• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

酸化ホウ素で覆われた融液からのゲルマニウム結晶成長における酸素の輸送機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 22686002
研究種目

若手研究(A)

配分区分補助金
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関信州大学

研究代表者

太子 敏則  信州大学, 工学部, 准教授 (90397307)

連携研究者 米永 一郎  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (20134041)
干川 圭吾  信州大学, 工学部, 客員教授 (10231573)
研究期間 (年度) 2010 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
26,390千円 (直接経費: 20,300千円、間接経費: 6,090千円)
2012年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2011年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2010年度: 20,800千円 (直接経費: 16,000千円、間接経費: 4,800千円)
キーワード結晶成長 / 結晶評価 / ゲルマニウム / 酸素 / 輸送機構 / 低転位密度 / 引き上げ法 / 高強度 / 酸化ホウ素
研究概要

無転位(高品質)かつ高酸素濃度(高強度)を実現できる酸化ホウ素(B_2O_3)で覆われたゲルマニウム(Ge)融液からの Ge 単結晶成長における、酸素の輸送(溶解、蒸発、偏析)現象を解明するとともに、(5)酸素含有 Ge 結晶の強度評価と転位運動についても解明することを目的とする。B_2O_3 で全面を覆った融液から直径 1 インチ Ge 結晶育成を行い、最大酸素濃度6x1017cm-3の高酸素濃度 Ge 単結晶を得た。このとき、融液表面を覆っている B_2O_3 が GeO_2 を分解するものの、結晶中への混入には関与しないことを実証した。結晶育成中の反応による酸素の溶解、蒸発、偏析などの輸送メカニズムを解明できた。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (15件) (うち査読あり 10件) 学会発表 (25件) (うち招待講演 1件) 図書 (2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Interstitial oxygen behavior for thermal double donor formation in germanium: Infrared absorption studies2013

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, T. Taishi, Y. Tokumoto, Y. Murao, K.Kutsukake, Y. Ohno, M. Suezawa, I.Yonenaga
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 113 号: 7

    • DOI

      10.1063/1.4792061

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characteristics of germanium crystals doped with boron-related compounds2012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Murao, I. Yonenaga, K. Hoshikawa
    • 雑誌名

      The 6th International Symposium on Advanced Science and Technology of Sillicon Materials

      ページ: 71-74

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Oxygen in Ge crystals grown by the B_2O_3 encapsulated Czochralski method2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yonenaga, T. Taishi, H. Ise, Y. Murao, K. Inoue, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, Y. Hashimoto
    • 雑誌名

      Physica B

      巻: 407 号: 15 ページ: 2932-2934

    • DOI

      10.1016/j.physb.2011.08.038

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Czochralski growth techniques of germanium crystals grown from a melt covered partially or fully by liquid B_2O_32012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T.Ohsawa, I. Yonenaga
    • 雑誌名

      J. Cryst. Growth

      巻: 360 ページ: 47-51

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2011.11.051

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 液状酸化ホウ素(B_2O_3)を用いた無転位・酸素添加ゲルマニウム結晶の育成2011

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 米永一郎
    • 雑誌名

      まてりあ

      巻: 50 ページ: 431-438

    • NAID

      10029693244

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impurity effects on the generation and velocity of dislocations in Ge2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Murao, T. Taishi, Y. Tokumoto, Y. Ohno , I. Yonenaga
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys

      巻: 109 号: 11

    • DOI

      10.1063/1.3592226

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Behavior of oxygen-related thermal donors in Ge crystals Czochralski-grown from the melt covered fully by B_2O_32011

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser

      巻: 281 ページ: 012011-012011

    • DOI

      10.1088/1742-6596/281/1/012011

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oxygen doped Ge crystals Czochralski-grown from the B_2O_3-fully -covered melt2011

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga
    • 雑誌名

      Miroelectro. Eng

      巻: 88 号: 4 ページ: 496-498

    • DOI

      10.1016/j.mee.2010.10.015

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oxygen doped Ge crystals Czochralski-grown from the B_2O_3-fully-covered melt2011

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, H.Ise, Y Murao, T.Ohsawa, Y Tokumoto, Y.Ohno, I.Yonenaga
    • 雑誌名

      Miroelectro.Eng.

