| 研究課題/領域番号 |
22604002
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 愛知教育大学 |
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研究代表者 |
岩山 勉 愛知教育大学, 教育学部, 教授 (70223435)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | イオン・レーザービーム / シリコンナノ結晶 / 光機能デバイス / 量子効果 / 量子ビーム / イオンビーム / エキシマランプ / 量子ドット / シリコン / ナノ材料 / 可視発光 / イオン注入 / 半導体ナノ結晶 / ナノ結晶 / 急速加熱 / 紫外線照射 |
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| 研究概要 |
本研究はシリコンを用いた光電子機能デバイスの実現をめざし、発光現象を中心としたシリコンナノ結晶の物性を調べることを目的とした。シリコンイオン注入のみではなく、急速加熱、エキシマUV光照射等を組み合わせた手法でプロセスの低温化、発光強度増強、発光波長制御の可能性などを探った。その結果、電気炉による高温熱処理前にこれらの処理を行うことで発光効率が向上し、プロセスの低温化も可能となることがわかった。
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