モンテカルロシミュレーション / NLDプラズマ

研究概要

半導体集積回路微細加工用の磁界下環状放電プラズマの計算機解析を行った。環状放電部から伸びる分界線(磁力線の流れが変わる境界)沿いに高エネルギー電子が輸送され、ガスを分解して化学活性種を生成することを解明した。半導体基板上では分界線の到達点に多く化学活性種が入射することを再現し、過去の実験結果を説明した。磁界を変化させ分界線を動かすことで基板上の広い面積を均一に表面処理する技法を提案した。

研究成果

• [雑誌論文] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara
  • 雑誌名: J. Phys. Soc.Japan 巻: Vol.82,No.6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara
  • 雑誌名: Japan. J. Appl. Phys 巻: Vol.52,No.5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of Electron Conduction in a Gas under a Quadrupole Magnetic Field and Radio-Frequency Electric Fields (2013)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 雑誌名: Japan. J. Appl. Phys. 巻: 52 号: 5R ページ: 056101-056101
  • DOI: 10.7567/jjap.52.056101
  • 査読あり
• [雑誌論文] Scattering-Based Stochastic Process Attracting Electrons Inward under Antiparallel Gradient Magnetic Fields (2013)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 雑誌名: J. Phys. Soc. Japan. 巻: 82 号: 6 ページ: 064501-064501
  • DOI: 10.7566/jpsj.82.064501
  • 査読あり
• [雑誌論文] NLDプラズマ中のイオン生成維持および基板へのイオン入射量均一化のための磁界制御 (2012)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • 雑誌名: 電気学会論文誌(特集「プロセスプラズマの発生と応用」) 巻: Vol.132-A,No.4 ページ: 278-283
  • NAID: 10030524201
  • 査読あり
• [雑誌論文] モンテカルロシミュレーションによるNLDプラズマの解析、講座 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菅原広剛
  • 雑誌名: プラズマ・核融合学会誌 巻: Vol.88,No.1 ページ: 43-44
• [雑誌論文] NLDプラズマ中のイオン生成維持および基板へのイオン入射量均一化のための磁界制御 (2012)
  • 著者名/発表者名: 吉田 拓平
  • 雑誌名: 電気学会論文誌． Ａ 巻: 132 号: 4 ページ: 278-283
  • DOI: 10.1541/ieejfms.132.278
  • NAID: 10030524201
  • ISSN: 0385-4205, 1347-5533
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structure and dynamics of a magnetic neutral loop discharge plasma described using electron motion in quadrupole magnetic field (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Osaga, H. Sugawara and Y. Sakurai
  • 雑誌名: Plasma Sources Sci.Technol 巻: Vol.20,No.6
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48133
  • 査読あり
• [雑誌論文] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara, T. Osaga and H. Yamamoto
  • 雑誌名: Plasma Sources Sci. Technol 巻: Vol.20,No.5
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/50049
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electron Distribution in a Quadrupole Magnetic Field to Drive Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Osaga, Y. Sakurai and H. Sugawara
  • 雑誌名: IEEETrans. Plasma Sci 巻: Vol.39,No.11 ページ: 2546-2547
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48517
  • 査読あり
• [雑誌論文] Control of Magnetic Field in Neutral Loop Discharge Plasma for Uniform Distribution of Ion Flux on Substrate (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Sakurai, T. Osaga and H. Sugawara
  • 雑誌名: IEEE Trans. Plasma Sci 巻: Vol.39,No.11 ページ: 2550-2551
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516
  • 査読あり
• [雑誌論文] Control of Magnetic Field in Neutral Loop Discharge Plasma for Uniform Distribution of Ion Flux on Substrate (2011)
  • 著者名/発表者名: Yohei Sakurai
  • 雑誌名: IEEE Transactions on Plasma Science 巻: 39 号: 11 ページ: 2550-2551
  • DOI: 10.1109/tps.2011.2128895
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electron Distribution in a Quadrupole Magnetic Field to Drive Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma (2011)
  • 著者名/発表者名: Tsuyoshi Osaga
  • 雑誌名: IEEE Transactions on Plasma Science 巻: 39 号: 11 ページ: 2546-2547
  • DOI: 10.1109/tps.2011.2151882
  • 査読あり
• [雑誌論文] Rectification effect of gradient antiparallel magnetic fields on electron conduction in a gas under a radio-frequency electric field (2011)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 雑誌名: Plasma Sources Science and Technology 巻: 20 号: 5 ページ: 055002-055002
  • DOI: 10.1088/0963-0252/20/5/055002
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structure and dynamics of a magnetic neutral loop discharge plasma described using electron motion in quadrupole magnetic field (2011)
  • 著者名/発表者名: Tsuyoshi Osaga
  • 雑誌名: Plasma Sources Science and Technology 巻: 20 号: 6 ページ: 065003-065003
  • DOI: 10.1088/0963-0252/20/6/065003
  • 査読あり
• [雑誌論文] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara, T. Osaga, H. Tsuboi, K. Kuwahara and S. Ogata
  • 雑誌名: Japan. J. Appl. Phys 巻: Vol.49,No.8
  • URL: http://eprints.lib.hokudai.ac.jp/dspace/handle/2115/48516
  • 査読あり
• [雑誌論文] Numerical simulation of electron transport in electric and magnetic fields for analysis of electron temperature and number density profiles measured in an argon magnetic neutral loop discharge plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 雑誌名: Conference Proceedings of 7th International Conference on Reactive Plasmas (ISBN 978-4-86348-101-5) 巻: 1
  • 査読あり
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXV)-ラジカル生成位置分布に及ぼす空間電荷電界の効果 (2013)
  • 著者名/発表者名: 浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成25年電気学会全国大会
  • 発表場所: 名古屋大学東山キャンパス
  • 年月日: 2013-03-20
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXIV)-エッチャントラジカル基板入射量の気圧依存性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス
  • 年月日: 2012-10-20
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXIII)-基板バイアス印加時の電位分布への影響 (2012)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス
  • 年月日: 2012-10-20
