配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2010年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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研究概要 |
近年,デジタルカメラ,ブルーレーザDVDのピックアップシステムにおいてマイクロガラスレンズが増大しており,超硬合金製マイクロ非球面金型によるガラス成形により量産されている.これらの金型は研削加工後に遊離砥粒を用いた研磨加工で仕上げる必要があり,さらに最近は傾斜角の厳しい形状が要求され,形状制度や表面粗さの向上も要求されている.これらを超精密に研磨するため,圧電素子を用いた超音波2軸振動マクロ研磨システムを開発し,マイクロ非球面金型の仕上げ加工実験を行い,0.7μmP-Vの形状精度と8nmRzの表面粗さが得られることが確認され,その有効性が明らかとなった.
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