• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

フェムト秒レーザー加工による非晶質金属薄膜ナノ周期構造形成

研究課題

研究課題/領域番号 22560720
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関京都大学

研究代表者

橋田 昌樹  京都大学, 化学研究所, 准教授 (50291034)

連携研究者 阪部 周二  京都大学, 化学研究所, 教授 (50153903)
時田 茂樹  京都大学, 化学研究所, 助教 (20456825)
小川 哲也  京都大学, 化学研究所, 助教 (40224109)
根本 隆  京都大学, 化学研究所, 助教 (20293946)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード結晶・組成制御 / ナノ周期構造 / 非晶質 / 金属 / フェムト秒レーザー / フェムト秒レーザー加工 / 非晶質金属薄膜 / 高エネルギー金属イオン注入
研究概要

金属表面にできるナノ周期構造と結晶の関係を明らかにするため高空間分解能の電子顕微鏡により結晶構造を観察した。レーザー照射条件F=0.08-0.64J/cm2において形成されるナノ構造は、F>0.35J/cm2及びF <0.2J/cm2では多結晶となり、0.23J/cm2では著しい結晶性の消失(非晶質化)がみられた。結晶性が消失する機構としてレーザー照射時に放出される高エネルギーイオンが寄与している可能性が高いことをシミュレーションにより明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (30件)

すべて 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 9件) 学会発表 (17件) (うち招待講演 1件) 図書 (3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Nonthermal emission ofenergetic ions from a metal surfaceirradiated by extremely low fluencefemtosecond laser pulses2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyasaka, M. Hashida, Y. Ikuta, K.Otani, S. Tokita, and S.Sakabe
    • 雑誌名

      PhysicalReview B

      巻: Vol.86

    • URL

      http://prb.aps.org/pdf/PRB/v86/i7/e075431

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Periodic nano-gratingstructures produced by femtosecondlaser pulses for metals with low- andhigh-melting points2012

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, Y. Miyasaka, Y. Ikuta, K.Otani, S. Tokita, and S.Sakabe
    • 雑誌名

      Journal of LaserMicro/Nanoengineering

      巻: Vol.7,No.2 ページ: 194-197

    • URL

      http://www.jlps.gr.jp/jlmn/upload/5372fba805aa9aaa30daf185bed3d222.pdf

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Periodic Nano-Grating Structures Produced by Femtosecond Laser Pulses for Metals with Low- and High-Melting Points2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Hashida
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: 7 ページ: 194-197

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nonthermal emission of energetic ions from a metal surface irradiated by extremely low-fluence femtosecond laser pulses2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Miyasaka
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 86 号: 7 ページ: 75431-75431

    • DOI

      10.1103/physrevb.86.075431

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystalstructures on a copper thin film with asurface of periodic self-organizednanostructures induced by femtosecondlaser pulses2011

    • 著者名/発表者名
      M.Hashida, Y. Miyasaka, Y. Ikuta, S.Tokita, and S. Sakabe
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: Vol.83

    • URL

      http://prb.aps.org/pdf/PRB/v83/i23/e235413

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystal structures on a copper thin film with a surface of periodic self-organized nanostructures induced by femtosecond laser pulses2011

    • 著者名/発表者名
      M.Hashida, et al.
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 83 号: 23

    • DOI

      10.1103/physrevb.83.235413

    • NAID

      120003338826

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laserfluence dependence of periodic gratingstructures formed on metal surfacesunder femtosecond laser pulseirradiation2010

    • 著者名/発表者名
      K. Okamuro, M. Hashida, Y. Miyasaka, Y.Ikuta, S. Tokita, and S. Sakabe
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: Vol.82

    • URL

      http://prb.aps.org/pdf/PRB/v82/i16/e165417

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser fluence dependence of periodic grating structures formed on metal surfaces under femtosecond laser pulse irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      K.Okamuro, M.Hashida, et al.
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 82 号: 16

    • DOI

      10.1103/physrevb.82.165417

    • NAID

      120003338827

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser fluence dependence of periodic grating structures formed on metal surfaces under femtosecond laser pulse irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      Kiminori Okamuro, Masaki Hashida, Yasuhiro Miyasaka, Yoshinobu Ikuta, Shigeki Tokita, Shuji_ Sakabe
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 82 ページ: 165417-165417

    • NAID

      120003338827

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 短パルスレーザーナノレーザーアブレーションによる金属の微細構造形成2012

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹,宮坂泰弘,清水雅弘,時田茂樹,阪部周二
    • 学会等名
      第78回レーザー加工学会講演会
    • 発表場所
      アクトシティー浜松コングレスセンター
    • 年月日
      2012-12-14
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Periodic Grating StructuresSelf-formed by Femtosecond LaserAblation for Metals2012

