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超音波2軸振動援用マイクロ研磨の研究

研究課題

研究課題/領域番号 22560125
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関中部大学

研究代表者

鈴木 浩文  中部大学, 工学部, 教授 (20282098)

研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2010年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
キーワード超音波研磨 / 砥粒加工 / マイクロ非球面金型 / 超音波2軸振動 / 表面粗さ / 形状精度 / 振動解析 / 圧電素子 / 超音波2軸振動 / 非球面金型 / ダイヤモンド砥粒 / 単一加工痕
研究概要

近年,デジタルカメラ,ブルーレーザDVDのピックアップシステムにおいてマイクロガラスレンズが増大しており,超硬合金製マイクロ非球面金型によるガラス成形により量産されている.これらの金型は研削加工後に遊離砥粒を用いた研磨加工で仕上げる必要があり,さらに最近は傾斜角の厳しい形状が要求され,形状制度や表面粗さの向上も要求されている.これらを超精密に研磨するため,圧電素子を用いた超音波2軸振動マクロ研磨システムを開発し,マイクロ非球面金型の仕上げ加工実験を行い,0.7μmP-Vの形状精度と8nmRzの表面粗さが得られることが確認され,その有効性が明らかとなった.

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (11件) 備考 (1件) 産業財産権 (5件)

  • [雑誌論文] Micro-aspheric mold polishing utilizing magnetostrictive vibration-assisted polishing machine2013

    • 著者名/発表者名
      J. Guo
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523 ページ: 768-773

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A low contact force polishing system for micro molds that utilizes 2-dimensional low frequency vibrations (2DLFV) with piezoelectric actuators (PZT) and a mechanical transformer mechanism2013

    • 著者名/発表者名
      S.K.Chee
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 7 ページ: 71-82

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of pressure control system for ultra-precision finishing2013

    • 著者名/発表者名
      J. Guo
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 37 ページ: 81-87

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 低周波振動援用による微細構造をもつ金型の研磨法の研究2012

    • 著者名/発表者名
      林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
    • 雑誌名

      型技術

      巻: 27,7 ページ: 118-119

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Preliminary Studies for Precision Polishing of Micro Structured Mold by Using Three-dimensional Low Frequency Vibration Utilizing Piezoelectric Actuator Incorporated with Mechanical Amplitude Magnified Mechanism2012

    • 著者名/発表者名
      S. K. Chee
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 565 ページ: 231-236

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.565.231

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 圧電素子を用いた振動研磨による微細形状の超精密精密研磨2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木浩文,岡田睦,徐世傑,矢野健,樋口俊郎
    • 雑誌名

      型技術

      巻: 26,7 ページ: 42-43

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] レーザプローブ走査方式の超精密測定の研究-青色レーザ利用による高精度化2011

    • 著者名/発表者名
      岡田睦,鈴木浩文,三浦勝弘,松岡伸夫
    • 雑誌名

      型技術

      巻: 26,7 ページ: 134-135

    • NAID

      130005030337

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Precision Polishing of Micro Mold by using Piezoelectric Actuator Incorporated with Mechanical Amplitude Magnified Mechanism2011

    • 著者名/発表者名
      S.K.Chee, H.Suzuki, M.Okada, Takeshi Yano, T.Higuchi, W.Lin
    • 雑誌名

      Advance in Abrasive Technology

      巻: 325 ページ: 470-475

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Polishing Experiments of Micro Aspheric Mold Using Vibration Assisted Polishing Machine2012

    • 著者名/発表者名
      郭江,鈴木浩文,森田晋也,山形豊,樋口俊郎
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Finishing of Micro Aspheric Molds by Vibration Assisted Polishing Using Magnetostrictive Material2011

    • 著者名/発表者名
      J.Guo, H.Suzuki, T.Higuchi
    • 学会等名
      Proceedings of 11th euspen international Conference
    • 発表場所
      Como, Italy
    • 年月日
      2011-05-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Development of Micro Polishing System by Using Magnetostriction Vibrator2011

    • 著者名/発表者名
      郭江, 鈴木浩文, ほか
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東洋大学(東京都)
    • 年月日
      2011-03-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Preliminary studies of an application of the piezoelectric actuator incorporated with mechanical transformer as a precision polishing actuator2011

    • 著者名/発表者名
      徐世傑, 鈴木浩文, ほか
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東洋大学(東京都)
    • 年月日
      2011-03-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Development of Micro Polishing System by Using Magnetostriction Vibrator2011

    • 著者名/発表者名
      J. GUO, H. Suzuki, K. Yoshida, T. Higuchi
    • 学会等名
      2011 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨による金型材料の加工特性2011

    • 著者名/発表者名
      小林直貴,久保田享,林偉民,呉勇波,藤本正和,徐世傑,矢野健,山形豊,樋口俊郎,鈴木浩文,牧野俊清
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on precision polishing of micro structured mold -Development of micro polishing system using piezoelectric actuator-incorporated with mechanical transformer-2011

    • 著者名/発表者名
      S.K. Chee, H. Suzuki , M. Okada,K. Yoshida, W. Lin, T. Yano, T. Higuchi
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Preliminary studies on precision polishing of micro structured mold -Development of micro polishing system using piezoelectric actuator incorporated with mechanical transformer -2011

    • 著者名/発表者名
      S. K. Chee, H. Suzuki, M. Okada, K. Yoshida, W. Lin, T. Yano, T. Higuchi
    • 学会等名
      2011 年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] マイクロ非球面研磨用磁歪振動研磨装置の開発2011

    • 著者名/発表者名
      郭江,鈴木浩文,樋口俊郎
    • 学会等名
      2011年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 低周波振動援用研磨法による金型材料の加工効果2011

    • 著者名/発表者名
      林偉民,小林直樹,藤本正和,呉勇波,徐世傑,矢野健,鈴木浩文
    • 学会等名
      2011年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of pressure control system for ultra-precision finishing

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki
    • 学会等名
      Proceedings of 12th euspen international Conference
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.chubu.ac.jp/about/faculty/profile/81055a74934afd47b755fc8aca81a2b9e76024dc.html

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 研磨装置2012

    • 発明者名
      徐世傑,鈴木浩文,林偉民,樋口俊郎,吉田和史,矢野健
    • 権利者名
      同上
    • 出願年月日
      2012-06-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 変位拡大機構及び研磨装置2012

    • 発明者名
      徐世傑,矢野健,鈴木浩文,林偉民,樋口俊郎,吉田和史
    • 権利者名
      同上
    • 出願年月日
      2012-09-10
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 研磨装置2012

    • 発明者名
      徐 世傑,鈴木浩文,林 偉民,樋口俊郎,吉田和史,矢野 健
    • 権利者名
      徐 世傑,鈴木浩文,林 偉民,樋口俊郎,吉田和史,矢野 健
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2012-06-18
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [産業財産権] 変位拡大機構及び研磨2012

    • 発明者名
      徐 世傑,矢野 健,鈴木浩文,林 偉民,樋口俊郎,吉田和史
    • 権利者名
      徐 世傑,矢野 健,鈴木浩文,林 偉民,樋口俊郎,吉田和史
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2012-09-10
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [産業財産権] 圧電アクチュエータを用いた研磨装置2010

    • 発明者名
      徐世傑, 鈴木浩文, 林偉民, 樋口俊郎, 吉田和史, 矢野健
    • 権利者名
      有限会社メカノトランスフォーマ
    • 産業財産権番号
      2010-257994
    • 出願年月日
      2010-11-18
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

URL: 

公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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