| 研究課題/領域番号 |
22560727
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 芝浦工業大学 (2011-2012)
埼玉工業大学 (2010) |
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研究代表者 |
下条 雅幸 芝浦工業大学, 工学部, 教授 (00242313)
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| 連携研究者 |
三石 和貴 物質材料研究機構, 量子ドットセンター, 主幹研究員 (40354328)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | ナノプロセス / ナノワイヤー / ナノセンサー / 材料加工・処理 / ナノ材料 / 電子顕微鏡 / センサー |
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| 研究概要 |
目的の金属元素を含む有機金属化合物ガスを基板上に極少量流し、そこへ細く収束した電子ビームを照射することで、ガスを分解し、局所的に蒸着を行う方法は電子線誘起蒸着(EBID)法と呼ばれ、目的の場所へサイズや形状を制御してナノ構造を作製できる有望な方法である。本研究ではこの方法を利用して、酸化物や金ナノ構造を作製する方法を確立し、特にモリブデン酸化物ナノ構造については光伝導特性について検討した。
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