複合顕微鏡による高温下でのナノ接点・接合形成のその場観察・解析

• 研究課題/領域番号: 22656012
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 北陸先端科学技術大学院大学
• 研究代表者: 富取 正彦 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (10188790)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 3,770千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 570千円); 2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
• キーワード: ナノコンタクト / 表面・界面物性 / 走査プローブ顕微鏡 / 走査電子顕微鏡 / 物性実験

研究概要

本研究では、2物体の間隔を制御できる走査型プローブ顕微鏡(SPM)を利用し、2つの微小物体を高温状態で接近・接触・溶融合・分離させ、その過程で構築されるナノ接点・接合を観察・解析することを目的とした。超高分解能電界放射走査型電子顕微鏡(SEM)と組み合わせたペンシル型SPM を用い、温度1000℃以上の加熱、接近・接触・溶融合を実現した。この成果は、ナノデバイスの電気的ナノ接点の構築に貢献する。

研究成果

• [雑誌論文] Akira Sasahara and Masahiko Tomitori (2012)
  • 著者名/発表者名: Yonkil Jeong, Masato Hirade, Ryohei Kokawa, Hirofumi Yamada, Kei Kobayashi, Noriaki Oyabu, Toyoko Arai
  • 雑誌名: Local interaction imaging by SiGe quantum dot probe, Current Appl 巻: 12 ページ: 581-584
  • 査読あり
• [雑誌論文] SPM のフロンティア ～多様な材料系の研究ニーズに対応するSPM物性計測の最先端～ (2012)
  • 著者名/発表者名: 富取 正彦
  • 雑誌名: ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発、顕微鏡 巻: 47 (1) ページ: 3-7
• [雑誌論文] Local interaction imaging by SiGe quantum dot probe (2012)
  • 著者名/発表者名: Yonkil Jeong
  • 雑誌名: Current Applied Physics 巻: 12 号: 2 ページ: 581-584
  • DOI: 10.1016/j.cap.2011.09.005
  • 査読あり
• [雑誌論文] ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 富取正彦
  • 雑誌名: 顕微鏡 巻: 47 ページ: 3-7
  • NAID: 10030552124
• [雑誌論文] ナノ評価のための走査型プローブ顕微鏡法の概説と最近の話題 (2010)
  • 著者名/発表者名: 富取 正彦
  • 雑誌名: 色材協会誌 巻: 83 (5) ページ: 233-239
  • NAID: 10026218822
• [学会発表] チャージアンプを用いたNC-AFM による探針試料間相互作用の検出 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野上 真、新井 豊子、笹原 亮、富取 正彦
  • 学会等名: 第60回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学、厚木市、神奈川県
• [学会発表] チャージアンプを用いたNC-AFMによる探針試料間相互作用の検出 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野上真
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春期学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学、厚木市
• [学会発表] 自励発振式水晶振動子センサーを用いた超高真空FM-AFM の開発II (2012)
  • 著者名/発表者名: 作石 達哉、野上 真、大江 弘晃、富取 正彦、笹原 亮
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学、東京都
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] 目励発振式水晶振動子センサーを用いた超高真空FM-AFMの開発II (2012)
  • 著者名/発表者名: 作石達哉
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学(東京都)
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] Improvement of the Q factor of a tuning fork quartz force sensor with modified holding ways for nc-AFM/STM (2012)
  • 著者名/発表者名: Toyoko Arai, Hiroaki Ooe, Tatsuya Sakuishi, Masahiko Tomitori
  • 学会等名: the 15th International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy
  • 発表場所: Cesky Krumlov, Czech Republic
• [学会発表] Improvement of the Q factor of a tuning fork quartz force sensor with modified holding ways for nc-AFM/STM (2012)
  • 著者名/発表者名: Toyoko Arai
  • 学会等名: the 15th International Conference on non-contact atomic force microscopy
  • 発表場所: Cesky Krumlov, Czech Republic
• [学会発表] 水晶振動子q-Plus センサーを利用したSTM/nc-AFM の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 作石 達哉、大江 弘晃、富取 正彦、新井 豊子
  • 学会等名: 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
  • 発表場所: 金沢歌劇座、金沢市、石川県
  • 年月日: 2011-11-18
• [学会発表] 水晶振動予q-Plusセンサーを利川したSTM/nc-AFMの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 作石達哉
  • 学会等名: 応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
  • 発表場所: 金沢歌劇座(石川県)
  • 年月日: 2011-11-18
• [学会発表] Development of nc-AFM/STM using a tuning fork quartz force sensor (2011)
  • 著者名/発表者名: Toyoko Arai, Tatsuya Sakuishi, Hiroaki Ooe, Masahiko Tomitori
  • 学会等名: the International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy
  • 発表場所: Lindau, Germany
  • 年月日: 2011-09-20
• [学会発表] Development of nc-AFM/STM using a tuning fork quartz force sensor (2011)
  • 著者名/発表者名: Toyoko Arai
  • 学会等名: 14th International Conferencence on Noncontact Atomic Force Microscopy
  • 発表場所: Lindau, Germany
  • 年月日: 2011-09-20
• [学会発表] 水晶振動子力センサー・静電容量補償回路を用いたSTM/nc-AFM (2011)
  • 著者名/発表者名: 作石 達哉、大江 弘晃、富取 正彦、新井 豊子
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学、山形市、山形県
  • 年月日: 2011-08-31
• [学会発表] 水晶振動子カセンサー・静電容量補償回路を用いたSTM/nc-AFM (2011)
  • 著者名/発表者名: 作石達哉
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学(山形県)
  • 年月日: 2011-08-31
• [学会発表] Nano imaging and characterization using scanning probe microscopy (Invited) (2010)
  • 著者名/発表者名: Masahiko Tomitori
  • 学会等名: International Interdisciplinary Science Conference 2010 on Nanobiotechnology: An Interface between Physics and Biology
  • 発表場所: Jamia Millia Islamia, New Delhi, India
  • 年月日: 2010-12-03
• [学会発表] Nano imaging and characterization using scanning probe microscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: Masahiko Tomitori
  • 学会等名: International Interdisciplinary Science Conference-2010 on Nanobiotechnology : An Interface between Physics and Biology (Invited)
  • 発表場所: Jamia Millia Islamia, New Delhi, India6
  • 年月日: 2010-12-03
• [備考]
  • URL: http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/kkk/Tlab/Tlab_home-j.html
• [備考]
  • URL: http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/kkk/Tlab/Tlab_home-j.html
• [備考]
  • URL: http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/kkk/Tlab/Tlab_home-j.htm