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表面拡散による形態変化を利用したシリコン表面における三次元微細構造形成

研究課題

研究課題/領域番号 22560023
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大阪大学

研究代表者

須藤 孝一  大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (90314426)

研究分担者 内藤 宗幸  甲南大学, 理工学部, 准教授 (10397721)
研究期間 (年度) 2010-04-01 – 2013-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード表面 / シリコン / 微細構造 / 表面拡散 / 高温アニール
研究概要

シリコン基板上に形成した高アスペクト比微細ホールパターンを非酸化雰囲気中で高温アニールすると自発的な形態変化が起こる。本研究では、この自発的形態変化を利用した3次元微細構造形成技術について研究した。様々な構造・寸法の微細ホールパターンについて形態変化過程を観察し、自発的形態変化を利用して形成することができる3次元構造を明らかにした。連続体モデルに基づいた高アスペクト比ホールの形態変化の数値シミュレーションを行い、シリコン基板上のホールパターンの形態変化が表面拡散によって引き起こされていることを明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2013 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2014 2013 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (9件)

  • [雑誌論文] Application of Silicon on Nothing Structure for Developing a Novel Capacitive Absolute Pressure Sensor2014

    • 著者名/発表者名
      X. Hao, S. Tanaka, A. Masuda, J. Nakamura, K. Sudoh, K. Maenaka, H. Takao, K. Higuchi
    • 雑誌名

      IEEE Sensors J.

      巻: 14 号: 3 ページ: 808-815

    • DOI

      10.1109/jsen.2013.2288681

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Focused Ion Beam Induced Surface Damage Effect on the Mechanical Properties of Silicon Nanowires2013

    • 著者名/発表者名
      T. Fujii, T. Namazu, K. Sudoh, S. Inoue
    • 雑誌名

      J. Eng. Mat. & Tech.

      巻: 135 号: 4

    • DOI

      10.1115/1.4024545

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nano-Scale Tensile Testing and Sample Preparation Techniques for Silicon Nanowires2013

    • 著者名/発表者名
      T. Fujii, K. Sudoh, S. Sakakihara, M. Naito, S. Inoue, T. Namazu
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 11R ページ: 110118-110118

    • DOI

      10.7567/jjap.52.110118

    • NAID

      210000143038

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Shape Evolution of High Aspect Ratio Holes on Si(001) during Hydrogen Annealing2013

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh, R. Hiruta, H. Kuribayashi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 114 号: 18

    • DOI

      10.1063/1.4829912

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of Silicon-on-Nothing Structures with Extremely Flat Surfaces2013

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh, J. Nakamura, M. Naito, K. Higuchi, K. Maenaka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 7R ページ: 075601-075601

    • DOI

      10.7567/jjap.52.075601

    • NAID

      210000142454

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成2013

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一、蛭田玲子、栗林均
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面拡散による形態変化を利用した超平坦シリコン・メンブレンの形成2013

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一、榊原昇一
    • 学会等名
      日本機械学会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2013-09-09
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Evolution of Hole Patterns by Surface Diffusion on Si(001)2011

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh, R. Hiruta, H. Kuribayashi
    • 学会等名
      2011 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts, USA
    • 年月日
      2011-11-29
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Evolution of Hole Patterns by Surface Diffusion on Si(001)2011

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh
    • 学会等名
      2011 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes convention center, USA
    • 年月日
      2011-11-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Aspect Ratio Dependence in Evolution of Hole Arrays by Surface Diffusion on Si(001)2010

    • 著者名/発表者名
      K. Sudoh, R. Hiruta, H. Kuribayashi, R. Shimizu
    • 学会等名
      2010 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts, USA
    • 年月日
      2010-11-29
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Aspect ratio dependence in evolution of hole arrays by surface diffusion on Si(001)2010

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一
    • 学会等名
      2010 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston (USA)
    • 年月日
      2010-11-29
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] シリコン基板上ホール配列の高温アニールによる形態変化の初期構造依存性2010

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎市)
    • 年月日
      2010-09-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 表面拡散による形態変化を利用した超平坦シリコン・メンブレンの形成

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一、榊原昇一
    • 学会等名
      日本機械学会
    • 発表場所
      岡山大学津島キャンパス
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成

    • 著者名/発表者名
      須藤孝一、蛭田玲子、栗林均
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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