| 研究課題/領域番号 |
22656084
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
横山 新 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 教授 (80144880)
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| 連携研究者 |
雨宮 嘉照 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任助教 (20448260)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,580千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 480千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
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| キーワード | フォトニック結晶 / 磁気光学効果 / ガドリニウムガリウムガーネット / シリコンリング光共振器 / 電子ビームリソグラフィー / シリコンリング共振器 / 光共振器 / 光スイッチ / 磁気光学材料 / 電子ビーム露光 / SOIウェハ / ばらつき / デバイス設計 / デバイス試作 |
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| 研究概要 |
まずシリコン(Si)基板を用いてフォトニック結晶光共振器を作製する技術を開発し、共振波長 1502.9nm、Q 値 75000 を得た。次に磁気光学材料であるガドリニウムガリウムガーネット(Gd_3G_a5O_12:GGG)基板を Si 基板に埋め込みフォトニック結晶を作製する技術を開発した。磁気光学効果による光スイッチについては、Si リング光共振器に GGG 粉末を吸着させ、磁場印加による共振波長のシフトを観測した。
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