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医療・バイオへの応用を目指したポリ尿素膜親水化処理に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 22560730
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関早稲田大学

研究代表者

水野 潤  早稲田大学, ナノ理工学研究機構, 准教授 (60386737)

研究分担者 篠原 秀敏  早稲田大学, 理工学術院, 助手 (20533095)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード表面 / 界面制御 / マイクロ流路 / 接合 / 低温処理 / 薄膜 / 界面
研究概要

バイオデバイスを用いた生体分子分析において、表面・界面制御は必須である。特に、生体分子は水系溶媒のため、流路内壁が疎水性になることは、分析精度を下げる要因であった。本研究では、流路内壁の表面・界面制御技術として、紫外線による樹脂清浄とポリ尿素の重合蒸着の一貫プロセス装置を開発し、長期安定性に優れた親水性界面を実現した。
また、本親水化層を接着層として用いることで、接合強度1MPa以上と強固な接合を実現した。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (65件)

すべて 2013 2012 2011 2010

すべて 雑誌論文 (20件) (うち査読あり 20件) 学会発表 (44件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Fabrication and Surface Modification of Flat Lignocellulosic Carbon Materials2013

    • 著者名/発表者名
      T. Funabashi, M. Sato, M. Kitajima, S. Shoji, J. Mizuno
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Rapd Communication

      巻: 52 ページ: 1203-1203

    • NAID

      210000141714

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integrated Channel Selector for Directing Fluid Flow Using Thermoreversible Gelation Controlled by a Digital Mirror Device2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Shirasaki, M. Goto, M. Yamagishi, H. Sugino, T. Arakawa, J. Mizuno, S. Shoji, T. Funatsu, O. Ohara
    • 雑誌名

      Journal of Sensorsvol.

      巻: 2013 ページ: 61-61

    • DOI

      10.1155/2013/436492

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and Surface Modification of Flat Lignocellulosic Cabon Materials2013

    • 著者名/発表者名
      T. Funabashi, M. Sato, M. Kitajima, S. Shoji, J. Mizuno
    • 雑誌名

      Japanese Jounal of Applied Physics Rapd Communication

      巻: 52 号: 1R ページ: 010203-010203

    • DOI

      10.7567/jjap.52.010203

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nano Pattern Stiching Process using Two Step Nanoimprint Lithography2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ishibashi, H. Goto, S. Shoji, J. Mizuno
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 2012 ページ: 235-238

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Large Area Nano Pattern Fabrication Using Improved Step and Repeat UV Nanoimprint2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ishibashi, H. Goto, T. Kasahara, J. Mizuno, S. Shoji
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 25 号: 2 ページ: 235-238

    • DOI

      10.2494/photopolymer.25.235

    • NAID

      130004833444

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of a Roll Press UV Imprint Process for Replication of Microstructures on a Large and Thin Quartz Substrate2012

    • 著者名/発表者名
      M. Okubo, Y. Tsutsui, K. Ishibashi, L. Li, S. Shoji, J. Mizuno, Y. Yanagisawa
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 25 号: 2 ページ: 229-234

    • DOI

      10.2494/photopolymer.25.229

    • NAID

      130004833443

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integration of pillar array columns into a gradient elution system for pressure-driven liquid chromatography2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Song, M. Noguchi, K. Takatsuki, T. Sekiguchi, J. Mizuno, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunoda
    • 雑誌名

      Anal Chem.

      巻: 84( 号: 11 ページ: 4739-4745

    • DOI

      10.1021/ac3001836

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Biochip Applications of DLC Films on a Resin Material2012

    • 著者名/発表者名
      S. Murata, S. Ito, J. Mizuno, K. Hirakuri, H. Sakamoto, S. Masuko, K. Sato, N. Fukata, F. Shizuku, S. Shoji
    • 雑誌名

      Physica Status Solid

      巻: C9 号: 6 ページ: 1439-1442

    • DOI

      10.1002/pssc.201100655

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] シリコンチップの新接合技術2012

    • 著者名/発表者名
      水野潤,佐久間克幸,宇波奈保子,仁村将次,庄子習一
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 1 ページ: 120-125

    • NAID

      10030922143

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface modification of polyethylene terephthalate (PET) by VUV and VUV/O3 treatments2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno
    • 雑誌名

      Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging

      巻: 5 ページ: 47-54

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Large-Scale Atmospheric Step-and-Repeat UV Nanoimprinting2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ishibashi, H. Goto, J. Mizuno, S. Shoji
    • 雑誌名

