| 研究課題/領域番号 |
22760099
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 九州工業大学 |
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研究代表者 |
清水 浩貴 九州工業大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (50323043)
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| 研究協力者 |
田丸 雄摩 九州工業大学, 大学院・工学研究院, 助教 (30284590)
馬場 昭好 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 准教授 (80304872)
竹内 修三 北九州学術推進機構(FAIS), 半導体技術センター, 主任研究員
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 精密位置決め / 加工計測 / 走査形状測定 / 運動誤差計測 / 多点法 / MEMS / 平面度測定 / 真直度測定 |
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| 研究概要 |
ステージの運動誤差測定に用いる, 3 点の変位を同時に測定可能な MEMS プローブユニットを提案した.製作過程を探針部,変位検出部と電気回路,外形の3つに分け,各プロセスの加工条件を決定した.さらにデバイス全体を作るプロセスの問題点を洗い出し,プロセスの再構築によりこのデバイスを実現する見通しを得た.また,3 点法による形状・運動誤差測定法のためのデータ処理プログラムを作成し,精度低下の原因となるセンサの配置誤差の影響をシミュレーションにより明らかにした.
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