      巻: 88 ページ: 496-498

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluations of oxygen impurities in Ge crystals Czochralski-grown from melts partially or fully covered by B_2O_3 liquid, Proc2010

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga
    • 雑誌名

      The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials

      ページ: 28-33

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Czochralski growth of Ge crystal from the melt partially covered by B_2O_3 liquid for reduction of dislocation density2010

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga
    • 雑誌名

      Proc. The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials

      ページ: 426-432

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Czochralski -growth of germanium crystals containing high concen-trations of oxygen impurities2010

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, M. Suezawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, K. Hoshikawa, I. Yonenaga
    • 雑誌名

      J. Cryst. Growth

      巻: 312 号: 19 ページ: 2783-2787

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2010.05.045

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Czochralski-growth of germanium crystals containing high concen-trations of oxygen impurities2010

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, H.Ise, Y.Murao, T.Ohsawa, M.Suezawa, Y.Tokumoto, Y.Ohno, K.Hoshikawa, I.Yonenaga
    • 雑誌名

      J.Cryst.Growth

      巻: 312 ページ: 2783-2787

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluations of oxygen impurities in Ge crystals Czochralski-grown from melts partially or fully covered by B_2O_3 liquid2010

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, Y.Hashimoto, H.Ise, Y Murao, T.Ohsawa, Y.Tokumoto, Y.Ohno, I.Yonenaga
    • 雑誌名

      Proc.The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010

      ページ: 28-33

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [雑誌論文] Czochralski growth of Ge crystal from the melt partially covered by B_2O_3 liquid for reduction of dislocation density2010

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, Y.Hashimoto, H.Ise, Y.Murao, T.Ohsawa, Y.Tokumoto, Y.Ohno, I.Yonenaga
    • 雑誌名

      Proc.The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010

      ページ: 426-432

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] B_2O_3で覆われた融液からのCZ-Ge結晶育成における酸素の偏析2013

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 米永一郎, 干川圭吾
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 年月日
      2013-03-30
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] B2O3で覆われた融液からのCZ-Ge結晶育成における酸素の偏析2013

    • 著者名/発表者名
      太子敏則,米永一郎,干川圭吾
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Growth and characterization of germanium crystals from B_2O_3-coverd melt2012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi
    • 学会等名
      2012 3CG Collaborative Conference on Crystal Growth
    • 発表場所
      Orlando, USA.(invited)
    • 年月日
      2012-12-10
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Characteristics of germanium crystals doped with boron-related compounds2012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Murao, I. Yonenaga, K. Hoshikawa
    • 学会等名
      The 6th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
    • 発表場所
      Cona, Hawaii
    • 年月日
      2012-11-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 液状B_2O_3で覆った融液から育成したCZ-Ge結晶中の欠陥評価2012

    • 著者名/発表者名
      太子敏則
    • 学会等名
      第22回格子欠陥フォーラム・励起ナノプロセス研究会・理研シンポジウム合同シンポジウム「材料科学のための欠陥制御・評価」
    • 発表場所
      三浦
    • 年月日
      2012-09-22
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] B_2O_3で覆われた融液からのCZ- Ge結晶育成におけるB、 Si、 Oの反応2012

    • 著者名/発表者名
      太子敏則,米永一郎,干川圭吾
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山
    • 年月日
      2012-09-14
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] B2O3で覆われた融液からのCZ-Ge結晶育成におけるB、Si、Oの反応2012

    • 著者名/発表者名
      太子敏則,米永一郎,干川圭吾
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 液状B2O3で覆った融液から育成したCZ-Ge結晶中の欠陥評価2012

    • 著者名/発表者名
      太子敏則
    • 学会等名
      第22回格子欠陥フォーラム・励起ナノプロセス研究会・理研シンポジウム合同シンポジウム「材料科学のための欠陥制御・評価」
    • 発表場所
      三浦
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Characteristics of germanium crystals doped with boron-related compounds2012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Murao, I. Yonenaga, K. Hoshikawa
    • 学会等名
      The 6th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
    • 発表場所
      コナ・ハワイ
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Growth and characterization of germanium crystals from B2O3-coverd melt2012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi
    • 学会等名
      2012 3CG Collaborative Conference on Crystal Growth
    • 発表場所
      オーランド・米国
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] B_2O_3 で覆われた融液から成長したCZ-Ge 結晶中の酸素ドナーの挙動2011

