| 研究課題/領域番号 |
22560142
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 岡山大学 (2011-2012)
神戸大学 (2010) |
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研究代表者 |
木之下 博 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (50362760)
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| 研究分担者 |
磯野 吉正 神戸大学, 工学研究科, 教授 (20257819)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | RF MEMS / カーボンナノチューブ薄膜 / 接触抵抗 / 凝着力 / 接点電極 / CNT |
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| 研究概要 |
MEMS技術を応用した超小型高周波信号デバイスであるRF-MEMSスイッチの接点電極は,マイクロ荷重でも十分低い接触抵抗を必要としている.本研究では,カーボンナノチューブ(CNT)薄膜を用いることで,マイクロ荷重で低接触抵抗を達成することを目的としている.実験の結果,CNT薄膜単独では接触抵抗が高いが金薄膜を蒸着すること,CNTを基板に対して水平に配向させることで接触抵抗を下げられることが明らかとなった
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