| 研究課題/領域番号 |
22560014
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 龍谷大学 |
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研究代表者 |
山本 伸一 龍谷大学, 理工学部, 教授 (70399260)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2012年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | MgO薄膜 / APG / Co 微粒子 / MOD / 透過率 / 光電子放出 / Co微粒子 / MgO / 微粒子 / 有機金属塗布熱分解法 / XRD / EBSD / 有機金属塗布熱分解法(MOD法) / 金属酸化物 / 高2次電子放出薄膜 / アークプラズマガン / APG: Arc Plasma Gun / Fe微粒子 / 保護膜 / プラズマディスプレイパネル / 放電開始電圧 / 2次電子放出材料 / MgO保護膜 / Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM) / Thermal Programmed Disorption (TPD) |
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| 研究概要 |
アークプラズマガン(APG)を用いてCo微粒子を基板上に島状に成膜した。その後、大気中での成膜が可能な有機金属塗布熱分解(MOD)法を用いてMgO薄膜を作製することで2層構造とした。その結果、APGの放電パルス数500pulsesにおいて作製したCo微粒子上MgO薄膜の結晶性が向上し、光電子放出量が3倍以上となった。また、基板表面にCo微粒子のみを500パルス成膜した試料の透過率が30%以下であったが、MgO薄膜を堆積後、熱処理900度にてCo微粒子をMgO薄膜内に拡散させることで、透過率が90%を超える高透明膜に変化することも確認した。
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