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 橋本佳男, 伊勢秀彰, 大澤隆亨,米永一郎
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] B_2O_3で覆われた融液から成長したCZ-Ge結晶中の酸素ドナーの挙動2011

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 橋本佳男, 伊勢秀彰, 大澤隆亨, 米永一郎
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] CZ-Ge結晶成長における酸素添加と酸素ドナー挙動2011

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 橋本佳男, 伊勢秀彰, 大澤隆亨, 村尾優, 米永一郎
    • 学会等名
      第41回結晶成長国内会議
    • 発表場所
      つくば
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] Growth of dislocation-free Ga-doped Ge crystals using boron oxide for solar cells2011

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, Y. Murao, T. Ohsawa, I. Yonenaga
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructure
    • 発表場所
      Leuven, Belgium
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] New Czochralski growth techniques of germaniumcrystals from the melt covered by B_2O_3 liquid2011

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, I. Yonenaga
    • 学会等名
      The 5th International Workshop on Crystal Growth and Technology
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] New Czochralski growth techniques of germanium crystals from the melt covered by B_2O_3 liquid2011

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, Y.Hashimoto, H.Ise, Y.Murao, T.Ohsawa, I.Yonenaga
    • 学会等名
      The 5th International Workshop on Crystal Growth and Technology
    • 発表場所
      ベルリン(ドイツ)
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Growth of dislocation-free Ga-doped Ge crystals using boron oxide for solar cells2011

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, Y.Hashimoto, Y.Murao, T.Ohsawa, I.Yonenaga
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructure
    • 発表場所
      ルーヴェン(ベルギー)
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of oxygen-related defects in Ge crystals grown from the melt covered by B_2O_32010

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga
    • 学会等名
      The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010
    • 発表場所
      Okayama
    • 年月日
      2010-11-15
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Czochralski germanium crystal growth with low dislocation density and oxygen impurities2010

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi
    • 学会等名
      The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010
    • 発表場所
      Okayama. (invited)
    • 年月日
      2010-11-15
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Czochralski germanium crystal growth with low dislocation density and oxygen impurities2010

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi
    • 学会等名
      The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010
    • 発表場所
      岡山
    • 年月日
      2010-11-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of oxygen-related defects in Ge crystals grown from the melt covered by B_2O_32010

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, Y.Hashimoto, H.Ise, Y.Murao, T.Ohsawa, Y.Tokumoto, Y.Ohno, I.Yonenaga
    • 学会等名
      The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2010
    • 発表場所
      岡山
    • 年月日
      2010-11-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] B_2O_3で覆われた融液から成長したCZ-Ge結晶中の酸素の特徴2010

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 橋本佳男, 伊勢秀彰, 大澤隆亨, 米永一郎
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] B_2O_3 で覆われた融液から成長したCZ-Ge 結晶中の酸素の特徴2010

    • 著者名/発表者名
      太子敏則, 橋本佳男, 伊勢秀彰, 大澤隆亨, 米永一郎
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎
    • 年月日
      2010-09-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Dislocation density and oxygen concentration in Czochralski germanium crystals grown using boron oxide2010

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, Y. Hashimoto, H. Ise, Y. Murao, T. Ohsawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Crystal Growth
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2010-08-09
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Dislocation density and oxygen concentration in Czochralski germanium crystals grown using boron oxide2010

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, Y.Hashimoto, H.Ise, Y.Murao, T.Ohsawa, Y.Tokumoto, Y.Ohno, I.Yonenaga
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Crystal Growth
    • 発表場所
      北京
    • 年月日
      2010-08-09
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [図書] Germanium: Properties, Production and Applications2012

    • 著者名/発表者名
      T. Taishi, I. Yonenaga
    • 総ページ数
      17
    • 出版者
      Growth of Ge crystals with extremely low dislocation density
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [図書] Germanium : Properties, Production and Applications2012

    • 著者名/発表者名
      T.Taishi, I.Yonenaga
    • 出版者
      Nova Science Publishers, Inc.(in press)
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考] 信州大学工学部干川・太子研究室ホームページの一部で紹介

    • URL

      http://www.shinshu-u.ac.jp/faculty/engineering/chair/hoshikawa-taishi/

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2010-08-23   更新日: 2019-07-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi