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共鳴軟X線GISAXS法実現によるナノ多層化材料の3次元機能構造の可視化

研究課題

研究課題/領域番号 22651034
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 ナノ構造科学
研究機関京都大学

研究代表者

奥田 浩司  京都大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (50214060)

研究分担者 落合 庄治郎 (落合 庄二郎)  京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30111925)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
3,580千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 480千円)
2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワード表面界面ナノ構造 / 共鳴軟X線散乱法 / GISAS / コントラスト変調 / GISAXS / GISANS / 共鳴散乱 / 軟X線共鳴散乱 / コントラスト変化 / 高分子薄膜 / ナノ粒子 / 軟X線小角散乱 / DWBA
研究概要

通常X線回折に用いられる波長より長波長である軟X線は軽元素の識別、鉄などの磁性敏感などの特性を持つため、本研究では軟X線を利用して薄膜の内部のナノ構造を評価する手法である軟X線すれすれ入射小角散乱法(GISAXS法)を実現し、元素の吸収端での異常分散効果も利用して三次元構造の評価をおこなった。薄膜の 3 次元構造の表面からの深さ依存性や薄膜と基板の異常分散効果を利用してコントラストを消す(見かけ上基板が存在しないような散乱を観察する)といった成果が得られた。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (33件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (23件) (うち招待講演 3件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] 軟X線を利用したGISAXS測定2013

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司,山本崇善,竹下浩樹,平井光博,櫻井伸一,北島義典
    • 雑誌名

      PFニュース

      巻: 30 ページ: 21-25

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] Contrast matching of an Si substrate with polymer films by anomalous 図 5 硬X線による Fe3O4 ナノ粒子分散PS膜のGISAXSパターン予備評価の結果図 6 JPARC BL17(写楽)における図5の試料のGISANSデータ。波長帯ごとの積算でqz方向については積分されている。 dispersion at the Si K absorption edge2012

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda,K.Takeshita,S.Ochiai,S.Sakurai,Y. Kitajima,H.Ogawa
    • 雑誌名

      J. Appl. Cryst

      巻: 45 ページ: 119-121

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Near-surface relaxation structure of annealed block copolymer film on Si substrates examined by grazing-incidence small-angle scattering utilizing soft X-rays2011

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, K.Takshita, S.Ochiai, S.Sakurai, Y.Kitajima
    • 雑誌名

      J.Appl.Cryst

      巻: 44 号: 2 ページ: 380-384

    • DOI

      10.1107/s0021889811003578

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Ewald sphere curvature on the GISAXS analysis of capped Germanium nanodot samples in the soft X-ray region2011

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, K.Takeshita, M.Kato, S.Ochiai and K.Kitajima
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. Mater. Sci. Eng

      巻: 24 ページ: 12015-12015

    • DOI

      10.1088/1757-899x/24/1/012015

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Near-surface relaxation structure of annealed block copolymer film on Si substrates examined by grazing-incidence small-angle scattering utilizing soft X-rays2011

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, K.Takeshita, S.Ochiai, Y.Kitajima, S.Sakurai
    • 雑誌名

      J.Appl.Crystall.

      巻: 44 ページ: 380-384

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Ewald sphere curvature on the GISAXS analysis of capped Germanium nanodot samples in the soft X-ray region2011

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, K.Takeshita, M.Kato, S.Ochiai, K.Kitajima
    • 雑誌名

      J.Phys.Conf.Ser.Mater.

      巻: (Accepted)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Agrazing-incidence small-angle scatteringon capped Ge nanodots in layerstructures2010

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, M.Kato, K.Kuno, S.Ochiai, N.Usami, K.Nakajima and O.Sakata
    • 雑誌名

      J.Phys. Condens. Matter

      巻: 22 号: 47 ページ: 474003-474003

    • DOI

      10.1088/0953-8984/22/47/474003

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A grazing-incidence small-angle scattering on capped Ge nanodots in layer structures2010

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, M.Kato, K.Kuno, S.Ochiai, N.Usami, K.Nakajima, O.Sakata
    • 雑誌名

      J.Phys.Condens.Matter

      巻: 22

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 薄膜評価のための GISAS 法の利用-X 線の現状と中性子への期待2013

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司
    • 学会等名
      CROSS研究会
    • 発表場所
      研究社本社ビル
    • 年月日
      2013-01-10
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] P 吸収端でのリン脂質膜の共鳴 GISAXS 測定2013

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、山本崇善、竹下浩樹、落合庄治郎、北島義典、小川紘樹、平井光博
    • 学会等名
      第26回日本放射光学会年会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] P吸収端でのリン脂質膜の共鳴GISAXS測定2013

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司, 山本崇善,竹下浩樹,落合庄治郎, 北島義典,小川紘樹, 平井光博
    • 学会等名
      放射光学会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 薄膜評価のためのGISAS法の利用ーX線の現状と中性子への期待2013

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司
    • 学会等名
      CROSS研究会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Si 基板上の高分子薄膜に対する コントラストマッチング GISAXS 法の試み2012

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、竹下浩樹、落合庄治郎、櫻井伸一、北島義典
    • 学会等名
      第25回日本放射光学会年会
    • 発表場所
      鳥栖市民文化会館・中央公民館
    • 年月日
      2012-01-08
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Si基板上の高分子薄膜に対するコントラストマッチングGISAXS法の試み2012

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、竹下浩樹、落合庄治郎、櫻井伸一、北島義典
    • 学会等名
      放射光学会年会
    • 発表場所
      佐賀県鳥栖市
    • 年月日
      2012-01-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Resonant GISAXS in 1.8-2.1 keV Region2012

    • 著者名/発表者名
      H. Okuda, T. Yamamoto, S. Ochiai, S. Sakurai, M. Hirai, Y. Kitajima and H. Ogawa
    • 学会等名
      GISAS2012
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 軟 X 線領域でのコントラストマッチング GISAXS 法2012

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、竹下浩樹、北島義典、櫻井伸一、小川紘樹、平井光博
    • 学会等名
      PF 研究会
    • 発表場所
      高エネルギー加速器研究機構
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 軟X線領域でのコントラストマッチングGISAXS法2012

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司, 竹下浩樹, 北島義典,櫻井伸一, 小川紘樹 ,平井光博
    • 学会等名
      PF研究会
    • 発表場所
      筑波
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 異方的Geナノドットの軟X線GI-SAS法によるEwald球の曲率の影響の検討2012

    • 著者名/発表者名
      山本崇善 奥田浩司  落合庄治郎 竹下浩樹 北島義典 小川紘樹 宇佐美徳隆
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Resonant GISAXS in 1.8-2.1 keV Region2012

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, T. Yamamoto, S.Ochiai,S. Sakurai, M. Hirai, Y. Kitajima and H. Ogawa
    • 学会等名
      GISAS2012 Kyoto
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GI-SAXS法とAFMを用いた表面観察によるSEBS薄膜の表面構造についての考察2011

    • 著者名/発表者名
      竹下浩樹、奥田浩司、落合庄治郎、櫻井伸一、北島義典
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      沖縄コンベンションセンター
    • 年月日
      2011-11-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] GISAXS with soft X-rays around 2 keV at Photon Factory2011

    • 著者名/発表者名
      H. Okuda, K. Takeshita, S. Ochiai, Y.Kitajima
    • 学会等名
      GISAS2011
    • 発表場所
      GISAS2011
    • 年月日
      2011-10-11
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] GISAXS with soft X-rays around 2 keV at Photon Factory2011

    • 著者名/発表者名
      H.Okuda, K.Takeshita, S.Ochiai, Y.Kitajima
    • 学会等名
      GISAS2011
    • 発表場所
      DESY, Hamburg
    • 年月日
      2011-10-11
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 共鳴 SWAXS法の展開と 無機材料評価への応用2011

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、竹下浩樹、落合庄治郎、北島義典、横山嘉彦、才田淳治、太田昇
    • 学会等名
      PF 研究会 SAS/XAFS
    • 発表場所
      高エネルギー加速器研究機構
    • 年月日
      2011-09-08
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 共鳴SWAXS法の展開と無機材料評価への応用2011

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、竹下浩樹、落合庄治郎、北島義典、横山嘉彦、才田淳治、太
    • 学会等名
      PF研究会SAS/XAFS
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2011-09-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 軟X線領域におけるGISAXS法2011

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、竹下浩樹、落合庄治郎、北島義典
    • 学会等名
      PF研究会GISAS法の展開
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2011-09-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 軟X線GISAS法による深さ分解構造解析の試み2011

    • 著者名/発表者名
      奥田、竹下、落合、北島
    • 学会等名
      放射光学会
    • 発表場所
      筑波
    • 年月日
      2011-01-09
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Nondestructive nanostructure analysis of block copolymer film utilizing sob X-rays2010

    • 著者名/発表者名
      竹下、奥田、落合、櫻井、北島
    • 学会等名
      MRS-J
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2010-12-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 軟X線領域でのGISAS解析における表界面効果の検討2010

    • 著者名/発表者名
      奥田、竹下、落合、北島
    • 学会等名
      日本金属学会 秋季大会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-09-25
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 軟X線GISAS法による高分子薄膜の構造評価2010

    • 著者名/発表者名
      竹下、加藤、奥田、落合、櫻井、藤原、北島
    • 学会等名
      日本金属学会 秋季大会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-09-25
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 軟X線共鳴 GISAXS 測定の現状(PF)2010

    • 著者名/発表者名
      奥田浩司、加藤真行、竹下浩樹、落合庄治郎、北島義典
    • 学会等名
      反射率研究会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2010-07-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 軟X線共鳴GISAXS測定の現状(PF)2010

    • 著者名/発表者名
      奥田、加藤、竹下、落合、北島
    • 学会等名
      反射率研究会
    • 発表場所
      名古屋(招待講演)
    • 年月日
      2010-07-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考] 奥田浩司、山本崇善、竹下浩樹、 平井光博、桜井伸一、北島義典 :軟 X 線を利用したGISAXS 測定 PF ニュース 30 (2013) 21-25

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://mcmd.mtl.kyoto-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

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