金属ガラス成膜の最適化と高性能MEMSデバイスへの展開

• 研究課題/領域番号: 22760552
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 柳 延輝 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教 (70506469)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2011
• 研究課題ステータス: 完了 (2011年度)
• 配分額: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2010年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
• キーワード: 金属ガラス / 薄膜 / MEMS

研究概要

金属ガラス薄膜の成長や基板との結合にどのようなパラメータが影響を与えるかを明らかにした。これらの結果は、MEMSデバイスや金属ガラス薄膜の作製に当たり、有益な情報である。薄膜の機械特性は、ナノインデンテーションによって評価した。原子間力顕微鏡を用いることで、金属ガラスには約2. 5nm程度の不均一構造があり、多くの金属ガラスモデルと一致することを明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] Deposition of multicomponent metallic glass films by single-target magnetron sputtering (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. H. Liu, T. Fujita, A. Hirata, S. Li, H. W. Liu, W. Zhang, A. Inoue, M. W. Chen
  • 雑誌名: Intermetallics 巻: 21 ページ: 105-105
  • 査読あり
• [雑誌論文] Deposition of multicomponent metallic glass films by single-tareet magnetron sputtering (2012)
  • 著者名/発表者名: Y.H.Liu, T.Fujita, A.Hirata, S.Li, H.W.Liu, W.Zhang, A.Inoue, M.W.Chen
  • 雑誌名: Intermetallics 巻: 21 号: 1 ページ: 105-114
  • DOI: 10.1016/j.intermet.2011.10.007
  • 査読あり
• [雑誌論文] Experimental Characterization of Nanoscale Mechanical Heterogeneity in a Metallic Glass by Dynamic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. H. Liu, D. Wang, K. Nakajima, W. Zhang, A. Hirata, T. Nishi, A. Inoue, M. W. Chen
  • 雑誌名: Phys. Rev. Lett. 巻: 106 ページ: 125504-125504
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of Nanoscale Mechanical Heterogeneity in a Metallic Glass by Dynamic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: Y.H.Liu, D.Wang, K.Nakajima, W.Zhang, A.Hirata, T.Nishi, A.Inoue, M.W.Chen
  • 雑誌名: Physical Review Letters 巻: 106 ページ: 125504-125504
  • 査読あり
• [学会発表] Characterization of nanoscale mechanical heterogeneity in a metallic glass by dynamic force microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. H. Liu, D. Wang, K. Nakajima, W. Zhang, A. Hirata, T. Nishi, A. Inoue, M. W. Chen
  • 学会等名: JIM Fall Meeting
  • 発表場所: Okinawa
  • 年月日: 2011-11-09
• [学会発表] Characterization of nanoscale mechanical heterogeneity in a metallic glass by dynamic force microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: Y.H.Liu, D.Wang, K.Nakajima, W.Zhang, A.Hirata, T.Nishi, A.Inoue, M.W.Chen
  • 学会等名: 日本金属学会
  • 発表場所: 沖縄コンベンションセンター(沖縄県宜野湾市)
  • 年月日: 2011-11-07