| 研究課題/領域番号 |
22760230
|
|---|
| 研究種目 |
若手研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
電子・電気材料工学
|
|---|
| 研究機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
|---|
研究代表者 |
西田 貴司 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成研究科, 助教 (80314540)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2010 – 2011
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2010年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
|
|---|
| キーワード | 自己組織化 / ナノテクノロジ / 強誘電体 / 薄膜 / スパッタ法 / 原子平坦基板 / PbTiO3 / セラミックス / ナノテクノロジー |
|---|
| 研究概要 |
近年、電子セラミックス材料は薄膜化が研究され、半導体回路との一体化や微細加工により、高性能、小型化、省資源などを目指した素子への応用が期待されている。今後は高品質化、特に微細化がさらに進み、ナノサイズの超高集積化も視野に入りつつある。個の研究では材料の精密なナノサイズ化に取り組み、原子レベル平坦基板と成膜手法の工夫(低角入射スパッタ)により、自己組織的なナノサイズ結晶を均質、等間隔で基板上に配列させることができた。さらに、微細加工や非線形性測定による解析を実施することによって、リコンフィギュラブル素子の低電圧化や新しい周波数変換素子が可能であることが示された。
|
