| 研究課題/領域番号 |
22760071
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 独立行政法人産業技術総合研究所 (2011)
東北大学 (2010) |
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研究代表者 |
李 志遠 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測フロンティア研究部門, 研究員 (70509710)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 形状変形計測 / 時空間位相シフト法 / 位相解析 / 格子投影法 / FLCOS素子 / 時空位相シフト法 / 高次元輝度情報 / ダウンサンプリング / 位相解析技術 / モアレ縞画像 / 半導体パッケージ / 反り分布計測 / 高次元情報 / 離散フーリエ変換 / サンプリングモアレ法 |
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| 研究概要 |
時間軸と空間軸に存在する高次元の輝度情報を活用した高精度な位相解析手法である時空間位相シフト法を開発した。本手法は従来の位相シフト法に比べてカメラのランダムノイズや計測システムの振動による誤差を大幅に低減することができる。シミュレーションおよび形状変位計測実験で本手法の有効性を確認した。段差試験片と半導体パッケージを測定した結果、ミクロンオーダーの精度でミリスケールの物体の形状変形を計測することができた。
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