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXII)-4極磁界・交流電界下の電子伝導 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菅原広剛(発表者)
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 秋田大学手形キャンパス
  • 年月日: 2012-09-21
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXI)-エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 浅見勇介(発表者)、吉田拓平、菅原広剛
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 秋田大学手形キャンパス
  • 年月日: 2012-09-21
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XX)-イオン輸送における空間電荷電界の効果 (2012)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成24年電気学会全国大会
  • 発表場所: 広島工業大学五日市キャンパス
  • 年月日: 2012-03-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XX)-イオン輸送における空間電荷電界の効果- (2012)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平
  • 学会等名: 平成24年電気学会全国大会
  • 発表場所: 広島工業大学(広島市)
  • 年月日: 2012-03-23
• [学会発表] CF4NLDプラズマ構造の気圧依存性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 浅見勇介(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 第47回応用物理学会北海道支部/第8回日本光学会北海道地区合同学術講演会B-9
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス
  • 年月日: 2012-01-06
• [学会発表] CF_4 NLDプラズマ構造の気圧依存性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 浅見勇介
  • 学会等名: 第47回応用物理学会北海道支部/第8回日本光学会北海道地区合同学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学(札幌市)
  • 年月日: 2012-01-06
• [学会発表] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara(発表者)
  • 学会等名: XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
  • 発表場所: Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo, Portugal
• [学会発表] Stochastic scattering process to induce inward electron flow in electron conduction path between antiparallel gradient magnetic fields (2012)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 学会等名: XXI Europhysics Conf. on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
  • 発表場所: Castelo de Santiago da Barra, Viana do Castelo (ポルトガル)
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XIX)-4極磁界・RF電界下の分界線に沿った電子分布 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: はこだて未来大学
  • 年月日: 2011-10-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XVIII)-プラズマ維持への空間電位の寄与 (2011)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: はこだて未来大学
  • 年月日: 2011-10-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XVII)-分界線制御時のイオン生成解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: はこだて未来大学
  • 年月日: 2011-10-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XVII)-分界線制御時のイオン生成解析- (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平
  • 学会等名: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: はこだて未来大学(函館市)
  • 年月日: 2011-10-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XVIII)-プラズマ維持への空間電位の寄与- (2011)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平
  • 学会等名: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: はこだて未来大学(函館市)
  • 年月日: 2011-10-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XIX)-4極磁界・RF電界下の分界線に沿った電子分布- (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本寛容
  • 学会等名: 平成23年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: はこだて未来大学(函館市)
  • 年月日: 2011-10-23
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XIV)-2極/4極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XVI)-プラズマ維持機構のモデリング (2011)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平(発表者)、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XV)-分界線制御時のイオン生成と基板射突量均一化の評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XV)-分界線制御時のイオン生成と基板射突量均一化の評価- (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学(東京都)
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XVI)-プラズマ維持機構のモデリング- (2011)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学(東京都)
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XIV)-2極/4極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動- (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本寛容
  • 学会等名: 平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学(東京都)
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] Monte Carlo simulation of electron transport under quadrupole magnetic field and radio-frequency electric field (2011)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 学会等名: 30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
  • 発表場所: Queen's University Belfast, Belfast,北アイルランド,連合王国
  • 年月日: 2011-09-01
• [学会発表] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields (2011)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 学会等名: XVI International Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
  • 発表場所: National University of Ireland Maynooth, Maynooth,アイルランド(招待講演)
  • 年月日: 2011-07-24
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XIII)-空間電荷ポテンシャルの影響 (2011)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、吉田拓平、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年電気学会全国大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2011-03-18
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XII)-分界線制御時のカップリング維持 (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成23年電気学会全国大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2011-03-18
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菅原広剛(発表者)、山本寛容、大佐賀毅
  • 学会等名: 平成23年電気学会全国大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2011-03-18
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XI)-RF電界・反平行傾斜磁界下の電子束整流性- (2011)
  • 著者名/発表者名: 菅原広剛
