| 研究課題/領域番号 |
22656023
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
関岡 嗣久 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40118013)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,550千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 450千円)
2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2010年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
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| キーワード | 高性能レーザー / 放射線,X線,粒子線 / 半導体物性 / 放射線,Ｘ線,粒子線 |
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| 研究概要 |
極浅接合形成への応用のため、固体ボロンターゲットにレーザーを照射し、発生したプラズマから放出される高速 B イオンの特性を調べた。発生した B イオンのピークエネルギーは、レーザーの強度を変えることにより、 150 から 550eV の範囲でコントロールできる。B イオンの価数ごとのエネルギー分布の測定結果より、レーザー強度が 3.0×1010W/cm2以下の場合、ピークエネルギー近傍の B イオンのほとんどは1価であり、出射角度が、レーザーの入射方向から 45°以内では、ピークエネルギー近傍のイオンの強度は、2×1012ions/(eV・Sr) 以上であった。これらの結果はレーザープラズマからの B+イオンが 10nm 以下の極浅ドーピングに応用可能であることを示している。
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