CWレーザー誘起ナノトレンチ構造の"かたち"機能を用いた表面改質

• 研究課題/領域番号: 22560131
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 神奈川県産業技術センター
• 研究代表者: 金子 智 神奈川県産業技術センター (40426359)
• 連携研究者: 吉本 護 (20174998)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円); 2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
• キーワード: ナノ / マイクロ加工 / 微細加工 / ナノ構造 / レーザー照射 / ナノ周期構造 / レーザー加工 / 高速スキャン / CWレーザ / CWレーザー

研究概要

CWレーザースキャンによる簡易なナノ周期構造作製技術を確立し、ナノ構造組織化の過程の解明を行った。スキャン速度は毎分300mと高速な加工が可能であり、周期構造による構造色の観察、擾水性の変化等を確認した。

研究成果

• [雑誌論文] Functional surface on periodical nanostructure self-organised by laser scanning at speed of 300 m/min (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Yousuke Ono, Tokuo Yodo, Hiroyasu Nakata, Akira Matsuno, Takashi Nire, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Optics and Laser and Engineering 巻: 51 ページ: 294-298
• [雑誌論文] Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Takeshi Ozawa, Yasuo Hirabayashi, Akira Matsuno, Takashi Nireand Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Laser Applications in Microelectronics and Optoelectronic Manufacturing (LAMIN) 巻: XVI8243 82430U
• [雑誌論文] Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 雑誌名: Laser Applications in Microelectronics and Optoelectronic Manufacturing 巻: 8243
• [雑誌論文] 2波長CWレーザスキャンによるナノ周期構造の形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 雑誌名: レーザ加工学会誌 巻: 19 ページ: 52-55
  • 査読あり
• [雑誌論文] レーザアニール装置開発からPLD法による製膜まで (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 雑誌名: レーザ協会会誌 巻: 37 ページ: 29-30
  • 査読あり
• [雑誌論文] レーザーによる高速表面ナノ加工を利用した「かたちによる着色」 (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 雑誌名: O plus E 巻: H24年2月号
• [雑誌論文] Nano Strip Grating Line Self-Organized by High Speed Scanning CW Laser (2011)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Kensuke Akiyama, Satomi Tanaka, Chihiro Kato, Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Nanotechnology 巻: 22175307
• [雑誌論文] Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device (2011)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Kensuke Akiyama, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire, Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: World Academy of Science, Engineering and Technology 巻: 74 ページ: 1150-1152
• [雑誌論文] Effect of Surface on Silicon Substrate Irradiated by Infrared and Ultraviolet CW Lasers (2011)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Kensuke Akiyama, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Yu Motoizumi, Satomi Tanaka, Chihiro Kato, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: IEEJ Transacton 巻: OQD-11-007
• [雑誌論文] Nano Strip Grating Line Self-Organized by High Speed Scanning CW Laser (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 雑誌名: Nanotechnology 巻: 22 号: 17 ページ: 175307-175307
  • DOI: 10.1088/0957-4484/22/17/175307
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of CW Laser Annealing on Silioon Surface for Application of Power Device (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 雑誌名: World Academy of Science, Engineering and Technology 巻: 74 ページ: 1150-1152
  • 査読あり
• [雑誌論文] Delamination and Wear of DLC Coatings (2011)
  • 著者名/発表者名: 熊谷正夫, 他, 金子智(第3著者)
  • 雑誌名: World Academy of Science, Engineering and Technology 巻: 74 ページ: 111-115
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mass Density as Basis Parameter on Mechanical Parameters under Diamond-Like Carbon Prepared in Wide Range of Conditions Using Variety of Methods (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 雑誌名: Japanese Jpurnal of Applied Physics 巻: 50
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Surface on Silioon Substrate Irradiated by Tnfrared and Ultraviolet CW Lasers (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 雑誌名: IEEJ Transacton 巻: OQD-11
• [学会発表] Structural Function on Nanostructure Self-Organized on Amorphous Si Layer by High Speed Scanning of CW Lasers (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Takeshi Ozawa, Yasuo Hirabayashi, Satomi Tanaka, Chihiro Kato, Akira Matsuno, Takashi Nire, Hiroyasu Nakata, Tokuo Yodo, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: The 73rd Fall Meeting, 2012, The Japan Society of Applied Physics
  • 発表場所: Ehime University, Matsuyama, Ehime, Japan
  • 年月日: 2012-09-12
• [学会発表] Development of laser annealing system : self-organised nanostructure (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko
  • 学会等名: Toyama International Nanotechnology Symposium
  • 発表場所: Toyama Convention Center, Toyama, Japan
  • 年月日: 2012-08-31
• [学会発表] Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 学会等名: SPIE, Photonics West 2012
