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ナノ・マイクロ・ダブル掘起しテクスチャによる高機能光触媒膜の開発

研究課題

研究課題/領域番号 22560134
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関茨城大学

研究代表者

清水 淳  茨城大学, 工学部, 教授 (40292479)

研究分担者 周 立波  茨城大学, 工学部, 教授 (90235705)
小貫 哲平  茨城大学, 工学部, 准教授 (70400447)
尾嶌 裕隆  茨城大学, 工学部, 講師 (90375361)
山本 武幸  茨城大学, 工学部, 技術職員 (40396594)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード掘起し / 引っかき / 光触媒 / 酸化チタン / 陽極酸化 / 振動
研究概要

微小掘起しによる表面テクスチャを用いた高強度・高機能酸化チタン膜を開発した.それは,陽極酸化加工前に押込み方向に数μmの振動を与えつつ鋭利な三角錐ダイヤモンド工具により純チタン膜を引っかくことにより製造された.研究の結果,微小テクスチャを伴う酸化チタン膜は,鏡面加工品に比べ光触媒反応の活性化に有効とされる実表面積を増大させることや,光触媒機能の一つである親水性を改善させることが明らかになった.

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (52件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (28件) (うち査読あり 27件) 学会発表 (19件) 備考 (5件)

  • [雑誌論文] A robust procedure of data analysis for micro/nano indentation2013

    • 著者名/発表者名
      W. Hang, L. Zhou, J. Shimizu, J. Yuan
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: Vol.37 号: 2 ページ: 408-414

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2012.11.003

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-Scale Stick-Slip Phenomenon2013

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto
    • 雑誌名

      Tribology Online

      巻: 8 号: 1 ページ: 38-43

    • DOI

      10.2474/trol.8.38

    • NAID

      130003368294

    • ISSN
      1881-218X, 1881-2198
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Metal Cutting with Local Hydrostatic Pressure Field Formation2012

    • 著者名/発表者名
      K. Uezaki, J. Shimizu, L. Zhou, T. Onuki, H. Ojima
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols.523-524 ページ: 67-172

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.167

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on micro/nano-indentation of typical soft-brittle materials2012

    • 著者名/発表者名
      W. Hang, L. Zhou, J. Shimizu, T. Yamamoto, J. Yuan
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols.523-524 ページ: 7-12

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.7

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] アブレシブ摩耗現象のシミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 雑誌名

      トライボロジスト

      巻: 57巻 ページ: 339-344

    • NAID

      10030614027

    • URL

      http://www.tribology.jp/publication/journal/journal2012.html

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Surface Micro Texture on Photocatalitic Function of Titanium Dioxide Film2012

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, G. Kobayashi, N. Hasegawa, T. Yamamoto, H. Ojima, T. Onuki, L. Zhou
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: Vols.706-709 ページ: 2646-2651

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.706-709.2646

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,鈴木直紀
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 55巻 ページ: 662-667

    • URL

      https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsat/55/11/55_662/_pdf

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] トライボロジスト2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 雑誌名

      アブレシブ摩耗現象のシミュレーション

      巻: 57巻 ページ: 339-344

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] A study on the diamond grinding of ultra-thin silicon wafers2012

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Y.Tian, H.Huang, H.Sato, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Part B : Journal of Engineering Manufacture

      巻: 226 号: 1 ページ: 66-76

    • DOI

      10.1177/0954405411414768

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011

    • 著者名/発表者名
      小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 55 ページ: 729-732

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究,-第1報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発-2011

    • 著者名/発表者名
      周立波, 小野真志, 尾嶌裕隆, 清水淳
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 77 ページ: 1165-1169

    • NAID

      130002121500

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 55 ページ: 662-667

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Finite element analysis of deflection and residual stress on machined ultra-thin silicon wafers2011

    • 著者名/発表者名
      Y.B.Tian, L.Zhou, Z.W.Zhong, H.Sato, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 26 号: 10 ページ: 1-7

    • DOI

      10.1088/0268-1242/26/10/105002

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanogrinding of multi-layered thin film amorphous Si solar panels2011

    • 著者名/発表者名
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou, Jun Shimizu
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture

      巻: 51 号: 10-11 ページ: 797-805

    • DOI

      10.1016/j.ijmachtools.2011.07.001

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Deformation and material removal in a nanoscale multi-layer thin film solar panel using nanoscratch2011

    • 著者名/発表者名
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture

      巻: 51 号: 3 ページ: 182-189

    • DOI

      10.1016/j.ijmachtools.2010.11.012

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spectroscopic Measurements of Silicon Wafer Thickness for Backgrinding Process2011

    • 著者名/発表者名
      Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 325 ページ: 672-677

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.325.672

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of CMG Wheels for Stress Relief in Si Wafer Thinning Process2011

    • 著者名/発表者名
      Yuki Mikami, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Yoshiaki Tashiro, Sumio Kamiya
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 325 ページ: 678-683

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.325.678

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Deformation and Material Removal in a Nanoscale Multi-layer Thin Film Solarpanel Using Nanoscratch2011

    • 著者名/発表者名
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou
    • 雑誌名

      International Journal Machine Tools & Manufacture

      巻: Vol.51 ページ: 182-189

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mold Fabricated by Nanoscratching for Nanoimprint Lithography2010

