有機液体を用いた多原子分子イオン源の開発と極浅イオン注入への応用

• 研究課題/領域番号: 22760252
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 竹内 光明 京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10552656)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2010年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
• キーワード: 微細プロセス技術 / イオン注入 / イオン液体 / イオン源 / イオンビーム

研究概要

高電流・高安定な電界放出型のイオン液体イオン源を開発し, ビーム特性を評価した. シリコン及びガラス基板表面へのイオン液体イオンビーム照射を行ない, 照射効果についても検討した. 開発したイオン源は, カチオン単体及びカチオンを主体としたクラスターで構成された正イオンビームと, アニオン単体及びアニオンを主体としたクラスターで構成された負イオンビームを生成出来ることがわかった. イオン液体BMIM-PF6イオンビームを照射したガラス基板は, 表面粗さを0.1 nmに低減されることを明らかにしており, 固体表面処理への応用が期待できる.

研究成果

• [雑誌論文] Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams on Silicon and Glass Substrates (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 雑誌名: Nucl. Instrum. Meth. Phys. B 巻: (in press)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 雑誌名: Nucl. Instrum. Meth. Phys. B 巻: (in press)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of high-current ionic liquid ion source toward surface modification (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto and Gikan H Takaoka
  • 雑誌名: MRS Online Proceedings Library 巻: 1575
  • DOI: 10.1557/opl.2013.583
  • 査読あり
• [雑誌論文] Production and irradiation of ionic liquid cluster ions (2013)
  • 著者名/発表者名: Gikan H Takaoka, Mitsuaki Takeuchi,Hiromichi Ryuto
  • 雑誌名: Nucl. Instrum. Meth. Phys. B 巻: (in press) ページ: 257-259
  • DOI: 10.1016/j.nimb.2012.11.072
  • NAID: 120005343926
  • 査読あり
• [雑誌論文] Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams on Silicon and Glass Substrates (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 雑誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 巻: in press
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of High-current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 雑誌名: MRS Online Proceedings Library 巻: in press
  • 査読あり
• [雑誌論文] イオン液体BMIM-PF6イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質 (2012)
  • 著者名/発表者名: 竹内 光明, 濱口 拓也, 龍頭 啓充, 高岡義寛
  • 雑誌名: 信学技報 巻: vol.112,no.337 ページ: 25-30
• [雑誌論文] Surface irradiation and materials processing using polyatomic cluster ion beams (2012)
  • 著者名/発表者名: G.H.Takaoka
  • 雑誌名: J.Mater.Res. 巻: 27 号: 5 ページ: 806-821
  • DOI: 10.1557/jmr.2011.426
  • NAID: 120003988356
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Impregnated-Electrode-Type Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
  • 雑誌名: AIP Conf.Proc 巻: 1,321 ページ: 456-459
  • DOI: 10.1063/1.3548449
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface Processing and Modification of Polymers by Water Cluster Ion Beam (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, M.Takeuchi, G.Ichihashi, P.Sommani, G.H.Takaoka
  • 雑誌名: AIP Conf.Proc 巻: 1,321 ページ: 310-313
  • DOI: 10.1063/1.3548389
  • 査読あり
• [雑誌論文] Suppression of divergence of low energy ion beams by space charge neutralization with low energy electrons emitted from field emitter (2011)
  • 著者名/発表者名: J.Ishikawa, Y.Gotoh, M.Takeuchi
  • 雑誌名: AIP Conf.Proc 巻: 1,321 ページ: 496-500
  • DOI: 10.1063/1.3548461
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro-pattering of Si (100) surfaces by ethanol cluster ion beans (2011)
  • 著者名/発表者名: G.H.Takaoka
  • 雑誌名: Surface & Coatings Technology 巻: 206 号: 5 ページ: 869-873
  • DOI: 10.1016/j.surfcoat.2011.04.051
  • 査読あり
• [雑誌論文] Chemical erosion and sputtering of solid surfaces with liquid cluster ions (2011)
  • 著者名/発表者名: G.H.Takaoka
  • 雑誌名: Surface & Coatings Technology 巻: 206 号: 5 ページ: 845-848
  • DOI: 10.1016/j.surfcoat.2011.03.108
  • NAID: 120003573884
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Impregnated-Electrode-Type Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Tateuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
  • 雑誌名: AIP Conf.Proc 巻: 1321 ページ: 456-459
  • 査読あり
• [雑誌論文] CARBON IMPLANTATION BY POLYATOMIC ION SOURCE OF ORGANIC LIQUIDS (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Tateuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
  • 雑誌名: Proceedings of IPAC'10 ページ: 136-138
• [雑誌論文] APPLICATION OF LIQUID CLUSTER ION BEAMS IN SURFACE PROCESSING (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, M.Takeuchi, G.Takaoka
  • 雑誌名: Proceedings of IPAC'10 ページ: 133-135
• [雑誌論文] Sources of polyatomic ions of organic liquids (2010)
  • 著者名/発表者名: G.H.Takaoka, M.Takeuchi, H.Ryuto
  • 雑誌名: The Review of scientific instruments 巻: 81
