ナノ構造化DLCコーティング膜の力学特性とそのMEMS応用

• 研究課題/領域番号: 22560089
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 芝浦工業大学
• 研究代表者: 相澤 龍彦 芝浦工業大学, デザイン工学部, 教授 (10134660)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2012年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2011年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2010年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
• キーワード: DLC / ナノカラム構造化 / 自己組織化 / カラム間グラファイト化 / 電子ビーム / 異常弾性挙動 / カラム間選択ドーピング / 接触角制御 / ＤＬＣ / DLCコーティング / 金属ドーピング / AFM / プラズマエッチング / マイクロパターン / ナノプリント / EB / アモルファスカーボン / ナノ構造化 / ラマン分光法 / イオン注入

研究概要

PVDと電子ビーム照射によりナノカラム構造化DLC膜を作成し、そのナノ構造と異常な力学特性を明らかにした。AFMによる詳細な解析により、ナノカラム特性を調査し、それが表面接触角変化に与える影響を見出した。

研究成果

• [雑誌論文] CHARACTERIZATION OF CU-DOPED NANOCOLUMNAR DLC COATING. (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoru Yukawa, Tatsuhiko Aizawa
  • 雑誌名: Proc. 7th SEATUC Conference ページ: 7-6
• [雑誌論文] Analysis of nano-columnar DLC thin Films by the Atomic Force Microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, Ryo Suenaga, Tatsuhiko Aizawa
  • 雑誌名: Proc. 7th SEATUC Conference ページ: 7-6
• [雑誌論文] Synthesis and characterization of doped and undoped nano-columnar DLC coating (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, Tatsuhiko Aizawa, Satoru Yukawa
  • 雑誌名: J. Tecknologi 巻: 62(1) ページ: 17-24
• [雑誌論文] CHARACTERIZATION OF CU-DOPED NANO-COLUMNAR DLC COATING (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoru Yukawa, Tatsuhiko Aizawa
  • 雑誌名: Proc. 7th SEATUC Conference 巻: 7-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] ANALYSIS OF NANO-COLUMNAR DLC THIN FILMS BY THE ATOMIC FORCE MICROSCOPY (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, Ryo Suenaga, Tatsuhiko Aizawa
  • 雑誌名: Proc. 7th SEATUC Conference 巻: 7-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synthesis and Characterization of Doped and Undoped Nano-Columnar DLC Coating (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, Tatsuhiko Aizawa, Satoru Yukawa
  • 雑誌名: Journal Tec\knologi 巻: 62-1 ページ: 17-24
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro-patterning onto DLC coating by plasma oxygen etching (2012)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa, E.E.Yunata, N.T.Redationo, T.Fukuda
  • 雑誌名: Proc.7^<th> International Conference on Micro-Manufacturing ページ: 360-366
  • 査読あり
• [雑誌論文] ナノカラムDLC膜の創成・評価およびその応用展開 (2011)
  • 著者名/発表者名: 相澤龍彦、Foo Jin Hoe, 湯川聖
  • 雑誌名: 芝浦工大研究報告理工系 巻: 55 ページ: 23-32
  • 査読あり
• [雑誌論文] 高密度プラズマ技術による炭素系素材のエッチング・アッシング (2011)
  • 著者名/発表者名: 相澤龍彦、杉田良雄
  • 雑誌名: 芝浦工大研究報告理工系 巻: 55 ページ: 13-22
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro-patterning onto diamond like carbon coating via RF-DC oxygen plasma etching (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa
  • 雑誌名: Proc.5^<th> SEATUC Symposium ページ: 425-428
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of parameters setting on nano-columnar DLC film formation (2011)
  • 著者名/発表者名: F.J, Hoe, T.Aizawa, T.Uematsu
  • 雑誌名: Proc.5^<th> SEATUC Symposium ページ: 433-436
  • 査読あり
• [雑誌論文] Tooling life design for dry metal forming via nano-laminated DLC coating (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa, H.Morita
  • 雑誌名: Proc.5^<th> SEATUC Symposium ページ: 5-8
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of micro-patterned optical elements by fine mold stamping (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa, T.Fukuda
  • 雑誌名: Proc.5^<th> SEATUC Symposium ページ: 429-432
  • 査読あり
• [雑誌論文] Imprinting of patterns onto polymers and oxide-glasses via fine micro-stamping (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa, K.Itoh, T.Inohara
  • 雑誌名: Proc.6^<th> International Conference on Micro Manufacturing ICOMM-2011 ページ: 77-82
  • 査読あり