      Journal of Nanotechnology

      巻: 2012 ページ: 9-9

    • DOI

      10.1155/2012/103439

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 三次元LSIに向けたはんだと接着のハイブリッド接合技術と表面処理技術2012

    • 著者名/発表者名
      仁村将次、佐久間克幸、庄子習一、水野潤
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌

      巻: 95 ページ: 296-303

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] XPS and NEXAFS Studies of VUV/03-Treated Aromatic Polyurea and its Application to Microchip Electrophoresis2011

    • 著者名/発表者名
      H.Shinohara, A.Nakahara, F.Kitagawa, Y.Takahashi, K.Otsuka, 他3名
    • 雑誌名

      IET

      巻: 5 号: 4 ページ: 136-142

    • DOI

      10.1049/iet-nbt.2011.0006

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Studies on Low-Temperature Direct Bonding of VUV/03-, VUV- and 02 Plasma-Pre-Treated Poly-Methylmethacrylate2011

    • 著者名/発表者名
      H.Shinohara, T.Kasahara, S.Shoji, J.Mizuno
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 21

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Studies on low-temperature direct bonding of VUV, VUV/03 and 02 plasma pretreated cycloolefin polymer2011

    • 著者名/発表者名
      H.Shinohara, J.Mizuno, S.Shoji
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A

      巻: 165 号: 1 ページ: 124-131

    • DOI

      10.1016/j.sna.2010.04.006

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of high-aspect-ratio amorphous perfluorinated polymer structure for total in ternal reflection fluorescence microscopy2011

    • 著者名/発表者名
      A.Nakahara, Y.Shirasaki, K.Kawai, O.Ohara, J.Mizuno
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 88 号: 8 ページ: 1817-1820

    • DOI

      10.1016/j.mee.2011.02.117

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integrated Hydrophilic Surface Treatment System of Vapor Deposition Polymerization and Vacuum Ultraviolet Irradiation for Chemical/Biochemical Microchips2011

    • 著者名/発表者名
      H.Shinohara, T.Hori, S.Umeda, Y.Takahashi, S.Shoji, 他2名
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 88

      巻: 88 号: 8 ページ: 2751-2754

    • DOI

      10.1016/j.mee.2011.01.060

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anti-Sticking Curing of Fluorinated Polymers for Improvement of Mold Releasability2011

    • 著者名/発表者名
      J.Mizuno, L.Li, Y.Kawaguchi, K.Tsunozaki, H.Shinohara, S.Shoji
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 24 号: 1 ページ: 89-93

    • DOI

      10.2494/photopolymer.24.89

    • NAID

      130004464877

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 複合ナノインプリントプロセスとデバイスへの応用2010

    • 著者名/発表者名
      J.Mizuno, H.Shinohara
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 130 号: 8 ページ: 343-346

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.130.343

    • NAID

      10026498086

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Au-Electrode-Embededd Cyclo-Olefin Polymer Microchip Using Low-Temperature Direct Bonding2010

    • 著者名/発表者名
      Hidetoshi Shinohara, Jun Mizuno, Shuichi Shoji
    • 雑誌名

      2010 The Institute of Electrical Engineers of Japan

      巻: Vol.130, No.8 ページ: 347-350

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Multi-color microfluidic organic light emitting device using electroluminescence and electrochemiluminescence2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kasahara, J. Mizuno, S. Hirata, T. Edura, S. Matsunami, C. Adachi , and S. Shoji
    • 学会等名
      the 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2013
    • 発表場所
      Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Simple and High-Throughput Fabrication of Large-Area and Multilayer Flexible Polymer Film Structures For Microfluidic Organic Light Emitting Diode2013

    • 著者名/発表者名
      M. Tsuwaki, J. Mizuno, T. Kasahara, T. Edura, S. Matsunami, J. Oshima, C. Adachi, and S. Shoji
    • 学会等名
      the 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2013
    • 発表場所
      Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Simple Through Silicon Interconnect via Fabrication Using Dry Filling of Sub-Micron Au Particles for 3D MEMS2013

    • 著者名/発表者名
      K. Shih, M. Nimura, Y. Kanehira, T. Ogashiwa, J. Mizuno, S. Shoji
    • 学会等名
      the 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2013
    • 発表場所
      Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] MEMS LC Microchip with Low Dispersion and Low Pressure Drop Turn Structure Using Distribution Controlled Micro Pillar Array2013