    • 著者名/発表者名
      W. Ohsone, J. Shimizu, L. Zhou, H. Ojima, T. Onuki, T. Yamamoto, H. Huang
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 843-848

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.126-128.843

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Titanium Dioxide Film by Surface Texturing2010

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, L. Zhou, K. Takamori, H. Ojima, T. Yamamoto, H. Huang
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: Vols.654-656 ページ: 1784-1787

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.654-656.1784

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Rubbing Phenomena in Ultra-Precision Abrasive Machining2010

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto, H. Huang
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.443 ページ: 417-422

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.443.417

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto
    • 雑誌名

      Journal of Computational and Theoretical Nanoscience

      巻: Vol.7 ページ: 2165-2170

    • NAID

      10026236879

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Wheel Additive On Chemo-Mechanical Grinding (CMG) of Single Crystal Si Wafer2010

    • 著者名/発表者名
      Hidenori Takahashi, Yebing Tian, Yuki Mikami, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols.447-448 ページ: 106-110

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement-Noise Reduction by Wavelet Transform-2010

    • 著者名/発表者名
      Masashi Ono, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols.447-448 ページ: 544-548

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Tifanium Dioxide Film by Surface Texturing2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: Vols.654-656 ページ: 1784-1787

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two Dimensional Ultrasonic Vibration Assisted Chemo-Mechanical Grinding of Si wafer2010

    • 著者名/発表者名
      WANG Zhen Zhong, Y. WU, L. ZHOU, GUO Yin Biao, WU Chen Xu
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 282-288

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of digital filters for Si wafer surface profile measurement-Noise reduction by lifting scheme wavelet transform-2010

    • 著者名/発表者名
      Kazutaka Nonomura, Masashi Ono, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 544-548

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010

    • 著者名/発表者名
      Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 701-706

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用(第2報)-振動切削の高周波化によるテクスチャの微小化-2013

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京工業大学(大岡山)
    • 年月日
      2013-03-13
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用(第2報)-振動切削の高周波化によるテクスチャの微小化-2013

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京工業大学(大岡山)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 原子スケールのスティックスリップ現象を伴う摩擦におけるエネルギー散逸過程の分子動力学解析2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      北九州国際会議場
    • 年月日
      2012-10-24
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 分子動力学によるすべり摩擦機構の解析-原子スケールのスティックスリップ現象におけるエネルギー散逸-2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      日本トライボロジー学会トライボロジー会議
    • 発表場所
      室蘭工業大学
    • 年月日
      2012-09-16
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響-セリア砥粒による前加工面のナノスクラッチ実験-2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京田辺)
    • 年月日
      2012-08-31
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 掘起しを利用した微小テクスチャ加工に関する研究2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      日本トライボロジー学会トライボロジー会議
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2012-05-16
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 原子スケールのスティックスリップ現象を伴う摩擦におけるエネルギー散逸過程の分子動力学解析2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      北九州国際会議場
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 分子動力学によるすべり摩擦機構の解析-原子スケールのスティックスリップ現象におけるエネルギー散逸-2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      日本トライボロジー学会トライボロジー会議
    • 発表場所
      室蘭工業大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響-セリア砥粒による前加工面のナノスクラッチ実験-2012

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京田辺)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2011

    • 著者名/発表者名
      清水淳
    • 学会等名
      International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
    • 発表場所
      Hyatt Regency Perth, Australia
    • 年月日
      2011-12-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu
    • 学会等名
      6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      大宮ソニックシティ
    • 年月日
      2011-11-09
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, W.Ohsone, H.Ojima, T.Onuki, L.Zhou, T.Yamamoto
    • 学会等名
      6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      Saitama, Japan
    • 年月日
      2011-11-09
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu
    • 学会等名
      Int'l Tribology Conference 2011
    • 発表場所
      広島国際会議場
    • 年月日
      2011-11-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, T.Yamamoto
    • 学会等名
      Int'l Tribology Conference 2011
    • 発表場所
      Hiroshima, Japan
    • 年月日
      2011-11-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-機械および電気的手法による検討-2011

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 学会等名
      精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      金沢大学(角間)
    • 年月日
      2011-09-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-機械および電気的手法による検討-2011

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 高野巧一郎, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 山本武幸, 周立波
    • 学会等名
      精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢大学(角間)
    • 年月日
      2011-09-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2010

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu
    • 学会等名
      International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
    • 発表場所
      Hyatt Regency Perth (Australia)
    • 年月日
      2010-12-07
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Wavelet変換によるSiウエハ評価に関する研究(第1報)2010

    • 著者名/発表者名
      周 立波
    • 学会等名
      砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      岡山大学工学部
    • 年月日
      2010-08-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Wavelet変換によるSiウエハ評価に関する研究(第1報)2010

    • 著者名/発表者名
      周立波
    • 学会等名
      砥粒加工学会
    • 発表場所
      岡山大学工学部
    • 年月日
      2010-08-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      https://sites.google.com/site/nlabibarakiuniv/

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考] 茨城大学nLabホームページ

    • URL

      http://sites.google.com/site/nlabibarakitest/

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考] 茨城大学研究者情報総覧

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/Profiles/5/0000414/profile.html

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://sites.google.com/site/nlabibarakitest/

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/Profiles/5/0000414/profile.html

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

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公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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