| 研究概要 |
本研究の目的は,高機能薄膜アクチュエータ開発を見据えた,低環境負荷型機能性薄膜の創生および中性子線を用いた材料特性評価技術の確立である.初めに,既製品では高価である薄膜創生装置の設計・試作を行った.最低限の機能と拡張性を有し,縦・横が600mm,高さ800mmの小型可搬型PLD装置の作製に成功した.自作装置による膜作成材料として,応答性の良い圧電セラミックスと大変形の発生が期待できる形状記憶合金の組合せを検討した.その結果,形状記憶合金の組成制御には基盤とターゲットとの距離や製膜時間が影響することを見出した.
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