研究概要 |
本研究ではパルスレーザー堆積法を用いて作製した垂直磁気異方性を有するCoFe_2O_4薄膜によるトンネル型スピンフィルター効果の実現を目指した.トンネル型スピンフィルター効果に用いるにはドロップレットが少ない平坦な強磁性絶縁体薄膜の作製法の確立が重要である.本研究ではシャドウマスクを用いることで基板上への大きな粒子の付着を低減させることに成功した.シャドウマスクを用いてMgO(001)基板上に製膜した垂直磁気異方性を有するCoFe_2O_4薄膜の作製条件の探索を行った.最適条件でFePd/MgO/CoFe_2O_4を基本構造とする磁気トンネル接合素子を作製し,磁気抵抗測定を行ったところ,300Kで0.7%,5Kで165%の磁気抵抗比が得られ,室温におけるトンネル型スピンフィルター効果を示唆する結果が得られた.
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