• [学会発表] Synthesis and characterization of copper doped nano-columnar DLC coating (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Yukawa, T. Aizawa
  • 学会等名: 7th SEATUC Conference
  • 発表場所: Bandung
• [学会発表] Analysis of nano-columnar DLC thin films by the atomic force microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, R. Suenaga, T. Aizawa
  • 学会等名: 7th SEATUC Conference
  • 発表場所: Bandung
• [学会発表] CHARACTERIZATION OF CU-DOPED NANO-COLUMNAR DLC COATING (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Yukawa
  • 学会等名: 7th SEATUC Conference
  • 発表場所: Bandung
• [学会発表] ANALYSIS OF NANO-COLUMNAR DLC THIN FILMS BY THE ATOMIC FORCE MICROSCOPY (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe
  • 学会等名: 7th SEATUC Conference
  • 発表場所: Bandung
• [学会発表] Precise characterization of nanoOcolumnar DLC film by raman Spectroscopy and AFM (2012)
  • 著者名/発表者名: F.J.Hoe, T.Aizawa, T.Uematsu
  • 学会等名: Proc.6^<th> SEATUC Conference
  • 発表場所: Baang-Kok
  • 年月日: 2012-03-06
• [学会発表] Plasma diagnosis in etching and ashing of diamond like carbon coating (2012)
  • 著者名/発表者名: E.E.Yunata, T.Aizawa, N.T.Redationo
  • 学会等名: Proc.6^<th> SEATUC Conference
  • 発表場所: Baang-Kok
  • 年月日: 2012-03-06
• [学会発表] Plasma micro-patterning onto diamond like carbon coating (2012)
  • 著者名/発表者名: N.T.Redationo, T.Aizawa, E.E.Yunawa
  • 学会等名: Proc.6^<th> SEATUC Conference
  • 発表場所: Baang-Kok
  • 年月日: 2012-03-06
• [学会発表] Characterization of Cu doped nano-columnar DLC coating (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Yukawa, T. Aizawa
  • 学会等名: ICMCTF-2012
  • 発表場所: San Diego
• [学会発表] Exotic mechanical properties of Cu-doped nano-columnar DLC coating (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Yukawa, T.Aizawa
  • 学会等名: Proc.4^<th> Asian Workshop on Nano/Micro Forming Technology
  • 発表場所: Toyohashi
  • 年月日: 2011-10-27
• [学会発表] Plasma etching with metallic masking for micro-patterning onto DLC coated Mold-dies (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa, N.T.Redationo, E.E.Yunata
  • 学会等名: Proc.4^<th> Asian Workshop on Nano/Micro Forming Technology
  • 発表場所: Toyohashi
  • 年月日: 2011-10-27
• [学会発表] Imprinting of patterns onto polymers and oxide-glasses via fine micro-stamping (2011)
  • 著者名/発表者名: Tatsuhiko Aizawa
  • 学会等名: 6^<th> International Conference on Micro Manufacturing ICOMM-2011
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-03-08
• [学会発表] Tooling life design for dry metal forming via nano-laminated DLC coating (2011)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Morita
  • 学会等名: 5^<th> SEATUC Symposium
  • 発表場所: Hanoi
  • 年月日: 2011-02-25
• [学会発表] Micro-patterning onto diamond like carbon coating via RF-DC oxygen plasma etching (2011)
  • 著者名/発表者名: Tatsuhiko Aizawa
  • 学会等名: 5^<th> SEATUC Symposium
  • 発表場所: Hanoi
  • 年月日: 2011-02-24
• [学会発表] Fabrication of micro-patterned optical elements by fine mold stamping (2011)
  • 著者名/発表者名: Tatsuhiko Aizawa
  • 学会等名: 5^<th> SEATUC Symposium
  • 発表場所: Hanoi
  • 年月日: 2011-02-24
• [学会発表] Effect of parameters setting on nano-columnar DLC film formation (2011)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe
  • 学会等名: 5^<th> SEATUC Symposium
  • 発表場所: Hanoi
  • 年月日: 2011-02-24
• [学会発表] Tailored coating for high temperature molding of oxide glasses into optical elements (2010)
  • 著者名/発表者名: Tatsuhiko Aizawa
  • 学会等名: 第61回塑性加工連合講演会
  • 発表場所: 山形県米沢市
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] ナノ構造化DLCコーテッド工具によるマイクロドライプレス(第4報 種々のDLCコーテッド工具によるドライせん断プレス成形特性比較) (2010)
  • 著者名/発表者名: 相澤龍彦
  • 学会等名: 平成22年度塑性加工春季講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2010-05-28
• [図書] 「アジアの経済発展と産業技術」第10章 (2013)
  • 著者名/発表者名: 相澤龍彦
  • 出版者: ナカニシヤ出版
• [図書] Recent Trends in Fracture Mechanics (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Aizawa
  • 総ページ数: 350
  • 出版者: NOVA Publishers