研究課題/領域番号 |
22655019
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
分析化学
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研究機関 | 千葉大学 |
研究代表者 |
藤浪 眞紀 千葉大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50311436)
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連携研究者 |
鈴木 良一 産業技術総合研究所, 計測フロンティア研究部門, 副部門長 (80357300)
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研究期間 (年度) |
2010 – 2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
3,370千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
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キーワード | 陽電子 / マイクロビーム / 表面分析 / 化学組成分析 / 表面構造解析 / 電子分光 / 新表面分析 |
研究概要 |
電子の反粒子である陽電子を用いた新表面分析法の一つとしてマイクロ陽電子励起オージェ電子分光法を開発することを目的とした。その陽電子マイクロビーム発生を開発し,セミインレンズ方式の対物レンズによってμmオーダーまでの集束系の開発を行い,オージェ電子を分光・検出する計測系を製作してそのための光学系を新規に構築した。応用として鉄-銅合金の不純物欠陥分析を行った。
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