光誘起電流変調を利用した多値化信号生成素子を創成するＳｉＧｅヘテロ接合特性の評価

• 研究課題/領域番号: 22560339
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 北海道科学大学
• 研究代表者: 藤永 清久 北海道科学大学, 創生工学部, 教授 (40285515)
• 研究期間 (年度): 2010-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円); 2013年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2011年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
• キーワード: シリコン・ゲルマニウム / SOI / 電界効果素子 / バックゲート / 正孔電流 / 実効移動度 / 結晶成長 / 先端機能デバイス / 半導体物性 / 電子デバイス・機器 / シミュレーション / SiGe量子井戸 / 光誘起電流 / 光誘起

研究概要

SiGe/Si多重量子井戸構造による光誘起電流変調を利用した多値化信号生成素子を創出することを目的として，SOI基板上のSiGeの多重量子井戸構造を受光部とし，吸収された光により発生した正孔電流をその直下の電界効果素子で検出する素子構造を提案した．シミュレーションにより多重量子井戸の量子エネルギー準位に関する基礎データを取得し，受光部の構造設計に資した．電界効果素子として，SOI基板の埋め込み酸化膜をゲート酸化膜に用いたバックゲート構造のMOSFETの素子特性を調べ，正孔電流検出用の電界効果素子としての有用性を検証した．

研究成果

• [雑誌論文] SIMOX基板の埋め込み酸化膜をゲート酸化膜に用いたSiGe p-MOSFETの電気特性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 藤永清久
  • 雑誌名: 電子情報通信学会論文誌C 巻: Vol. J97-C,No. 5 ページ: 246-248
  • URL: http://search.ieice.org/bin/index.php?category=C&lang=J&curr=1
  • 査読あり
• [雑誌論文] 学生に達成感を感じさせるHDL教育の実践 (2014)
  • 著者名/発表者名: 藤永清久
  • 雑誌名: 工学教育 巻: 62 号: 1 ページ: 1_72-1_76
  • DOI: 10.4307/jsee.62.1_72
  • NAID: 130003393184
  • ISSN: 1341-2167, 1881-0764
  • 査読あり
• [雑誌論文] SIMOX基板の埋め込み酸化膜をゲートに用いたSiGe p-MOSFETの電気特性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 藤永清久
  • 雑誌名: 電子情報通信学会論文誌C 巻: J97-C ページ: 246-248
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effective hole mobility in SiGe buried-channel well MOSFETs on SOI by low-pressure CVD (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Fujinaga
  • 雑誌名: ECS. J. Solid State Sci. Technol. 巻: Vol. 2, No. 9 号: 9 ページ: Q142-Q146
  • DOI: 10.1149/2.007309jss
  • 査読あり
• [学会発表] エージェント生産システムにおけるハイブリッドスケジューリングに関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 蔵徹郎,藤永清久
  • 学会等名: 電子情報通信学会北海道支部インターネットシンポジウム
• [学会発表] ジョブショップスケジューリングにおけるGAと再帰的伝搬法の比較検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 蔵徹郎,藤永清久
  • 学会等名: 日本経営工学会秋季研究大会
  • 発表場所: 大阪工業大学(予稿集,D16)
• [学会発表] GAと再帰的伝搬法を用いたジョブショップスケジューリング (2012)
  • 著者名/発表者名: 蔵徹郎,藤永清久
  • 学会等名: 電気・情報関係学会北海道支部連合大会
  • 発表場所: 北海道大学(No. 189)
• [学会発表] 機械故障による生産遅延発生時における再スケジューリングの最適化 (2012)
  • 著者名/発表者名: 蔵徹郎,藤永清久
  • 学会等名: 電子情報通信学会基礎・境界ソサイエティ大会
  • 発表場所: 岐阜大学(基礎・境界論文集,A-12-8)
• [学会発表] 再帰的伝搬法に基づく自立分散型のマシンスケジューリング (2012)
  • 著者名/発表者名: 蔵徹郎,藤永清久
  • 学会等名: 電子情報通信学会北海道支部インターネットシンポジウム