  • 発表場所: 米国加州サンフランシスコ
  • 年月日: 2012-01-25
• [学会発表] Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Akira Matsno, Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: SPIE, Photonics West 2012
  • 発表場所: Moscone Center, San Francisco, CA, U. S. A.
• [学会発表] Periodical nanostructure grown on trace of CW laser scanning at high speed of 300 m/min. (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Kaneko, T. Ito, M. Yasui, T. Ozawa, Y. Hirabayashi, S. Tanaka, C. Kato, A. Matsuno, T. Nire, H. Nakata, T. Yodo, A. Matsuda, M. Yoshimoto
  • 学会等名: XI International Conference on Nanostructured Materials (NANO2012)
  • 発表場所: Rhodos Convention Center, Rhodos, Greece
• [学会発表] Periodic nanostructure self-organized on trace of CW laser scanning line on silicon substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 学会等名: IUMRS-ICEM2012
  • 発表場所: Yokohama Convention Center
  • 招待講演
• [学会発表] 2波長CWレーサ〓を用いた表面ナノ加工フ〓ロセスの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 学会等名: 平成23年度多元技術融合光プロセス研究会
  • 発表場所: 産業技術総合研究所
  • 年月日: 2011-10-20
• [学会発表] Self-organized Periodic Nanostructure by CW laser with scanning speed of 300 m/min (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 山形大学
  • 年月日: 2011-08-31
• [学会発表] Effect of Surface on Silicon Substrate Irradiated by Infrared and Ultraviolet CW Lasers (2011)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Kensuke Akiyama, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Yu Motoizumi, Satomi Tanaka, Chi-hiroKato, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: IEEJ Workshop
  • 発表場所: Toyama, Toyama, Japan
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] Effect of Surface on Silicon Substrate Irradiated by Infrared and Ultraviolet CW Lasers (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 学会等名: IEEJ Workshop
  • 発表場所: 富山県立大学
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第一著者)
  • 学会等名: International Conference on Nanotechnology, Optoelectronics and Photonics (ICNOP2011)
  • 発表場所: マレーシア
  • 年月日: 2011-02-24
• [学会発表] Delamination and Wear of DLC Coatings (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智(第三著者)
  • 学会等名: International Conference on Nanotechnology, Optoelectronics and Photonics (ICNOP2011)
  • 発表場所: マレーシア
  • 年月日: 2011-02-24
• [学会発表] Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device (2011)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Kensuke Aki yama, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire, Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: International Conference on Nanotechnology, Optoelectronics and Photonics (ICNOP2011)
  • 発表場所: Penang, Malaysia
• [学会発表] Self-organized Periodic Nanostructure by CW laser with scanning speed of 300 m/min. (2011)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Satomi Tanaka, Chihiro Kato Akira Matsuno, Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: The 72th Fall Meeting, 2010, The Japan Society of Applied Physics
  • 発表場所: University of Yamagata, Yamagata, Japan
• [学会発表] Structural Function on Nanostructure Self-Organized on Amorphous Si Layer by High Speed Scanning of CW Lasers
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 愛媛大学
• [学会発表] Development of laser annealing system: self-organised nanostructure
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 学会等名: Toyama International Nanotechnology Symposium
  • 発表場所: Toyama Convention Center
• [学会発表] Periodical nanostructure grown on trace of CW laser scanning at high speed of 300 m/min.
  • 著者名/発表者名: 金子智
  • 学会等名: XI International Conference on Nanostructured Materials (NANO2012)
  • 発表場所: Rhodos Convention Center
• [図書] CWレーザーの高速スキャン照射による微細ナノ構造の自己成長 (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智、吉本護
  • 出版者: 光アライアンス日本工業出版
• [図書] 2波長CWレーザスキャンによるナノ周期構造の形成～表面新機能を発現させる高速プロセス～ (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智、松野明、吉本護
  • 出版者: レーザ加工学会誌
• [図書] レーザアニール装置開発からPLD法による製膜まで (2012)
  • 著者名/発表者名: 金子智、岸本幸宏
  • 出版者: レーザ協会会誌
• [図書] 一枚の写真レーザーによる高速表面ナノ加工を利用した「かたちによる着色」 (2011)
  • 著者名/発表者名: 金子智、吉本護
  • 出版者: 月刊誌 O plus E (Advanced Communication Media CO., LTD)
• [備考] 2011年4月27日付け日刊工業新聞一面に掲載"高速アニールレーザーによるナノ微細加工技術" 新聞掲載
• [備考] "2波長CWレーザを用いた表面ナノ加工プロセスの開発"エレクトロニクス製品を進化させる光プロセス最新動向多元技術融合光プロセス研究会・(財)光産業技術振興協会平成22年10月20日(東京都・産業技術総合研究所) 招待/依頼講演等
• [備考] ``Periodic nanostructure self-organized on trace of CW laser scanning line on silicon substrate" Satoru Kaneko IUMRS-ICEM2012 Sep. 24-28 (25), 2012, Yokohama
• [備考] "高速レーザースキャン法によるナノ周期構造の成長"表面技術協会関東支部・エレクトロニクス・表面技術フォーラム平成23年12月9日(神奈川県)
• [産業財産権] 周期構造およびその形成方法 (2011)
  • 発明者名: 金子智、伊藤健、秋山賢輔、田中聡美、加藤千尋、平林康男、松野明、楡孝
  • 出願年月日: 2011-09-15