In-situ軟X線集光ミラー形状修正システムの構築

• 研究課題/領域番号: 22686017
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 三村 秀和 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30362651)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 26,130千円 (直接経費: 20,100千円、間接経費: 6,030千円); 2012年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円); 2011年度: 8,190千円 (直接経費: 6,300千円、間接経費: 1,890千円); 2010年度: 14,560千円 (直接経費: 11,200千円、間接経費: 3,360千円)
• キーワード: X 線ミラー / 軟 X 線 / 超精密加工 / 計測 / X線ミラー / 軟X線 / ナノ精度 / 形状修正 / 成膜

研究概要

本研究では、将来の軟X線集光ビームの実現に向け、最も有望である回転楕円ミラーの作製に関する研究を実施した。形状設計および理論予測シミュレータ、マンドレル加工プロセス、位相回復による形状計測法、電鋳法による形状転写法を確立した。最終的に、それらのプロセスを統合させ、高精度な回転楕円ミラーを作製することに成功した。

研究成果

• [雑誌論文] Effect of Focusing Flow of Machining Properties in Elastic Emission Machining (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Takei
  • 雑誌名: Nanoscale Research Letters
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Saito
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 8501
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Focusing flow on Stationary Spot Machining Properties in Elastic Emission Machining
  • 著者名/発表者名: Y. Takei, H. Mimura
  • 雑誌名: Nanoscale Research Letters 巻: (to be published)
• [雑誌論文] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval
  • 著者名/発表者名: T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura
  • 雑誌名: Proc. SPIE 巻: 8501 ページ: 850103-850103
• [学会発表] 回転楕円ミラーを用いたX線集光システムの光学設 計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 4. 本山央人、斎藤貴宏、三村秀和
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、名古屋市
  • 年月日: 2013-01-12
• [学会発表] 回転楕円 X線集光ミラー用高精度マンドレル作製プロセスの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲、久米健大、三村秀和
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、名古屋市
• [学会発表] 高精度電鋳法による回転楕円X線集光ミラーの作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 久米健大、武井良憲、三村秀和
  • 学会等名: 第2回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、名古屋市
• [学会発表] 回転楕円 線集光ミラーの形状計測法の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、名古屋市
• [学会発表] 回転体X線ミラーのための高精度電鋳プロセスの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 久米健大、武井良憲、三村秀和
  • 学会等名: 2013年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
  • 学会等名: 2013年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 本山央人、斎藤貴宏、 三 村秀和
  • 学会等名: 2013年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京 工業大学
• [学会発表] 回転楕円ミラーを用いたX線集光システムの光学設計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 本山央人
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、愛知県
• [学会発表] 回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 斎藤貴宏
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、愛知県
• [学会発表] 高精度電鋳法による回転楕円X線集光ミラーの作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 久米健大
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、愛知県
• [学会発表] 回転楕円X線集光ミラー用高精度マンドレル作製プロセスの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲
  • 学会等名: 第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学、愛知県
• [学会発表] 大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 本山央人
  • 学会等名: 2013年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学、東京都
• [学会発表] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 斎藤貴宏
  • 学会等名: 2013年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学、東京都
• [学会発表] 回転体X線ミラーのための高精度電鋳プロセスの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 久米健大
  • 学会等名: 2013年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学、東京都
• [学会発表] Feasibility study for measuring figure error profile of ellipsoidal mirror using phase retrieval with ptychography (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Saito, H. Mimura
  • 学会等名: 5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka, Japan
  • 年月日: 2012-10-22
• [学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築と X 線ミラーへの展開 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 第63回ELID研削研究会
  • 年月日: 2012-07-27
• [学会発表] スティッチング干渉計および位相回復法によるX線集光ミラーの超精密形状計測 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: オプトメカトロニクス協会、光部品生産技術部会
  • 年月日: 2012-05-28
• [学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築と次世代X線ミラーの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 静岡大学「第27回GRL浜松セミナ-」
  • 発表場所: 静岡大学、浜松市
  • 年月日: 2012-05-14
