超極細ワイヤーを用いたマイクロ機械要素およびマイクロ機械システムの研究

• 研究課題/領域番号: 22560145
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 首都大学東京
• 研究代表者: 本田 智 首都大学東京, 大学院・理工学研究科, 准教授 (90219238)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2012年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円); 2011年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2010年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
• キーワード: マイクロマシン / MEMS / 超極細ワイヤー / 機械要素 / マイクロねじ / マイクロナット / マイクロ歯車 / マイクロタービン / マイクロ機械要素 / マイクロフィルタ / 超精密 / ワイヤー / 歯車 / タービン / ねじ

研究概要

本研究では,線経が数十μm以下の超極細ワイヤーを用いて,極小のマイクロ機械要素と,これらを組み合わせたマイクロ機械システムの試作を行った.その結果,線径が20μmの錫メッキモリブデン線を用いてピッチ40μmのマイクロねじと,これに嵌るマイクロナットを試作し, 製造法の確立および解析・評価を行った.この外にマイクロ曲がり歯かさ歯車/マイクロ送り機構/マイクロタービン/マイクロ多針フィルタを試作・評価した.

研究成果

• [雑誌論文] マイクロマシン(MEMS)開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本田 智
  • 雑誌名: 自動化推進 巻: Vol.41,No.2 ページ: 2-3
• [雑誌論文] 寄稿 マイクロマシン（MEMS)開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本田 智
  • 雑誌名: 自動化推進 巻: Vol.41,No.2
• [学会発表] マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 大倉義弘,本田 智
  • 学会等名: 2013 年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-15
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ曲がり歯かさ歯車の研究(第2報) (2013)
  • 著者名/発表者名: 本田 智,今林拓也
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-13
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ曲がり歯かさ歯車の研究(第2報) (2013)
  • 著者名/発表者名: 本田 智，今林拓也
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 大倉義弘，本田 智
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究(第2報) (2012)
  • 著者名/発表者名: 座間雄大,本田 智
  • 学会等名: 2012 年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 九州工業大学
  • 年月日: 2012-09-15
• [学会発表] マイクロマシン「超極細ワイヤを用いたマイクロ送り機構/マイクロ歯車機構の開発」 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本田 智
  • 学会等名: 2012ポジショニング特別セミナー講演予稿集
  • 発表場所: パシフィコ横浜
  • 年月日: 2012-04-27
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 座間雄大,本田 智
  • 学会等名: 2012 年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ斜歯歯車の研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三浦宗宏,本田 智
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] マイクロマシン(MEMS)の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本田 智
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] マイクロマシン(MEMS)の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本田智
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ斜歯歯車の研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三浦宗宏, 本田智
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 座間雄大, 本田智
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究(第2報) (2012)
  • 著者名/発表者名: 座間雄大，本田 智
  • 学会等名: 2012年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 九州工業大学
• [学会発表] 超極細ワイヤーを用いたマイクロ機械要素の研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田 智
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-20
• [学会発表] 超極細ワイヤーを用いたマイクロ機械要素の研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田智
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-20
• [学会発表] 機構的マイクロマシンの動向 (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田 智
  • 学会等名: 2011 ポジショニング特別セミナー講演予稿集
  • 発表場所: パシフィコ横浜
  • 年月日: 2011-04-20
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いた軸流マイクロタービンの研究(第2報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田 智,石田寿樹
  • 学会等名: 2011 年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロねじ・マイクロナットの研究(第2報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田 智,林 博規
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いたマイクロねじ・マイクロナットの研究(第2報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田智
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東洋大学(東京都)
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] 超極細ワイヤを用いた軸流マイクロタービンの研究(第2報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 本田智
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東洋大学(東京都)
  • 年月日: 2011-03-14