| 研究課題/領域番号 |
22656164
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
田中 繁一 静岡大学, 工学部, 教授 (60197423)
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| 研究分担者 |
中村 保 静岡大学, 工学部, 教授 (70023322)
早川 邦夫 静岡大学, 工学部, 准教授 (80283399)
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| 連携研究者 |
中村 英雄 東京医科歯科大学, 大学院・医歯学総合研究科, 助教 (60172425)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
3,410千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 210千円)
2011年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2010年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
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| キーワード | エアロゾルデポジション / CVD / マイクロマニュファクチャリング / 超微粒子 / レーザ焼結 |
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| 研究概要 |
本研究では, Heガス中でエアロゾル化した金属あるいはセラミック超微粒子を加速・集束し,それをレーザで選択的に堆積・焼結してマイクロ構造物を作成する技術およびレーザCVDによるセラミック微粒子の生成プロセスに関する基礎的検討を行った.最初に、超微粒子流-レーザ光同軸ノズルを用いたマイクロレーザ逐次焼結プロセスにより直径が数10μmで高さが数mmの高アスペクト比堆積物を製作できることを示した.さらに,レーザCVDプロセスにより,気化させた金属アルコキシドガスへの炭酸ガスレーザ照射により酸化チタン球状微粒子を生成できることを確認した.
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