    • 著者名/発表者名
      K. Takatsuki, M. Isokawa, Y. Song, A. Nakahara, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, J. Mizuno, T. Funatsu, M. Tsunoda, S. Shoji
    • 学会等名
      the 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2013
    • 発表場所
      Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Study of Surface Treatment Process Using VUV/O3 Treatment for Au0Au Flip Chip Bonding2012

    • 著者名/発表者名
      J. Mizuno, A. Okada, M. Nimura, N. Unami, A. Shigetou, H. Noma, K. Sakuma, S. Shoji
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Designing, Processing and Properties of Advanced Engineering Materials ISAEM-2012 and The 3rd Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials AMDI-3
    • 発表場所
      Toyohashi
    • 年月日
      2012-11-06
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Surface Modification of Poly ethylene terephthalate (PET) by VUV and VUV/O3 Treatments for Flexible Capacitive Tactile Sensors2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging and IMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2012)
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2012-04-19
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Using Nano-Porous Au-Ag Sheets for Low-Temperature Au-Au Bonding2012

    • 著者名/発表者名
      H. Mimatsu, T. Kasahara, S. Shoji, H. Nishikawa, and J. Mizuno
    • 学会等名
      IEEE CPMT Symposium Japan 2012
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low Temperature Bonding Using Sub-micron Au Particles for Wafer-level MEMS Packaging2012

    • 著者名/発表者名
      S. Ito, J. Mizuno, H. Ishida, T. Ogashiwa, Y. Kanehira, H. Murai, F. Wakai, S. Shoji
    • 学会等名
      IEEE CPMT Symposium Japan 2012
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and Basic Investigation of Flat Lignocellulosic Carbon Material for Self-Supporting Electrodes in Electric Double-Layer Capacitors2012

    • 著者名/発表者名
      T. Funabashi, M. Sato, M. Kitajima, J. Mizuno, S. Shoji
    • 学会等名
      2012 MRS (Materials Research Society) Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Development of Planar Type Fabrication Process with Ni-Nb-Zr-H Amorphous Alloy Thin Films and Measurement od Its Electric Capacity2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki, T. Sekiguchi, M. Saito, J. Mizuno, T. Takeuchi, I. Yuito, Y. Nozaki, K. Kato, S. Yamaura, R. Umetsu, H. Kawarada
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low Dispersion and Low Pressure Drop Turn Structure Using Distribution Controlled Micro Pillar Array2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sekiguchi, K. Takatsuki, M. Noguchi, D.H. Yoon, J. Mizuno, S. Shoji
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Study of Surface Treatment Process Using VUV/O3 Treatment for Au0Au Flip Chip Bonding2012

    • 著者名/発表者名
      J. Mizuno, A. Okada, M. Nimura, N. Unami, A. Shigetou, H. Noma, K. Sakuma, S. Shoji
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Study of Hybrid Solder-Adhesive Binding Using Resin Planarization Technique for 3DIC2012

    • 著者名/発表者名
      J. Mizuno, M. Nimura, K. Sakuma, H. Ogino, T. Enomoto, A. Shigetou, S. Shoji
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Effect of the Hydrogen Absorption on the Electrical Transport Properties for Ni36Nb24Zr40 Amorphous Ribbon2012

    • 著者名/発表者名
      R. Umetsu, H. Yoshida, M. Fukuhara, S. Yamaura, M. Matsuura, T. Sasaki, T. Sekiguchi, M. Saito, J. Mizuno, K. Kawarada
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Surface Conditions on Wetting Behavior of Sn-30.Ag-0.5Cu Solder on Cu-Baseda Bulk Metallic Glass2012

    • 著者名/発表者名
      H. Nishikawa, T. Naoi, M. Saito, J. Mizuno, M. Fukuhara
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Direct Observation of Sintering of Au Sub-Micron Particles at Low-Temperatures2012

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, Y. Shinoda, T. Akatsu, F. Wakai, J. Mizuno, T. Ogashiwa
    • 学会等名
      TISAEM-2012 and AMDI-3
    • 発表場所
      豊橋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Bonding properties of low-temperature wafer bonding sub-micron gold particles with different particle sizes2012

    • 著者名/発表者名
      H. Ishida, T. Ogashiwa, Y. Kanehira, T. Yazaki, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      IMPACT2012
    • 発表場所
      Taipei,Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] GaN lateral overgrowth by HVPE through nanometer-size channels fabricated with nanoimprint lithograph2012

