研究課題
基盤研究(C)
二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry: SIMS)は、表面分析における有力な手法の一つである。本研究では、水素や炭化水素等を含有する多価の帯電液滴ビームを生成する装置を製作し、プラスの電荷を有する正極性の帯電液滴やマイナスの電荷を有する負極性の帯電液滴のサイズや価数分布を詳細に調べた。さらに、有機分子に対する SIMS 分析を実施し、生成された二次イオンを測定した。
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Surface and Interface Analysis
巻: 45巻 号: 1 ページ: 517-521
10.1002/sia.5071