下地基板の制約を軽減した酸化物結晶薄膜形成技術の研究開発

• 研究課題/領域番号: 22560313
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 沼津工業高等専門学校
• 研究代表者: 野毛 悟 沼津工業高等専門学校, 電気電子工学科, 准教授 (10221483)
• 連携研究者: 宇野 武彦 神奈川工科大学, 工学部, 教授 (50257408)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円); 2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2010年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
• キーワード: 薄膜 / エピタキシャル / 機能性 / 結晶 / 成膜技術 / 熱処理 / 成膜技

研究概要

本報告は,SiO2のような非晶質基板上への薄膜単結晶形成方法の研究開発について述べたものである.提案手法は,酸化物結晶薄膜形成時における下地基板への依存性という課題を解決する方法の一つとして有効である.石英等の非晶質基板上に単結晶薄膜の材料を堆積した後,結晶化装置にセットし,熱処理の直前にArプラズマによりサンプルと種結晶片の表面をドライエッチングすることによってリフレッシュする.その直後,真空を破ることなくリフレッシュ面同士をコンタクトさせる.コンタクトさせた状態で適度な加圧と熱処理を施すことにより結晶化を促進し,所望の結晶薄膜を得るという画期的な方法である.

研究成果

• [雑誌論文] コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟,小西顕太朗
  • 雑誌名: 沼津工業高等専門学校研究報告 巻: 第47号 ページ: 381-384
  • NAID: 110009588418
  • 査読あり
• [雑誌論文] コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟，小西顕太朗
  • 雑誌名: 沼津工業高等専門学校研究報告 巻: 第４７号 ページ: 381-384
  • NAID: 110009588418
  • 査読あり
• [雑誌論文] コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟,小西顕太朗
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 ページ: 19-22
  • NAID: 110009588418
• [雑誌論文] コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟，小西顕太朗
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: CPM2012-28 ページ: 19-22
  • NAID: 110009588418
• [雑誌論文] 下地基板の影響を軽減した結晶薄膜の形成法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟,梅原猛,宇野武彦
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 ページ: 73-78
  • NAID: 110008801102
• [雑誌論文] 下地基板の影響を軽減した結晶薄膜の形成法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟, 梅原猛, 宇野武彦
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: CPM2011-71 ページ: 73-78
  • NAID: 110008801102
• [雑誌論文] Snをドープしたシリカガラス薄膜の可視発光特性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: Vol.154 ページ: 55-60
  • NAID: 110008094813
• [学会発表] コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟,小西顕太朗
  • 学会等名: 2013年電子情報通信学会総合大会
  • 発表場所: 岐阜大学
  • 年月日: 2013-03-21
• [学会発表] コンタクトエピタキシャル法による酸化物結晶薄膜の形成 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟
  • 学会等名: 電子情報通信学会2013年総合大会
  • 発表場所: 岐阜大学
• [学会発表] 下地基板の影響を軽減した酸化物結晶薄膜の形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟、梅原猛、宇野武彦
  • 学会等名: 2011年電子情報通信学会ソサエティ大会
  • 発表場所: 北海道大学
  • 年月日: 2011-09-15
• [学会発表] コンタクトエピタキシャル法による結晶薄膜形成(招待講演) (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟
  • 学会等名: 平成23年度応用物学会北陸・信越支部講演会
  • 発表場所: 長岡技術科学大学
  • 年月日: 2011-08-19
• [学会発表] コンタクトエピタキシャル法による結晶薄膜形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟
  • 学会等名: 平成23年度応用物学会北陸・信越支部講演会
  • 発表場所: 長岡技術科学大学(招待講演)
  • 年月日: 2011-08-19
• [学会発表] 下地基板の影響を軽減した酸化物結晶薄膜形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟、宇野武彦
  • 学会等名: 第58回応用物理関連連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-24
• [学会発表] 下地基板の影響を軽減した結晶薄膜の形成法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野毛悟,宇野武彦
  • 学会等名: 2011年電子情報通信学会総合大会
  • 発表場所: 東京都市大学
  • 年月日: 2011-03-16