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マイクロ部品におけるゼロアッベ誤差の高精度3次元形状評価方法に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 22760091
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

嚴 祥仁  東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (20551576)

研究期間 (年度) 2010 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワード精密位置決め / 加工計測 / 座標測定器 / 光ピンセット
研究概要

本研究では光ファイバを用いてトラッピングしたマイクロ球をプローブとして利用するナノCMMを提案している.光ファイバトラッピングプローブでは光ファイバの先端から出射する光がプローブとして利用するマイクロ球をとラッピングする.また,光ファイバ先端から再入射する光の光量変化がプローブ接触信号として使われる.このような光量変化はプローブが測定対象の表面に接触すると生じるプローブ球と光ファイバ先端からの相対的な位置ずれにより発生する.シミュレーションにより設計した光ファイバを用いて行った実験では光ファイバトラッピングプローブが測定対象と接触するときのプローブ信号の変化が検出できた.また,その信号変化の原因をシミュレーションにより明らかにした.

報告書

(3件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2011 2010

すべて 学会発表 (4件)

  • [学会発表] 光ファイバトラッピングプローブの感度に関する研究2011

    • 著者名/発表者名
      嚴祥仁
    • 学会等名
      砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2011)
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2011-09-09
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 光ファイバトラッピングプローブのプローブ感度に関する研究2011

    • 著者名/発表者名
      高谷裕浩,林照剛
    • 学会等名
      2011年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on the Probe signal of Single Fiber Optical Trapping Probe2010

    • 著者名/発表者名
      Eom, Sang In
    • 学会等名
      ICMT 2010 Osaka
    • 発表場所
      Osaka University
    • 年月日
      2010-11-25
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Study on the probe signal of single fiber optical trapping probe2010

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Terutake HAYASHI
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Mechatronics Technology
    • 発表場所
      大阪大学
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書

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公開日: 2010-08-23   更新日: 2016-04-21  

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