    • 著者名/発表者名
      A. Usui, H. Goto, Y. Fujiyama, T. Matsueda, H. Sunakawa, Y. Ishihara, A. Okada, A. A.Yamaguchi, H. Nishihara, H. Shinohara, H. Goto, J. Mizuno
    • 学会等名
      IWN2012
    • 発表場所
      札幌
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Large Area Flatness Measurement and Optimization for Step and Repeat UV Nanoimprinting2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ishibashi, H. Goto, J. Mizuno, S. Shoji
    • 学会等名
      The 11th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology (NNT 2012), 2012.10.25, Napa, California, USA (2012)
    • 発表場所
      Napa, California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of High Quality GaN Template by Nano-channel FIELO Using UV Nanoimprint Lithography for high Efficiency LED2012

    • 著者名/発表者名
      A. Okada, H. Shinohara, H. Nishihara, H. Goto, A. Usui, T. Matsueda, H. Goto, Y. Fujiyama, H. Sunakawa, Y. Ishihara, A. Yamaguchi, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      The 11th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology (NNT 2012), 2012.10.25, Napa, California, USA (2012)
    • 発表場所
      Napa, California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Anti-Reflection Structures Fabricated by Angled Two Step UV Nanoimprint Lithography Using Line and Space2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ishibashi, H. Nishihara, M. Kokubo, H. Goto, J. Mizuno, S. Shoji
    • 学会等名
      The 11th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology (NNT 2012), 2012.10.25, Napa, California, USA (2012)
    • 発表場所
      Napa, California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Area-Extended Wire-Grid Polarizer via Step and Repeat Nanoimprint Lithography2012

    • 著者名/発表者名
      K. Takayama, H. Sakamoto, Y. Kaida, K. Ishibashi, H. Goto, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      The 11th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology (NNT 2012)
    • 発表場所
      Napa, California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fast Analysis of Biological Compounds by Gradient Liquid Chromatography Using Pillar Array Column2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Song, M. Noguchi, K. Takatsuki, T. Sekiguchi, J. Mizuno, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunota
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2012)
    • 発表場所
      沖縄
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Measurement of Inflammatory Cytokine Secretion from Human Monocytes after Inflammasome Activation2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Shirasaki, A. Nakahara, N. Shimura, K. Izawa, N. Suzuki, M. Yamagishi, J. Mizuno, T. Sekiguchi, R. Nishikomori, S. Shoji, O. Ohara
    • 学会等名
      9 th International Conference on Electroluminescence & Organic Optoelectronics (ICEL) 2012
    • 発表場所
      福岡
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Microfluidic Organic Light Emitting Diodes2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kasahara, S. Matsunami, T. Edura, M. Tsuwaki, S. Hirata, S. Shoji, C. Adachi, J. Mizuno
    • 学会等名
      9 th International Conference on Electroluminescence & Organic Optoelectronics (ICEL) 2012
    • 発表場所
      福岡
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Flow Electrochemiluminescence of Ru(bpy)3 and Iridium Complexes as a Light Source for Flow Injection Spectrophotometric Analysis2012

    • 著者名/発表者名
      R. Ishimatsu, K. Sugimori, K. Nakano, S. Matsunami, T. Edura, T. Kasahara, J. Mizuno, C. Adachi, T. Imato
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Microchemistry and Microsystems (ISMM 2012)
    • 発表場所
      Jubei, Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low Dispersion and Low Pressure Drop Turn Structure Using Distribution Controlled Micro Pillar Array for Efficient LC Microchip2012

    • 著者名/発表者名
      K. Takatsuki, M. Noguchi, Y. Song, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, J. Mizuno, T. Funatsu, M. Tsunoda, S. Shoji
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Microchemistry and Microsystems (ISMM 2012)
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low-Temperature, Surface-Compliant Wafer Bonding using Sub-Micron Gold Particles for Wafer-Level MEMS Packaging2012

    • 著者名/発表者名
      H. Ishida, T. Ogashiwa, Y. Kanehira, S. Ito, T. Yazaki, J. Mizuno
    • 学会等名
      The 62nd Electronic Components and Technology Conference 2012
    • 発表場所
      Sandiego, California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Hybrid Au-Underfill Resin Bonding with Lock-and-Key Structure2012

    • 著者名/発表者名
      M. Nimura, A. Shigetou, K. Sakuma, H. Ogino, T. Enomoto, J. Mizuno, S. Shoji
    • 学会等名
      The 62nd Electronic Components and Technology Conference 2012
    • 発表場所
      Sandiego, California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Hybrid Solder-Adhesive Bonding Using Simple Resin Planarization Technique for 3D LSI2012