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of liquid cluster ion beam for surface treatment (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, R.Ozaki, Y.Kubo, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
  • 雑誌名: The Review of scientific instruments 巻: 81
  • 査読あり
• [雑誌論文] Metal-free and gasless space charge compensation of low energy ion beam by using surface-carbonized silicon field emitter array (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Takeuchi, Y.Gotoh, H.Tsuji, J.Ishikawa, S.Sakai
  • 雑誌名: Journal of Vacuum Science & Technology B 巻: 28
  • 査読あり
• [雑誌論文] 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 雑誌名: 信学技報 巻: 110 ページ: 69-72
  • NAID: 110008676031
• [学会発表] Development of High-current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 学会等名: 2013 MRS Spring Meeting & Exhibit
  • 発表場所: San Francisco, California, USA
• [学会発表] Surface Smoothing of Glass Substrate by Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 学会等名: 2013 MRS Spring Meeting & Exhibit
  • 発表場所: San Francisco, California, USA
• [学会発表] イオン液体イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質(II) (2013)
  • 著者名/発表者名: 濱口拓也, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
• [学会発表] Development of High-current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 学会等名: 2013 MRS Spring Meeting & Exhibit April 1-5, 2013 San Francisco, California, USA
  • 発表場所: San Francisco, California, USA
• [学会発表] Surface Smoothing of Glass Substrate by Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams (2013)
  • 著者名/発表者名: Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
  • 学会等名: 2013 MRS Spring Meeting & Exhibit April 1-5, 2013 San Francisco, California, USA
  • 発表場所: San Francisco, California, USA
• [学会発表] イオン液体イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質(II） (2013)
  • 著者名/発表者名: 濱口拓也，竹内光明 (代表者)，龍頭啓充，高岡義寛
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
• [学会発表] イオン液体イオンビームの質量分析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 濱口拓也, 植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-17
• [学会発表] イオン液体イオンビームの固体表面照射効果 (2012)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 濱口拓也, 植田亨, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-17
• [学会発表] 多原子分子クラスターイオンビームの固体表面に対する照射効果 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大村祐貴, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-17
• [学会発表] 水クラスターイオンとシリコン基板の表面反応 (2012)
  • 著者名/発表者名: 市橋岳, 西村拓朗, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] Deposition of Ionic Liquid Ion Beams on Solid Substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Ion Beam Properties of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for BMI-PF6 and EMI-BF4 (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: IUMRS-ICEM2012
  • 発表場所: Yokohama, Japan
• [学会発表] Iradiation Effect of Ionic Liquid BMI-PF6 Ion Beam on Glass Surface (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: IUMRS-ICEM2012
  • 発表場所: Yokohama, Japan
• [学会発表] イオン液体イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質 (2012)
  • 著者名/発表者名: 濱口拓也, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡 義寛
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学
• [学会発表] イオン液体イオンビームの固体表面照射効果 (2012)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 濱口拓也, 植田 亨, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学
• [学会発表] Deposition of Ionic Liquid Ion Beams on Solid Substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids October 21-25, 2012 Kyoto, Japan
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids October 21-25, 2012 Kyoto, Japan
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Ion Beam Properties of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for BMI-PF6 and EMI-BF4 (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: IUMRS-ICEM2012, september 23-28, Yokohama, Japan
  • 発表場所: Yokohama, Japan
• [学会発表] Irradiation Effect of Ionic Liquid BMI-PF6 Ion Beam on Glass Surface (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
  • 学会等名: IUMRS-ICEM2012, september 23-28, Yokohama, Japan
  • 発表場所: Yokohama, Japan
• [学会発表] 固体表面改質へ向けたイオン液体 EMI-BF4 イオンビームの特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明 (代表者)，濱口拓也，龍頭啓充，高岡義寛
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学
• [学会発表] 酸素イオンビーム照射によるポリイミド基板の表面改質 (2011)
  • 著者名/発表者名: 古谷健悟, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形
  • 年月日: 2011-09-02
• [学会発表] 多原子分子クラスターイオン照射痕のAFM観察II (2011)
  • 著者名/発表者名: 大村祐貴, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形
  • 年月日: 2011-09-02