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, M. Miyasaka, Y. Ikuta, T.Ogata, H. Sakagami, S. Tokita, and S.Sakabe
    • 学会等名
      13th InternationalSymposium on Laser PrecisionMicrofabrication (LPM2012)
    • 発表場所
      Washington,DC
    • 年月日
      2012-06-15
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Mechanism of femtosecond lasernano-ablation for metals2012

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, M. Miyasaka, M. Shimizu, T.Ogata, H. Sakagami, S. Tokita, and S.Sakabe
    • 学会等名
      AdvancedLaser technologies(ALT2012)
    • 発表場所
      Thun Switzerland
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Periodic grating structures onmetals induced by femtosecond laserpulses2012

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, M. Miyasaka, Y. Ikuta, T.Ogata, H. Sakagami, S. Tokita, and S.Sakabe
    • 学会等名
      The 8thAsia Pacific laserSymposium (APLS2012)
    • 発表場所
      Huangshan, China
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Periodic grating structures on metal induced by femtosecond laser pulses2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Hashida
    • 学会等名
      The 8th Asia Pacific Laser Symposium (APLS2012)
    • 発表場所
      黄山・中国
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Periodic Grating Structures Self- ‐formed by Femtosecond Laser Aablation for Metals2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Hashida
    • 学会等名
      13th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2012)
    • 発表場所
      Washington,DC・USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] MECHANISM OF FEMTOSECOND LASER NANO-ABLATION FOR METALS2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Hashida
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT'12)
    • 発表場所
      Thun・ Switzerland
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Mechanism forcrystal structure transformation onmetal surface by femtosecond laserpulses2011

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, Y. Miyasaka, Y. Ikuta, S.Tokita and S. Sakabe
    • 学会等名
      11th International Conferenceon Laser Ablation(COLA2011)
    • 発表場所
      Mexico
    • 年月日
      2011-11-14
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造の結晶構造2011

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹,生田美延,宮坂泰弘,時田茂樹,阪部周二
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-08-31
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Periodic nano-grating structures produced byfemtosecond laser pulses for metals withlow- and high-melting points2011

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, Y. Miyasaka, Y. Ikuta, S.Tokita and S. Sakabe
    • 学会等名
      International Symposium on LaserPrecision Microfabrication (LPM2011)
    • 発表場所
      Takamatsu
    • 年月日
      2011-06-09
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Dependence ofthe periodic structure interspaces onlaser fluence for metals irradiated withfemtosecond laser2011

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, Y. Miyasaka, Y. Ikuta, S.Tokita, and S. Sakabe
    • 学会等名
      Conference onlasers and Electro Optics 2011(CLEO2011)
    • 発表場所
      Baltimore, USA
    • 年月日
      2011-05-03
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Dependence of the periodic structure interspaces on laser fluence for metals irradiated with femtosecond laser2011

    • 著者名/発表者名
      M.Hashida, et.al.
    • 学会等名
      Conference on lasers and Electro Optics 2011 (CLEO2011)
    • 発表場所
      Baltimore, USA(招待講演)
    • 年月日
      2011-05-03
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射による金属薄膜の結晶構造観察II2011

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹,生田美延,宮坂泰弘,時田茂樹,阪部周二
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射による金属薄膜の結晶構造観察II2011

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹, 宮坂泰弘, 生田美延, 時田茂樹, 阪部周二
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会(東北関東大震災のため講演会は中止。しかし、予稿集が発行されている事から発表は成立したものとみなされている)
    • 発表場所
      神奈川工科大学・厚木市
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Periodic grating structures self-formed on metal surfaces under femtosecond laser pulse irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      Masaki Hashida, Shigeki Tokita, Shuji Sakabe
    • 学会等名
      JSPS-CAS Core University Program Seminar, Japan-China Joint Seminar on laser Plasma and High Energy Density Physics
    • 発表場所
      上海交通大学・上海(中国)
    • 年月日
      2010-10-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射による金属表面周期構造自己形成機構2010

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹,生田美延,宮坂泰弘,時田茂樹,阪部周二
    • 学会等名
      日本物理学会 2010 年秋季大会
    • 発表場所
      大阪府立大学
    • 年月日
      2010-09-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによる金属表面周期構造自己形成機構の解明IV~各種金属に対する周期構造間隔のフルーエンス依存性~2010

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹,岡室皇紀,生田美延,宮坂泰弘,時田茂樹,阪部周二
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [図書] レーザーと化学2012

    • 著者名/発表者名
      日本化学会
    • 出版者
      共立出版
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [図書] 先端固体レーザー2012

    • 著者名/発表者名
      神成文彦、橋田昌樹, 他5名
    • 総ページ数
      524
    • 出版者
      オーム社
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [図書] 先端固体レーザー2011

    • 著者名/発表者名
      (社)レーザー学会
    • 出版者
      オーム社
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://laser.kuicr.kyoto-u.ac.jp/index.html

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi