研究課題
若手研究(B)
近年の工作機械の小型化に伴い,これらに用いる主軸も小型小径化している。しかし,基準球や軸と複数の変位計を用いる従来方法では機械的干渉等の問題により小径主軸の回転精度の評価は困難である。そこで,ロッドレンズとボールレンズを用いることにより,高速小径主軸の 5 自由度運動誤差を簡便に同時計測可能なシステムを開発した。その結果,測定分解能 5nm で超高速マイクロスピンドルの 5 自由度回転精度を評価可能であることを確認した。
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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
巻: Vol.11,No.6 ページ: 845-850
巻: Vol.11, No.6 ページ: 845-850
http://www.env.kitakyu-u.ac.jp/~muraka16/
http://www.ip.kyusan-u.ac.jp/J/kougaku/tm/murakami/