• [学会発表] 水クラスターイオンビーム照射によるPMMA基板のマイクロパターニング (2011)
  • 著者名/発表者名: 市橋岳, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形
  • 年月日: 2011-09-02
• [学会発表] 含浸型イオン液体イオン源のイオンビーム特性(II) (2011)
  • 著者名/発表者名: 植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形
  • 年月日: 2011-09-01
• [学会発表] テトラデカンを用いた多原子分子イオンビームの生成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 今中浩輔, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形
  • 年月日: 2011-09-01
• [学会発表] シリコン表面へのエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 龍頭啓充, 向井寛, 大村祐貴, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第9回ナノ学会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2011-06-02
• [学会発表] エタノールクラスターを用いたシリコン基板表面加 (2011)
  • 著者名/発表者名: 龍頭啓充, 向井寛, 大村祐貴, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第9回ナノ学会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2011-06-02
• [学会発表] Carbon thin film synthesized by polyatomic ion beam deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
  • 学会等名: The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2011-05-19
• [学会発表] Temperature dependent irradiation effects of polyatomic cluster ion beam on silicon surfac (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, H.Mukai, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
  • 学会等名: The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2011-05-19
• [学会発表] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, G.Ichihashi, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
  • 学会等名: The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2011-05-19
• [学会発表] 含浸型イオン液体イオン源のイオンビーム特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] ポリイミド基板への酸素クラスターイオンビーム照射効果,第58応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (2011)
  • 著者名/発表者名: 古谷健悟, 龍頭啓充, 竹内光明, ピヤヌットソムマニ, 辻博司, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] 多原子分子クラスターイオンのシリコン基板表面に対する照射効果の基板温度依存性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 向井寛, 大村祐貴, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] 水クラスターイオンビーム照射によるアクリル基板のスパッタリング (2011)
  • 著者名/発表者名: 市橋岳, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] 酸素クラスターイオンビーム援用蒸着法により作製したSiOx薄膜の表面分析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 福島大貴, Xin Jin, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] シリコン基板への炭素系多原子分子イオンビーム蒸着 (2011)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] アセトンクラスターの生成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 糸崎俊介, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第58応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-25
• [学会発表] 固体表面改質へ向けたイオン液体 EMI-BF4 イオンビームの特性評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 濱口拓也, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学
• [学会発表] 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会
  • 発表場所: 京都大学
  • 年月日: 2010-12-17
• [学会発表] シリコン基板に対するエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 向井寛, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] 水クラスターイオンビームのアクリル基板への照射効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 市橋岳, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] 多原子分子イオンビームによるシリコン基板への炭素注入 (2010)
  • 著者名/発表者名: 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] エタノールクラスターイオンビームのガラス表面への照射効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 糸崎俊介, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] 含浸型イオン液体イオン源の試作 (2010)
  • 著者名/発表者名: 植田亨、竹内光明、龍頭啓充、高岡義寛
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-15
• [学会発表] Fabrication of Impregnated-Electrode-Type Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
  • 学会等名: IIT2010
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2010-06-08
• [学会発表] Surface Processing and Modification of Polymers by Water Cluster Ion Beam (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
  • 学会等名: IIT2010
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2010-06-08
• [学会発表] CARBON IMPLANTATION BY POLYATOMIC ION SOURCE OF ORGANIC LIQUIDS (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
  • 学会等名: IPAC'10
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2010-05-24
• [学会発表] APPLICATION OF LIQUID CLUSTER ION BEAMS IN SURFACE PROCESSING (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Ryuto, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
  • 学会等名: IPAC'10
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2010-05-24
• [学会発表] 含浸型イオン液体イオン源のイオンビーム特性II
  • 著者名/発表者名: 植田 亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学
• [備考]
  • URL: http://pesec.t.kyoto-u.ac.jp