研究課題/領域番号 |
22560027
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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研究機関 | 高知工業高等専門学校 |
研究代表者 |
岸本 誠一 高知工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (90177816)
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研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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キーワード | 酸化亜鉛 / 薄膜 / 光伝導度 / 紫外線 / 多結晶薄膜 / GZO膜 |
研究概要 |
無添加ZnO 膜とガリウム添加ZnO 膜に対してXRD 測定、Hall 測定によるキャリア濃度と移動度、光伝導度スペクトル、および光吸収スペクトルを測定し、光伝導度やその応答性に関与する要因と考えている結晶子の粒界の影響、膜表面の界面準位の影響を検討した。光伝導度は、結晶粒が大きく影響し、応答性においてこの結晶性の影響を受け、結晶性を改善することで向上することを示した。
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