  • 学会等名: 平成23年電気学会全国大会
  • 発表場所: 震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XII)-分界線制御時のカップリング維持- (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平
  • 学会等名: 平成23年電気学会全国大会
  • 発表場所: 震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XIII)-空間電荷ポテンシャルの影響- (2011)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平
  • 学会等名: 平成23年電気学会全国大会
  • 発表場所: 震災により大阪大学における口頭発表・質疑(3/18)中止、DVD-ROM発行による公知
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] NLDプラズマによる大面積均一材料プロセスのための磁界制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平(発表者)、櫻井洋平、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-7
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2011-01-07
• [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる二極反平行傾斜磁界・交流電界下低気圧CF中の電子挙動の解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本寛容(発表者)、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会C-6
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2011-01-07
• [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる二極反平行傾斜磁界・交流電界下低気圧CF_4中の電子挙動の解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本寛容
  • 学会等名: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2011-01-07
• [学会発表] NLDプラズマによる大面積均-材料プロセスのための磁界制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田拓平
  • 学会等名: 第46回応用物理学会北海道支部第7回日本光学会北海道地区合同学術講演会
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2011-01-07
• [学会発表] Monte Carlo simulation of electron transport underquadrupole magnetic field and radio-frequency electric field (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara(発表者)
  • 学会等名: 30th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases
  • 発表場所: Queen's University Belfast, Belfast, Northern Ireland, UK
• [学会発表] Electron conduction under the rectification effect of antiparallel magnetic fields, XVI Int. Workshop on Low Energy Positron and Positronium Physics & XVII Int. Symp. (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara(発表者)
  • 学会等名: Electron-Molecule Collisions and Swarms
  • 発表場所: National University of Ireland Maynooth,Maynooth, Ireland
• [学会発表] NLDプラズマの解析(X)-気相と壁面における電子衝突の磁界強度依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
  • 学会等名: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海学園大学
  • 年月日: 2010-10-24
• [学会発表] NLDプラズマの解析(IX)-イオン生成の磁界強度依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海学園大学
  • 年月日: 2010-10-24
• [学会発表] NLDプラズマの解析(IX)-イオン生成の磁界強度依存性- (2010)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平
  • 学会等名: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海学園大学
  • 年月日: 2010-10-24
• [学会発表] NLDプラズマの解析(X)-気相と壁面における電子衝突の磁界強度依存性- (2010)
  • 著者名/発表者名: 大佐賀毅
  • 学会等名: 平成22年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海学園大学
  • 年月日: 2010-10-24
• [学会発表] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Hirotake Sugawara
  • 学会等名: 63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
  • 発表場所: Maison de la Chimie, Paris, France
  • 年月日: 2010-10-05
• [学会発表] NLDプラズマの解析(VIII)-イオン生成・輸送の磁界依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平(発表者)、大佐賀毅、菅原広剛、村山明宏
  • 学会等名: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 琉球大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送 (2010)
  • 著者名/発表者名: 菅原広剛(発表者)、大佐賀毅、櫻井洋平、村山明宏
  • 学会等名: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 琉球大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] NLDプラズマの解析(VI)-プラズマ構造と電子電流分布 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大佐賀毅(発表者)、菅原広剛、櫻井洋平、村山明宏
  • 学会等名: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 琉球大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] NLDプラズマの解析(VI)-プラズマ構造と電子電流分布- (2010)
  • 著者名/発表者名: 大佐賀毅
  • 学会等名: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 琉球大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] NLDプラズマの解析(VII)-セパラトリクスに沿った電子輸送- (2010)
  • 著者名/発表者名: 菅原広剛
  • 学会等名: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 琉球大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] NLDプラズマの解析(VIII)-イオン生成・輸送の磁界依存性- (2010)
  • 著者名/発表者名: 櫻井洋平
  • 学会等名: 平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 琉球大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] Concept of Dynamic Control of Magnetic Field for High-Throughput and Wide-Area Etching by Neutral Loop Discharge Plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Sugawara(発表者)
  • 学会等名: 63rd Ann. Gaseous Electronics Conf., 7th Int. Conf. Reactive Plasmas, and 28th Symposium on Plasma Processing
  • 発表場所: Maison de la Chimie, Paris, France
• [学会発表] NLDプラズマの解析（XXI）－エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性－
  • 著者名/発表者名: 浅見 勇介
  • 学会等名: 平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 秋田大学手形キャンパス（秋田市）
• [学会発表] NLDプラズマの解析（XXII）－４極磁界・交流電界下の電子伝導－
  • 著者名/発表者名: 菅原 広剛
  • 学会等名: 平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会
  • 発表場所: 秋田大学手形キャンパス（秋田市）
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXIII)－基板バイアス印加時の電位分布への影響－
  • 著者名/発表者名: 吉田 拓平
  • 学会等名: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（札幌市）
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXIV)－エッチャントラジカル基板入射量の気圧依存性－
  • 著者名/発表者名: 浅見 勇介
  • 学会等名: 平成24年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（札幌市）
• [学会発表] NLDプラズマの解析(XXV)－ラジカル生成位置分布に及ぼす空間電荷電界の効果－
  • 著者名/発表者名: 浅見 勇介
  • 学会等名: 平成25年電気学会全国大会
  • 発表場所: 名古屋大学（名古屋市）