| 研究課題/領域番号 |
22560295
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
阿保 智 大阪大学, 極限量子科学研究センター, 助教 (60379310)
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| 研究分担者 |
高井 幹夫 大阪大学, 極限量子科学研究センター, 教授 (90142306)
若家 冨士男 大阪大学, 極限量子科学研究センター, 准教授 (60240454)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 組成分析 / 飛行時間計測 / 弾性反跳粒子検出法 / Time-of-Flight (TOF) / Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) / 中エネルギーイオンビーム / 軽元素分析 / イオンプローブ / ERDA(弾性反跳粒子計測法) / TOF(飛行時間計測) / 低エネルギーイオン注入 / トロイダル静電アナライザ / SSRM / TEA(トロイダル静電アナライザ) / SSRM(走査型拡がり抵抗顕微鏡) |
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| 研究概要 |
国際半導体技術ロードマップで要求される極浅接合の評価のため、高エネルギー分解能のトロイダル静電アナライザ(TEA)と飛行時間計測(TOF)をエネルギー分解と質量分解に用いた弾性反跳粒子検出法(ERDA)の開発を行った。質量分解と高収量を両立した計測系の構築を行い、ボロン注入量の異なる 3 種類の標準試料の計測を行い結果の比較を行った。これらの結果より、ロードマップで要求される不純物深さ分解能を MEIS-TOF-ERDA 計測法により達成することを示した。
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