    • 著者名/発表者名
      M. Nimura, K. Sakuma, H. Ogino, T. Enomoto, A. Shigetou, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      3rd International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2012),
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low Temperature Au-Au Flip Chip Bonding with VUV/O3 Treatment for 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      A. Okada, M. Nimura, N. Unami, A. Shigetou, H. Noma, K. Sakuma, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      3rd International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2012),
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low-Temperature Wafer Bonding using Sub-Micron Gold Particles for Wafer-Level MEMS Packaging2012

    • 著者名/発表者名
      H. Ishida, T. Ogashiwa, Y. Kanehira, S. Ito, T. Yazaki, J. Mizuno
    • 学会等名
      3rd International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2012),
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Surface Modification of Poly ethylene terephthalate (PET) by VUV and VUV/O3 Treatments for Flexible Capacitive Tactile Sensors2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging and IMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2012),
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Compound Nanoimprint Lithography and its Application for Device2011

    • 著者名/発表者名
      J.Mizuno
    • 学会等名
      BIT'S 1st Annual World Congress of Nano-S&T-2011
    • 発表場所
      Dailian(招待講演)
    • 年月日
      2011-10-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Optimized Step and Repeat UV Nanoimprint Process for Large Scale Nano Pattern Fabrication2011

    • 著者名/発表者名
      K.Ishibashi, U.Shirasaka, J.Mizuno, S.Shoji
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT2011)
    • 発表場所
      Jeju
    • 年月日
      2011-10-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Compound MEMS/NEMS and Their Applications for Functional Device2011

    • 著者名/発表者名
      J.Mizuno
    • 学会等名
      CMP Seminor2011
    • 発表場所
      Taipei(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-05
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Large Area Nanoimprinting with UV Nanoimprint under Atmoshperic Pressure for Silicon and Polymer Substrate2011

    • 著者名/発表者名
      K.Ishibashi, H.Goto, S.Shoji, J.Mizuno
    • 学会等名
      4th Asian Nanoimprint Lithography Symposium (ASNIL)
    • 発表場所
      Sigapore
    • 年月日
      2011-06-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Three Dimensional Micro/Nano Structures and Its Application for Chsmistry and Biochemistry2011

    • 著者名/発表者名
      S.Shoji, D.Yoon, T.Sekiguchi, J.Mizuno, et.al.
    • 学会等名
      Joint Conference of 5th International Conference on Science and Technology for Adanced Ceramics(STAC5)
    • 発表場所
      Mielparque-Yokohama(招待講演)
    • 年月日
      2011-06-23
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Optimization of Cyclo-Olefin Polymer-Polydimethylsiloxane Direct Bonding Conditions for Biochemical Microchips2011

    • 著者名/発表者名
      A.Nakahara, H.Shinohara, T.Kasahara, S.Umeda, S.Shoji, J.Mizuno
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging : ICEP2011
    • 発表場所
      Nara
    • 年月日
      2011-04-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Surface Modification of Polyimide by 172nm Excirmer Lamp Irradiation2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kasahara, H.Shinohara, S.Shoji, J.Mizuno
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging : ICEP2011
    • 発表場所
      Nara
    • 年月日
      2011-04-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化技術を用いたマイクロ流路チップの作製2011

    • 著者名/発表者名
      水野潤
    • 学会等名
      表面技術協会第123回講演大会
    • 発表場所
      関東学院大学(招待講演)
    • 年月日
      2011-03-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 複合3D-MEMS/NEMSと応用デバイス2011

    • 著者名/発表者名
      水野潤
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学(招待講演)
    • 年月日
      2011-03-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] NEXAFS and XPS studies of VUV/03 Treated Aromatic Polyurea for High-Speed Electrophoresis Microchips2011

    • 著者名/発表者名
      Hidetoshi Shinohara
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (6th IEEE-NEMS)
    • 発表場所
      TAIPEI
    • 年月日
      2011-02-20
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of replica mold releasability due to by Anti-sticking Cure Process (ACP)2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Mizuno
    • 学会等名
      9th International Nanoimprint and Nanoprint Technology NNT2010
    • 発表場所
      COPENHAGEN
    • 年月日
      2010-10-13
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [産業財産権] マイクロ流路デバイス及びその製造方法2012

    • 発明者名
      笠原崇史、水野潤, その他4名
    • 権利者名
      学校法人早稲田大学
    • 産業財産権番号
      2012-004992
    • 出願年月日
      2012-01-13
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

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公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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