研究課題/領域番号 |
22686002
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研究種目 |
若手研究(A)
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
応用物性・結晶工学
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研究機関 | 信州大学 |
研究代表者 |
太子 敏則 信州大学, 工学部, 准教授 (90397307)
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連携研究者 |
米永 一郎 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (20134041)
干川 圭吾 信州大学, 工学部, 客員教授 (10231573)
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研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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配分額 *注記 |
26,390千円 (直接経費: 20,300千円、間接経費: 6,090千円)
2012年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2011年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2010年度: 20,800千円 (直接経費: 16,000千円、間接経費: 4,800千円)
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キーワード | 結晶成長 / 結晶評価 / ゲルマニウム / 酸素 / 輸送機構 / 低転位密度 / 引き上げ法 / 高強度 / 酸化ホウ素 |
研究概要 |
無転位(高品質)かつ高酸素濃度(高強度)を実現できる酸化ホウ素(B_2O_3)で覆われたゲルマニウム(Ge)融液からの Ge 単結晶成長における、酸素の輸送(溶解、蒸発、偏析)現象を解明するとともに、(5)酸素含有 Ge 結晶の強度評価と転位運動についても解明することを目的とする。B_2O_3 で全面を覆った融液から直径 1 インチ Ge 結晶育成を行い、最大酸素濃度6x1017cm-3の高酸素濃度 Ge 単結晶を得た。このとき、融液表面を覆っている B_2O_3 が GeO_2 を分解するものの、結晶中への混入には関与しないことを実証した。結晶育成中の反応による酸素の溶解、蒸発、偏析などの輸送メカニズムを解明できた。
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