研究課題/領域番号 |
22651034
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
ナノ構造科学
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研究機関 | 京都大学 |
研究代表者 |
奥田 浩司 京都大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (50214060)
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研究分担者 |
落合 庄治郎 (落合 庄二郎) 京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30111925)
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研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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配分額 *注記 |
3,580千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 480千円)
2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
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キーワード | 表面界面ナノ構造 / 共鳴軟X線散乱法 / GISAS / コントラスト変調 / GISAXS / GISANS / 共鳴散乱 / 軟X線共鳴散乱 / コントラスト変化 / 高分子薄膜 / ナノ粒子 / 軟X線小角散乱 / DWBA |
研究概要 |
通常X線回折に用いられる波長より長波長である軟X線は軽元素の識別、鉄などの磁性敏感などの特性を持つため、本研究では軟X線を利用して薄膜の内部のナノ構造を評価する手法である軟X線すれすれ入射小角散乱法(GISAXS法)を実現し、元素の吸収端での異常分散効果も利用して三次元構造の評価をおこなった。薄膜の 3 次元構造の表面からの深さ依存性や薄膜と基板の異常分散効果を利用してコントラストを消す(見かけ上基板が存在しないような散乱を観察する)といった成果が得られた。
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