| 配分額 *注記 |
25,480千円 (直接経費: 19,600千円、間接経費: 5,880千円)
2011年度: 13,130千円 (直接経費: 10,100千円、間接経費: 3,030千円)
2010年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
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| 研究概要 |
本研究では,超精密2自由度回転テーブルシステムの実現を目的として,その重要な要素技術について提案および評価を行っている.具体的には,高トルク,高応答,低発熱を満足するハイブリッド駆動機構,無限回転可能かつトルクリップルフリーのモータ,高剛性かつ高減衰性を実現する油静圧軸受の提案と評価を行い,これまで実現が困難であった超精密2自由度テーブルシステムに要求される基本特性を満たす各要素を実現した.
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