• [学会発表] 超高精度 X 線ミラーの開発と硬 X 線ナノビーム形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 財団法人光産業技術振興協会平成 23 年度多元技術融合光プロセス研究会第5回研究プログラム「最先端計測・モニタリング技術の現状と将来展望」、産業技術総合研究所
  • 発表場所: 臨海副都心センター別館
  • 年月日: 2012-02-16
• [学会発表] Control of Shape of Stationary Spot Profile in Nozzle-type Elastic Emission Machining (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Takei, H. Mimura
  • 学会等名: 5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology
  • 発表場所: Osaka, Japan
• [学会発表] Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Saito, Y. Takei, H. Mimura
  • 学会等名: 2012 Optics + Photonics
  • 発表場所: San Diego, USA
• [学会発表] Improvement of Spatial Resolution of Figuring in Elastic Emission Machining (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Takei, H. Mimura
  • 学会等名: nanoMan2012 (The International State-of-the-art in nano Manufacturing)
  • 発表場所: Wako, Japan
• [学会発表] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測 -光 学設計と理論的検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 齋藤貴宏、 三村 秀和
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
• [学会発表] ノズル型EEM(Elastic Emission Machining) における加工特性の向上 (2012)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲 、三村秀和
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季学術講演会
  • 発表場所: 首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
• [学会発表] 回転体型軟X線集光用高精度マンドレルの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲、斎藤貴宏、大森整、三村秀和
  • 学会等名: 第5回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
  • 発表場所: 鳥栖市民文化会館、鳥栖市
• [学会発表] 回転楕円体型軟 X 線ミラーの光学設計と形状計測法の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 斎藤貴宏、武井良憲、J. R. Fienup, 三村 秀和
  • 学会等名: 第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
  • 発表場所: 鳥栖市民文化会館、鳥栖市
• [学会発表] ノズル型EEM（Elastic Emission Machining)における100um微小スポット加工の加工特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲
  • 学会等名: 2012年精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 九州工業大学、佐賀県
• [学会発表] 回転楕円軟X線集光ミラーにおける形状誤差とアライメント誤差の集光特性への影響 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本山央人
  • 学会等名: 2012年精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 九州工業大学、佐賀県
• [学会発表] 常温・低電流電鋳法によるナノ精度表面転写プロセスの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久米健大
  • 学会等名: 2012年精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 九州工業大学、佐賀県
• [学会発表] 位相回復法による回転体型軟Ｘ線集光ミラーの形状計測 -光学設計と理論的検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 齋藤貴宏
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京南大沢キャンパス，東京都
• [学会発表] ノズル型EEM(Elastic Emission Machining)における加工特性の向上 (2012)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京南大沢キャンパス，東京都
• [学会発表] 回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 斎藤貴宏
  • 学会等名: 第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
  • 発表場所: 鳥栖市民文化会館・中央公民館、佐賀県
• [学会発表] 回転体型軟X線集光用高精度マンドレルの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲
  • 学会等名: 第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
  • 発表場所: 鳥栖市民文化会館・中央公民館、佐賀県
• [学会発表] Micro- and Nano- Focusing System for Japanese XFEL (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Mimura
  • 学会等名: SPIE Optics and Photonics Annual Conference 2011
  • 発表場所: サンディエゴ、アメリカ
  • 招待講演
• [学会発表] Development of Focusing System for X-ray Free Electron Laser (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Mimura
  • 学会等名: ASPEN2011
  • 発表場所: 香港、中国
• [学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築と次世代X線ミラーの開発
  • 著者名/発表者名: 三村 秀和
  • 学会等名: 第27回GRL浜松セミナ－
  • 発表場所: 静岡大学、静岡県
  • 招待講演
• [学会発表] スティッチング干渉計および位相回復法によるX線集光ミラーの超精密形状計測
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: オプトメカトロニクス協会、光部品生産技術部会
  • 発表場所: 機械振興会館、東京都
  • 招待講演
• [学会発表] ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線ミラーへの展開
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 第63回ELID研究会
  • 発表場所: 理化学研究所基幹研究所、埼玉県
  • 招待講演
• [学会発表] 超高精度X線ミラーの開発と硬X線ナノビーム形成
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 平成23年度多元技術融合光プロセス研究会
  • 発表場所: 臨界副都心センター，東京都
  • 招待講演
• [備考]
  • URL: http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html
• [備考] Mimura G ホームページ
  • URL: http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html
• [備考] Mimura Gr ホームページ
  • URL: http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html
• [備考]
  • URL: http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MirauraGr.html